通过化学气相沉积制备纳米复合材料的方法

专利名称：通过化学气相沉积制备纳米复合材料的方法
技术领域：
本发明涉及一种同时利用化学气相沉积和纳米颗粒的真空注入来制备纳米复合
材料的方法，还涉及通过实施该方法获得的复合材料和纳米颗粒及其用途。 本发明的技术领域可以一般限定为在基底或载体的表面上制备纳米复合材料涂 层的领域，所述涂层可以由可变厚度的膜形式的所述纳米复合材料涂层的连续层或复合纳 米颗粒的不连续分散体构成。 这些复合材料和纳米颗粒通常可用于微电子学(导电膜、绝缘膜或半导电膜)、机 械工程(耐磨和耐腐蚀涂层)、光学(辐射传感器)和重要的是催化(尤其是环境保护)的 领域。 已知的是，当颗粒具有纳米范围内的尺寸时，金属的性质发生变化当贵金属例如 金(Au)、钼(Pt)和铱(Ir)达到纳米级尺寸时，它们变得非常活泼。当它们涂敷于基底表面 时，这些金属赋予其特殊性能使它们能够用作例如燃料电池电极、抗菌表面以及应用于能 量的光催化生成和催化生成的表面。将这些金属沉积在基底的表面上也可应用于储氢和使 表面织构化。 已经提出几种利用金属颗粒来覆盖这类基底表面的方法，例如浸渍和电沉积，这 些方法是几种最成熟的方法。 最近的一些方法尤其是CVD (化学气相沉积)法。这些方法相比浸渍和电沉积或 甚至PVD(物理气相沉积)技术而言具有诸多优点。这是因为CVD方法用于覆盖例如催化 剂载体的具有可变和复杂几何形状的部件，例如泡沫、蜂窝状结构、陶瓷和沸石，而不必在 高真空即100 500Pa的范围内工作，由此提供一种与例如PVD法相比可容易地以工业规 模实施的方法。 该CVD技术包括在存在或不存在其他气体的情况下使材料(或前体)的挥发性化 合物与待覆盖表面接触。然后发生一种或更多种化学反应，在基底上产生至少一种固态产 物。其他反应产物必须是气态的，使其可以从反应器移除。该反应可以分为5个阶段
-将一种或更多种气态反应性物质输送到基底上；
-使这些反应物吸附在表面上；
-在吸附阶段中发生反应和生长膜；
-挥发性副产物脱附；禾口
-输送和抽吸气态产物。 在"常规"或"热"CVD中，基底温度(600-1400°C )供给多相反应所需的活化能， 从而生长沉积材料。然而，这些高温并不总是与待覆盖的基底的性质相容。
为了降低形成温度，已经开发了多种替代方法，所述方法涉及使用更多反应前体 例如在低温(200-600°C )下反应的有机金属(或者0MCVD，即有机金属化学气相沉积)。 更多反应前体的使用涉及使用一种或更多种具有在低温下断裂的低能健的化合物。因此， 最常使用的化合物是有机金属，其多数时候在结构中包括待沉积的一种或更多种元素。在 OMCVD方法中，使用受控气氛下的室，例如，如果要沉积二氧化钛，则诸如四异丙醇钛的气态 前体与02 —起被注入该室中。在气态反应物被吸附后，加热基底，在表面上发生化学沉积
5反应。所沉积的膜只有在允许发生反应的热力学条件下才能形成反应所需的能量通过加
热整个室(热壁炉)或只加热基底载体(冷壁炉)而以热的形式提供。 由于该0MCVD方法，还可以在基底表面上基于银和二氧化钛(Ti02)形成复合膜，
如尤其在国际申请WO 2007/000556中描述的那样。特别地，0MCVD法还允许通过同时注入
两种前体(例如新戊酸银和四异丙醇钛)来形成氧化物和金属纳米颗粒的纳米复合材料
膜。在该情况下，以液体前体或在合适溶剂(例如均三甲苯和二甲苯，任选存在胺和腈，以
改善所述前体在溶剂中的溶解)中的前体溶液的形式使用每种组分是必要的。 然而，某些复合材料不可能根据上述国际申请中描述的制备复合膜的方法来制
备，这是因为引入CVD反应器中的两种液体前体和反应性气体相互反应以形成单一化合
物绝不可能获得来自各前体的两种截然不同的产物。例如，不可能由氧化物前体和氮化物
前体获得具有氮化物纳米颗粒的氧化物基体。 为了克服通过OMCVD法制备复合材料的这些局限，本发明人已经开发了形成本发 明主题的内容。 因此，本发明人设定的目的是提供用于获得任意类型的纳米复合材料的OMCVD方 法，而不必使每种前体均为液体形式或溶解在合适的溶剂中。 因此，本发明的一个目的是一种在基底表面上形成由至少两种元素组成的纳米复
