专利名称：蒸发源及蒸镀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于使规定的蒸镀材料蒸镀在被蒸镀体上的蒸发源及蒸镀装置。
背景技术：
作为在规定的对象物上形成蒸镀膜而构成的装置，具有有机EL显示器、有机EL照明等。其中有机EL显示器常用作不需要背光的低消耗电力、轻质薄型的图像显示装置。作为其构造，在透明性的玻璃基板上形成规定的蒸镀膜作为薄膜层。作为该薄膜层，具有发光层、注入层、输送层等有机EL薄膜层、还有形成金属配线的电极层等。各层在基板的形成主要使用真空蒸镀法。真空蒸镀法在维持了 10_3 10_5Pa的高真空状态的腔室中配置用于放出蒸镀材料的分子的蒸发源。蒸发源由封入蒸镀材料的坩埚和加热器断面构件(>^一々断面部材)构成。由加热器对坩埚进行高温加热，使蒸镀材料蒸发或升华(以下称为蒸发)，从设在坩埚上的喷嘴朝外部放出蒸镀材料的分子。在腔室内配置基板及紧密地贴合在该基板上的蒸镀掩模(金属掩模)，使从坩埚蒸发的蒸镀材料蒸镀到基板上。在蒸镀掩模上形成规定图案的开口部，由此在基板上形成规定图案的薄膜层。蒸镀材料在常温下基本上成为固体状态，在高真空下在坩埚内部受到高温加热而蒸发。为此，从蒸发源的喷嘴部产生辐射，成为配置在该腔室内的基板及蒸镀掩模的温度上升的原因。基板为玻璃原材料，蒸镀掩模一般为低膨胀的金属原材料。作为该原材料，使用因瓦合金材料、超因瓦合金材料、42-合金等。另外，以电视机生产为目标的生产商也在增力口，现在走向基板尺寸增大的趋势，I边超过I. 0m、l. 5m的基板也开始被使用。为此，蒸镀掩模和基板的配合偏差不断增大。形成在基板上的薄膜层的图案在对每个发光色分开涂敷薄膜层的场合要求非常高的精度。为此，基板与蒸镀掩模之间必须预先严格地调准(定位)并紧密地贴合，并且维持着该调准精度进行蒸镀。此时，若通过辐射热的作用产生基板与蒸镀掩模的热膨胀的差，则在基板与蒸镀掩模的图案之间产生尺寸偏差。特别是若辐射热使两者成为高温，则产生大的位置偏差，不能进行正确的图案形成。对于该问题，在专利文献I中公开了在坩埚上部配置有隔热构件(辐射阻止体)的技术。在该技术中，在坩埚上部设置有用于防止坩埚的辐射热作用于基板的辐射阻止体。在坩埚上设置用于射出蒸镀材料的突出部，在该突出部的周围配置辐射阻止体。另外，为了避免蒸发了的蒸镀材料附着到辐射阻止体，在与突出部的射出侧开口部相同的高度或比其低的位置设置辐射阻止体。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2004-214185号公报专利文献I的突出部的出射侧开口部比辐射阻止体更突出，或按处在相同高度的位置的方式构成。为此，突出部的前端部位从辐射阻止体朝基板及蒸镀掩模露出。突出部朝周围热辐射，所以产生温度下降。
突出部成为蒸发了的蒸镀材料的通过路径，若为高温，则没有特别的问题，但随着一定温度以下的温度下降，附着到突出部的孔的内面的蒸镀材料析出。然后，在孔的内面析出了的蒸镀材料逐渐成长，最终将突出部的孔的前端附近闭塞，产生堵塞。若在突出部产生堵塞，则不能继续进行蒸镀作业，必须解除真空腔室的真空状态，进行维修。另外，由于坩埚成为极高温状态，所以，为了使得辐射热的作用不影响到基板、蒸镀掩模，必须使辐射阻止体具有高的隔热功能。通常形成被称为反射器的辐射阻止体，该辐射阻止体通过离开、层叠了多个两面为镜面的反射镜而构成，但在用一个构成的场合，必须增大热膨胀率低的材料的板材的厚度。因此，作为辐射阻止体的整体的厚度难以减薄。在以往的方法中，突出部比辐射阻止体更突出，因此，突出部的长度必须构成得比辐射阻止体的厚度更大。为此，成为蒸发了的蒸镀材料的通过路径的突出部的总长较长。为此，越是长的突出部，向周围的辐射所产生的散热越多，在孔的内部容易产生蒸镀材料的析出，容易在突出部(特别是前端部附近的区域)产生堵塞。
