聚酰亚胺前驱物与感光性树脂组成物的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种聚酰亚胺前驱物与感光性树脂组成物。聚酰亚胺前驱物由（A）聚酰胺酸与（B）含环氧基的化合物反应所产生，其中（B）含有芴基团。
【专利说明】聚酰亚胺前驱物与感光性树脂组成物
【技术领域】
[0001]本发明是有关于一种高分子化合物，且特别是有关于一种聚酰亚胺(polyimide)前驱物与感光性树脂组成物。
【背景技术】
[0002]通常，聚酰亚胺树脂可由芳香族四羧酸或者其衍生物和芳香族二胺或者芳香族二异氰酸盐(diisocyanate)缩合聚合而制造。与其他常用树脂或工程塑料相比，聚酰亚胺树脂具有优异的耐热性、机械特性、耐药性及电性特性。因此，聚酰亚胺树脂作为成形材料、复合材料、电气电子材料、光学材料等，广泛地用于各种领域。
[0003]例如，一种现有的应用是将含有聚酰胺酸(polyamide acid)、环氧树脂与光酸产生剂的组合物作为光阻材料，涂布在基板上，经曝光以及曝光后烘烤，使聚酰胺酸与环氧树脂反应，环氧树脂桥接(bridge)聚酰胺酸，提高聚合物整体的交连程度，聚合物再受热闭环，形成聚酰亚胺树脂。由于曝光区与未曝光区的交连程度不同，照光以后(受光酸产生剂的产生的酸的影响)，曝光区与未曝光区的聚合物对显影液的溶解度不同，因此，可以作为光阻使用。
【发明内容】
[0004]本发明提供一种聚酰亚胺前驱物，具优异的耐热性。
[0005]本发明提供一种感光性树脂组成物，具优异的储存稳定性。
[0006]本发明提出一种聚酰亚胺前驱物，由(A)聚酰胺酸与(B)含环氧基的化合物反应所产生，其中(B)含有荷(fluorene)基团。
[0007]在本发明的一实施例中，(B)包括由式1表示的基团:
[0008]
【权利要求】
1.一种聚酰亚胺前驱物，其特征在于，由(A)聚酰胺酸与(B)含环氧基的化合物反应所产生，其中(B)含有芴基团。
2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，(B)包括由式I表示的基团:
3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，上述聚酰亚胺前驱物的架桥百分比小于40mo I e%。
4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，(A)是由双酐化合物与双胺化合物以1:2至1:1.2的莫耳比进行反应所产生。
5.一种感光性树脂组成物，其特征在于，包括: 根据权利要求1~4中任一项所述的聚酰亚胺前驱物； 光酸产生剂；以及 溶剂。
6.根据权利要求5所述的感光性树脂组成物，其特征在于，上述光酸产生剂包括锍盐、碘鎗盐、磺酰基重氮甲 烷类、N-磺酰氧基酰亚胺类、N-磺酰氧基肟类。
7.根据权利要求5所述的感光性树脂组成物，其特征在于，还包括纳米颗粒。
8.根据权利要求5所述的感光性树脂组成物，其特征在于，上述溶剂的含量为上述感光性树脂组成物的50wt%~90wt%。
【文档编号】G03F7/023GK103665377SQ201310176589
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年5月14日 优先权日:2012年9月13日
【发明者】郭昭辉, 邱启峰 申请人:达兴材料股份有限公司