合材料的方法，所述方法包括在气体的存在下的至少一个化学气相沉积步骤，其特征在于，
所述步骤通过同时直接注入以下液体来进行 a)至少一种注入液体I"所述液体L由如下组成 i)所述元素之一的至少一种液体前体或 ii)所述元素之一的至少一种前体在有机溶剂中的溶液；禾口 b)另一元素的固体纳米颗粒，所述纳米颗粒以均相分散体的形式存在于注入液体 L和/或与注入液体L分开的注入液体I2中。 在本发明的上下文中，术语"纳米复合材料"是指包括至少两种截然不同的物理相 的材料，所述物理相由并存的两种元素之一的纳米颗粒和另一元素的纳米颗粒或由两种元 素之一的基体(包含另一元素的一种或更多种纳米颗粒)组成。 因此，根据本发明的方法使得能够获得无法通过形成涂层的CVD法来获得的纳米 复合材料。因此，能够利用形成本发明主题的方法来产生预定的纳米复合材料结构，该结构 兼有一方面通过CVD法产生的金属或陶瓷(氧化物)相和经过注入装置引入的固体纳米颗 粒。 液体前体或溶解在有机溶剂(注入液体I》中的前体可以选自有机金属前体和金 属盐。有利的是，后者选自氯化的金属盐和铵金属盐。 根据本发明的一个有利实施方案，有机金属前体选自二烷基金属、13 _ 二酮金属配 合物、具有羰基或膦配体或具有氯化配体的前体、正环戊二烯金属配合物、环辛二烯金属配 合物、和具有烯烃或烯丙基基团的前体，所述金属优选选自元素周期表中第IVB至IB列第 一至三行的金属、Li、Si、Ge及其合金。 在这些有机金属前体中，尤其可以提到的是四异丙醇钛和乙酰乙酸铂。 用于注入液体L的有机溶剂通常选自蒸发温度低于前体分解温度的溶剂。有机
溶剂优选选自常压条件下蒸发温度为约50 20(TC (包括端值)的液态有机化合物。在这些有机化合物中，尤其可以提到的是均三甲苯、环己烷、二甲苯、甲苯、正辛烷、乙酰丙酮、乙醇及其混合物。 注入液体L可还包括胺和/或腈和/或水，以使其更容易溶解其中存在的一种或更多种前体。当所用的前体为银前体时，这尤其有效。 在该情况下，注入液体L中的胺和/或腈和/或水的总量通常大于0. 1体积％，并且优选该胺和/或腈和/或水的浓度小于20体积％ 。 在注入液体L中任选存在的胺通常选自伯、仲或季一元胺，例如正己胺、异丁胺、二-仲丁胺、三乙胺、苄胺、乙醇胺、二异丙胺、多胺及其混合物。 在注入液体L中任选存在的腈通常选自乙腈、戊腈、苄腈、丙腈及其混合物。 优选地，以分散体的形式存在于注入液体L和/或12中的固体纳米颗粒选自无机
纳米颗粒，例如二氧化硅(Si0》、二氧化钛(TiO》、二氧化锆(Zr02)和二氧化铈(Ce02)纳米
颗粒。在根据本发明的另一有利实施方案中，纳米颗粒是碳化物或氮化物。 当然，本领域的技术人员可采取措施来确保该纳米颗粒的尺寸或其聚集体的尺寸
与注射器的直径相容以避免后者阻塞的任何风险。 为了改善注入液体L和/或12中的纳米颗粒分散体的均匀性，可以使用超声处理。 根据本发明的方法中任选使用的注入液体12也由其中纳米颗粒当然可不溶的有机溶剂组成。 该有机溶剂例如可选自上述提到的用于注入液体L的溶剂。 当然，当根据本发明的方法采用注入液体L和注入液体12时，组成这些注入液体的溶剂可以相同或不同。 当实施根据本发明的方法时，将一种或多种注入液体(L和12)引入蒸发装置中，它们通过该蒸发装置被送入容纳基底的加热的沉积室中，所述基底的至少一个表面待涂覆纳米复合材料。 在根据本发明的方法中，沉积通常在低温即在不超过50(TC的基底温度下进行，该温度当然可以根据基底的性质和所用的材料进行调节。 这是根据本发明方法的一个额外的优点，由此它仍然能够在与大量基底相容的低温下工作。 沉积可以在大气压下进行，但是优选在真空如40 1000Pa的压力下进行。
沉积时间通常为2-90分钟。 沉积可以有利地利用等离子体辅助例如利用低频(LF)、射频(RF)或脉冲DC等离子体来进行。 在其上进行沉积的基底可以是多孔基底或致密基底。这些基底可以不同，例如为