发明内容
因此，本发明的目的在于隔断坩埚的辐射热，而且不在喷嘴产生堵塞。为了解决以上的课题，本发明的第I蒸发源的特征在于具有喷射部、隔热单元以及防镀单元，该喷射部设在对蒸镀材料进行加热而使其蒸发的蒸发单元上，朝被蒸镀体喷射蒸发了的上述蒸镀材料；该隔热单元具有并列地配置的多个金属板，将该金属板中的最接近上述被蒸镀体的金属板设置在比上述喷射部的前端面更接近上述被蒸镀体的位置；该防镀单元与构成上述隔热单元的多个金属板中的一部分一体地构成，将上述喷射部与上述隔热单元之间闭塞。根据该蒸发源，喷射部的前端面位于比隔热单元的最外层更靠近内层侧。这样，能够在隔热单元内部的高温度区域配置喷射部，能够将喷射部的长度构成得较短，所以，在喷射部不产生堵塞。从喷射部蒸发了的蒸镀材料由防镀单元闭塞，所以，也不会附着到隔热单元上。而且，由于防镀单元在隔热单元的热的作用下成为高温状态，所以，蒸镀材料不会在防镀单元上析出而固化。另外，第2蒸发源在第I蒸发源的基础上具有这样的特征上述防镀单元使用构成上述隔热单元的多个金属板中的一个金属板构成。根据该蒸发源，由于使用与隔热单元的金属板相同的金属板作为防镀单元，所以，能够将隔热单元具有的热高效率地传递到防镀单元。而且，不需要为了防镀单元准备专用的金属板，所以，构成变得简单。另外，第3蒸发源在第2蒸发源的基础上具有这样的特征上述防镀单元构成为这样的凹状，该凹状为上述蒸发单元侧的开口面积最窄，开口面积朝上述被蒸镀体侧逐渐变宽。根据该蒸发源，防镀单元成为开口面积逐渐变宽的那样的凹状。从喷射部喷射的蒸镀材料扩散而飞散，所以，通过扩大防镀单元的开口面积，防镀单元不会限制蒸镀材料的飞散方向。另外，第4蒸发源在第3蒸发源的基础上具有这样的特征使得上述喷射部的前端面比上述防镀单元的最基端侧的部位更突出。
根据该蒸发源，由于喷射部的前端面从防镀单元突出，所以，喷射部喷射了的蒸镀材料不会附着到防镀单元的内侧。另外，第5蒸发源在第3蒸发源的基础上具有这样的特征使得上述防镀单元的最前端侧的部位比收容上述隔热单元的壳体单元的与上述被蒸镀体相向的面更突出。根据该蒸发源，使防镀单元的前端侧比壳体单元的基板相向面更突出，从而能够抑制蒸镀材料附着到壳体单元。另外，第6蒸发源在第2蒸发源的基础上具有这样的特征构成上述防镀单元的金属板使用如下的金属板构成构成上述隔热单元的金属板中的、具有上述蒸镀材料不固化 的温度而且具有其中最低的温度的金属板。根据该蒸发源，防镀单元的金属板选择具有蒸镀材料不固化的热的金属板，从而能够避免喷射部的堵塞。而且，通过选择具有蒸镀材料不固化的热的金属板中的最低温度的金属板，露出到外部空间的防镀单元不会具有过剩地高的温度。另外，第7蒸发源在第2蒸发源的基础上具有这样的特征使上述喷射部的前端面处在构成上述隔热单元的多个金属板中的具有上述蒸镀材料不固化的温度的金属板的位置。根据该蒸发源，将喷射部的总长限制为处在蒸镀材料不固化的那样的温度状况下的那样的长度，从而不产生喷射部的堵塞。而且，通过容许直到该位置地构成喷射部，能够使喷射的蒸镀材料具有规定的指向性。另外，本发明的蒸镀装置成为配置有第I 第7中的任一个蒸发源的蒸镀装置。本发明的蒸发源能够在制造有机EL显示器、有机EL照明等有机EL装置时的蒸镀装置中适用。本发明将喷射部的前端面设置在比隔断蒸发单元的热的隔热单元更靠蒸发单元侧，所以，能够将喷射部整体配置在高温状态下，能够缩短喷射部的长度。这样，能够隔断辐射热，并且不会在喷射部产生堵塞。另外，由于设置了用于将喷射部与蒸发单元闭塞的防镀单元，所以，不会在隔热单元上附着蒸镀材料，防镀单元成为高温状态，所以，蒸镀材料也不会在防镀单元上固化。