玻璃、硅、金属、钢、陶瓷如氧化铝、氧化铈和氧化锆、织物、沸石、聚合物等。 进行沉积时存在的气体通常由反应性气体和/或携带蒸气的惰性气体组成。 反应性气体可以选自氧、氢、氨、一氧化二氮、二氧化碳、臭氧、二氧化氮及其混合物。 携带蒸气的惰性气体可以选自氩、氮、氦及其混合物。 所沉积的膜可以采取各种形式，取决于所涉及元素中每种元素的生长和成核模式。 因此，本发明的另一主题是通过实施根据本发明的方法可获得的负载的纳米复合材料，如上所述，其特征在于它由如下构成 i)由金属、氧化物、碳化物或氮化物基体构成的连续层，所述基体具有选自金属纳米颗粒、氧化物纳米颗粒、碳化物纳米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物； ii)或者纳米颗粒的不连续分散体，所述分散体为并存的选自金属纳米颗粒、氧化
物纳米颗粒、碳化物纳米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少两种纳米颗粒的形式。 根据本发明的一个有利实施方案，所述纳米复合材料由如下构成 i)连续的氧化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、碳化物纳米颗粒、氮化物
纳米颗粒和氧化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的氧化物与形成
所述连续基体的氧化物不同； ii)连续的金属或金属合金基体，所述基体具有选自碳化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒、氧化物纳米颗粒和金属(或金属合金)纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的金属(或金属合金)的性质与形成所述连续基体的金属或金属合金的性质不同； iii)连续的氮化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、碳化物纳米颗粒、氧化物纳米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的氮化物的性质与形成所述连续基体的氮化物的性质不同；禾口 iv)连续的碳化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、氧化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒和碳化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的碳化物的性质与形成所述连续基体的碳化物的性质不同。 有利的是，纳米复合材料包含至少一种氧化物和至少一种金属，例如，这两种元素可以根据上述配置i)和ii)中任一配置而独立地各自存在。 在根据本发明的纳米复合材料(沉积之后)中，纳米颗粒(以内含物形式或分散
体形式)的尺寸限定为小于100nm。通常，连续基体的厚度为50nm至2iim。 利用所沉积的纳米颗粒(无机、碳化物或氮化物型)的化学性质和所沉积的膜的形态(大量的活性纳米级位点良好地分散在基底表面上)，所涉及的层可具有各种用途。
因此，本发明的另一 目的是如上所述的基于银和钛的纳米复合材料作为抗菌涂层的用途。 当所述纳米复合材料是基于钼和无机纳米颗粒如Si02、 Ti02、 Zr02或Ce02纳米颗
粒的纳米复合材料时，其具有增强的电催化活性，因而可以用于燃料电池。 由于根据本发明的方法，因此能够获得有利地具有较低贵金属含量(通常为
0. 01 0. 5mg/cm2，尤其为约0. 05mg/cm2的量级)的涂层。 除了上述配置以外，本发明还包括参照利用根据本发明的方法制备的负载的纳米复合材料的实施例和附

图1至3而从以下说明得出的其他配置，附图中
-图1是通过扫描电镜(SEM)利用105放大倍率获得的由平面硅基底表面上存在的铂和二氧化硅纳米颗粒组成的纳米复合材料的显微照片；
-图2显示包括由铂和二氧化硅纳米颗粒组成的纳米复合材料的燃料电池的极化曲线。在该图中，端子之间以mV计的电压(E)作为以mA/cm2计的电流密度(i)的函数绘出，上曲线对应于在氢和氧(80/45/02，100%相对湿度)中的运行，而下曲线对应于在氢和空气(80/45/空气，100%相对湿度)中的运行；禾口 _图3是通过扫描电镜(SEM)利用105放大倍率获得的纳米复合材料的截面的显微照片，所述纳米复合材料由平面硅基底表面上存在的具有Si02纳米颗粒内含物的连续Ti02基体组成。 然而，应理解，这些实施例只是作为本发明的纯示例性的实施例给出的，其绝不对本发明构成任何限制。
实施例 在下文将描述的示例性实施例中，利用由Jipelec公司以商标名Inject
"Systeme d' injection et d' 6v即oration de pr6curseurs liquidespurs ou sousforme de solutions[用于注入和蒸发纯净物形式或溶液形式的液体前体的系统]"出售的且与容纳待涂覆基底的化学气相沉积室连接的蒸发装置来沉积膜。该蒸发装置已经在Chem. Mat. ， 2001， 13， 3993进行了描述。
Injed^装置包括四个主要部分 i)用于储存前体的化学溶液(含有或不含有纳米颗粒)的容器； ii) —个或更多个注射器，例如汽油机注射器型的，其经一个或更多个进料线或管
连接至用于储存一种或更多种前体的化学溶液的一个或更多个容器，所述一个或更多个注
射器由电子控制装置来控制； iii)用于惰性载气例如氩气的进料线或管；禾口[OO76] iv)蒸发装置(蒸发器)。 容纳待涂覆基底的沉积室包括加热装置、反应性气体(例如氧)或惰性气体供给和泵送及压力调节装置。 所述室和待涂覆的基底保持在比蒸发器的温度高的温度以形成正的热梯度。金属前体的化学溶液被引入保持在(例如0. 2或0. 3MPa)压力下的容器中，然后经所述一个或更多个注射器(通过压差)从容器送入保持更低压力的蒸发器中。注入流量通过改变打开所述一个或更多个注射器的频率和持续时间来控制，其可以被视为微电磁阀并通过计算机控制。 实施例1 :作为燃料电池电极的纳米复合材料的制备 该实施例的目的是说明根据本发明的方法可用于制备具有两种有催化功能的组分的燃料电池电极材料。 在该实施例中，将铂纳米颗粒和二氧化硅纳米颗粒沉积在由ELAT⑧型碳电极
(由De Nora公司出售的E-tek产品)形成的扩散层基底和硅基底上。 制备化学沉积溶液，所述溶液一方面包含有机金属前体，即以(Pt (Ac) 2)配合物形式和0. 03mol/l的浓度溶解在甲苯中的乙酰丙酮铂，和另一方面包含15wt^的纳米颗粒尺寸小于lOOnm的Si02纳米颗粒。
蒸发器和基底的温度分别固定在22(TC和320°C 。其他操作条件如下-注射器频率3Hz;-注射器打开时间2ms ; -N2/02流量60-240ml _压力800Pa ;-沉积时间20分钟。 附图1显示沉积之后基底表面的扫描电镜显微照片(105放大倍率)。在该图中，
硅基底呈深灰色，Si02纳米颗粒聚集体对应于浅灰色粗颗粒，钼纳米颗粒对应于浅灰色小
颗粒。因此，该图显示，在扩散层上沉积的情况下，Si(^纳米颗粒纳米分散在基底的表面上，
并且在其附近或其表面上可具有催化性的铂纳米颗粒。 在扩散层上产生的这种涂层构成燃料电池或电解槽的电极。 该燃料电池的极化曲线示于附图2中。在该图中，端子之间以mV计的电压(E)作为以mA/ci^计的电流密度(i)的函数绘出。在该图中，上曲线对应于在氢和氧(80/45/02，100%相对湿度)中的运行，而下曲线对应于在氢和空气(80/45/空气，100%相对湿度)中的运行。 可以看出，由此产生的包括非常小的铂负载量(0.05mg/cm2)的电极运行良好。这
些结果表明尽管铂的存在量小但是活性贵催化剂分散更大和催化动力学良好。 根据该相同的方法，可以利用不同的无机纳米颗粒如Ti02、 Zr02或Ce02纳米颗粒
来制备这种电极，以用于有利于催化的电解槽应用。
实施例2 :表面织构化 利用化学沉积溶液在硅上也重复上述实施例1中描述的方法，所述化学沉积溶液
包括二甲苯中浓度为lmol/1的四异丙醇钛(TTIP)(作为有机金属前体)和15wt^的纳米
颗粒尺寸为50nm的Si02纳米颗粒。所用的沉积条件如下-蒸发器温度200。C ;-注射器频率2Hz; -注射器打开时间2ms ; -N2/02流量40-160ml -压力800Pa ;-沉积时间7分钟。 附图3显示穿过沉积后的基底的截面的扫描电镜显微照片(105放大倍率)。通过查看该图，能够观察到如下事实在TiOj莫生长期间，二氧化硅纳米颗粒的插入使得能够产生表面缺陷，导致其均匀的织构化。根据沉积步骤期间注入的纳米颗粒的密度，这种来自基底表面上均匀分布的纳米颗粒的缺陷生长提供了具有缺陷的表面的均匀结构化，所述缺陷的尺寸为50nm至1 ii m，并且间距为10 5 y m。该表面织构化具有增加活性表面面积的效果，其对于光催化应用可尤其有利。
权利要求
一种在基底的表面上形成由至少两种元素组成的纳米复合材料的方法，所述方法包括在气体的存在下的至少一个化学气相沉积步骤，其特征在于，所述步骤通过同时直接注入以下液体来进行a)至少一种注入液体I1，所述注入液体I1由如下组成i)所述元素之一的至少一种液体前体或ii)所述元素之一的至少一种前体在有机溶剂中的溶液；和b)另一元素的固体纳米颗粒，所述纳米颗粒以均相分散体的形式存在于所述注入液体I1和/或与所述注入液体I1分开的注入液体I2中。
2. 权利要求1所述的方法，其特征在于所述液体前体或溶解在有机溶剂中的所述前体 选自有机金属前体和金属盐。
3. 权利要求2所述的方法，其特征在于所述金属盐选自氯化的金属盐和铵金属盐。
4. 权利要求2所述的方法，其特征在于所述有机金属前体选自二烷基金属、13 _ 二酮金 属配合物、具有羰基或膦配体或具有氯化配体的前体、正环戊二烯金属配合物、环辛二烯金 属配合物、和具有烯烃或烯丙基基团的前体。
5. 权利要求4所述的方法，其特征在于所述金属选自元素周期表中第IVB至IB列第一 至三行的金属、Li、Si、Ge及其合金。
6. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述有机金属前体选自四异丙醇钛 和乙酰乙酸铂。
7. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于用于所述注入液体L的有机溶剂选 自蒸发温度低于所述前体的分解温度的溶剂。
8. 权利要求7所述的方法，其特征在于所述溶剂选自常压条件下蒸发温度为包括端值 的50 20(TC的液态有机化合物。
9. 权利要求7或8所述的方法，其特征在于所述溶剂选自均三甲苯、环己烷、二甲苯、甲 苯、正辛烷、乙酰丙酮、乙醇及其混合物。
10. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述注入液体L还包括胺和/或 腈和/或水。
11. 权利要求10所述的方法，其特征在于所述注入液体L中的胺和/或腈和/或水的 总量小于20体积％。
12. 权利要求10或11所述的方法，其特征在于所述胺选自正己胺、异丁胺、二 _仲丁 胺、三乙胺、苄胺、乙醇胺、二异丙胺、多胺及其混合物。
13. 权利要求10或11所述的方法，其特征在于所述腈选自乙腈、戊腈、苄腈、丙腈及其 混合物。
14. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于以分散体的形式存在于所述注入 液体L和/或12中的固体纳米颗粒选自无机纳米颗粒。
15. 权利要求14所述的方法，其特征在于所述无机纳米颗粒选自二氧化硅、二氧化钛、 二氧化锆和二氧化铈纳米颗粒。
16. 权利要求1 13中任一项所述的方法，其特征在于所述纳米颗粒是碳化物或氮化物。
17. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述注入液体12选自用于权利要求7 9中任一项限定的所述注入液体L的溶剂。
18. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于将所述一种或多种注入液体(L和 I2)引入蒸发装置中，通过所述蒸发装置将所述注入液体送入容纳所述基底的加热的沉积 室中，所述基底的至少一个表面待涂覆所述纳米复合材料。
19. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述沉积在不超过50(TC的基底 温度下进行。
20. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述沉积在大气压下或在压力为 40 lOOOPa的真空下进行。
21. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于其在等离子体的辅助下进行。
22. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述基底是致密的或多孔的，并且 选自玻璃、硅、金属、钢、陶瓷、织物、沸石和聚合物。
23. 前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于所述气体由反应性气体和/或携 带蒸气的惰性气体构成。
24. 权利要求23所述的方法，其特征在于所述反应性气体选自氧、氢、氨、一氧化二氮、 二氧化碳、臭氧、二氧化氮及其混合物。
25. 权利要求23所述的方法，其特征在于所述携带蒸气的惰性气体选自氩、氮、氦及其 混合物。
26. —种可以通过实施根据前述权利要求任一项所述的方法获得的负载的纳米复合材 料，其特征在于所述纳米复合材料由如下构成i) 由金属、氧化物、碳化物或氮化物基体构成的连续层，所述基体具有选自金属纳米颗 粒、氧化物纳米颗粒、碳化物纳米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物；ii) 或者纳米颗粒的不连续分散体，所述分散体为并存的选自金属纳米颗粒、氧化物纳 米颗粒、碳化物纳米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少两种纳米颗粒的形式。
27. 权利要求26所述的复合材料，其特征在于所述复合材料由如下构成i) 连续的氧化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、碳化物纳米颗粒、氮化物纳米 颗粒和氧化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的氧化物与形成所述 连续基体的氧化物不同；ii) 连续的金属或金属合金基体，所述基体具有选自碳化物纳米颗粒、氮化物纳米颗 粒、氧化物纳米颗粒和金属(或金属合金)纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内 含物中的金属(或金属合金)的性质与形成所述连续基体的金属或金属合金的性质不同；iii) 连续的氮化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、碳化物纳米颗粒、氧化物纳 米颗粒和氮化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的氮化物的性质与 形成所述连续基体的氮化物的性质不同；禾口iv) 连续的碳化物基体，所述基体具有选自金属纳米颗粒、氧化物纳米颗粒、氮化物纳 米颗粒和碳化物纳米颗粒的至少一种纳米颗粒的内含物，所述内含物中的碳化物的性质与 形成所述连续基体的碳化物的性质不同。
28. 权利要求26或27所述的复合材料，其特征在于所述复合材料包含至少一种氧化物 和至少一种金属。
29. 权利要求26 28中任一项所述的纳米复合材料用作抗菌涂层的用途，所述纳米复合材料基于银和钛。
30.权利要求26 28中任一项所述的纳米复合材料用作电催化剂的用途，所述纳米复 合材料基于铂和无机纳米颗粒。
全文摘要
本发明涉及一种同时利用化学气相沉积和纳米颗粒的真空注入来制备纳米复合材料的方法以及由此获得的纳米颗粒及其用途。
文档编号C23C16/30GK101784695SQ200880104097
公开日2010年7月21日 申请日期2008年7月18日 优先权日2007年7月23日
发明者劳伦特·比德尔, 法布里斯·埃米厄, 索菲·马耶 申请人:原子能委员会