图I为表示蒸发源的构成的图。图2为使蒸镀材料从蒸发源朝侧方蒸镀的图。图3为蒸发源的剖视图。图4为说明将反射器的金属板用作罩构件的一例的图。图5为说明将反射器的金属板用作罩构件的另一例的图。图6为说明通过焊接将罩构件与反射器接合的例子的图。图7为表示将罩构件构成为漏斗状时的蒸发源的构成的图。图8为从蒸发源朝上方使蒸镀材料蒸镀的图。图9为说明真空蒸镀装置的一例的图。图10为设置了多个真空蒸镀腔室的系统的构成图。附图标记的说明
I蒸发源，2基板，3蒸镀掩模，5坩埚，6反射器，6E反射器开口部，7壳体，7E壳体开口部，8罩构件，11加热器，12喷嘴，13喷嘴前端面，15金属板，16喷嘴露出孔，30真空蒸镀装置，40系统，M蒸镀材料
具体实施例方式下面，参照
本发明的实施方式。图I为表示本发明的蒸发源I的概略图，图2表示使用蒸发源I进行蒸镀的场合的一例。图I及图2所示箭头的Z方向为重力方向，X及Y两方向形成水平面方向。而且，以下虽然说明在构成有机EL显示器的基板上蒸镀规定的有机薄膜层的场合，但不局限于此。例如，也可使金属薄膜层、无机薄膜层等蒸镀。另夕卜，也可不为有机EL显示器，而是蒸镀构成有机EL照明的有机薄膜层。如图2所示，蒸发源I成为用于使蒸镀材料M蒸镀在基板2上的装置。基板2为用于使蒸镀材料M蒸镀的被蒸镀体，使蒸镀掩模(金属掩模)紧密地贴合在基板上进行蒸镀。在蒸镀掩模3上作为贯通区域形成规定的掩模图案3A，通过掩模图案3A使蒸镀材料M 蒸镀在基板2上。在构成有机EL显不器的有机薄膜层的场合,发光层、注入层、输送层等的材料成为蒸镀材料M，在形成金属配线的电极层的场合，该材料成为蒸镀材料M。必须在基板2上进行正确的图案形成。为此，基板2与蒸镀掩模3之间严格地进行调准。基板2为玻璃原材料，蒸镀掩模3为金属原材料(例如，镍系合金(因瓦合金)等)。因此，金属原材料即蒸镀掩模3的热膨胀率比玻璃原材料即基板2的热膨胀率低。这样，如在基板2、蒸镀掩模3作用高温，则在基板2与蒸镀掩模3之间产生基于热膨胀率的差的位置偏差。如图I所示，蒸发源I大致由坩埚5、反射器6、壳体7以及罩构件8构成。坩埚5为箱状的蒸发单元，在内部设有蒸镀材料M。该蒸镀材料M在固体状态等下预先填充到坩埚5的内部。在坩埚5的外周面设有作为用于对坩埚5进行加热的加热单元的加热器11。由该加热器11的加热作用使坩埚5成为高温状态，内部的蒸镀材料M蒸发。在本图中，坩埚5由4个面(上面5A、下面5B、第I侧面5C、第2侧面5D)构成。另外，其中，加热器11安装在上面5A及下面5B上。当然，也可在任意的面上安装加热器
11。在第I侧面5C上按Y方向将喷嘴12排列成I列。喷嘴12为用于喷射蒸镀材料M的喷射部，基端面向坩埚5开口，蒸发了的蒸镀材料M从前端面(喷嘴前端面13)喷射。在喷嘴12上形成贯通孔，该贯通孔对被喷射的蒸镀材料M施加指向性。因此，使喷嘴12具有施加指向性程度的长度。反射器6(6A 6D)为用于隔断坩埚5 (加热器11)的辐射热的隔热单元，围住坩埚5地配置。反射器6由多个金属板15构成，各金属板15是以不锈钢、钥、钨等为原材料的金属材料。另外，各金属板15的表面实施镜面研磨，减小辐射率，从而减少朝外部放出的辐射热的能量。反射器6成为相互隔开规定间隔并列地配置有多个金属板15的构成，成为多层地层叠有金属板15与空间的构造。为此，虽然作为金属板15的单体用薄壁构成，但作为反射器6整体厚度变大。反射器6围住坩埚5的周围地配置，与坩埚5的各面5A 对应的部位的反射器6为6A 6D。在图I的例中，反射器6A 6D分别个别地设置，也可分别用一个构成反射器6A 6D的各金属板15。其中，在反射器6C上带状地形成细小的开口部(反射器开口部6E)。该反射器开口部6E形成在按I列排列在坩埚5上的喷嘴12露出的部位。壳体7为收容反射器6 (及坩埚5)的壳体单元。壳体7构成为箱状，在周围4个面7A 7D (与5A 对应)中的面7C (与第I侧面5C对应的面与基板相向的基板相向面)的一部分带状地形成细小的开口部(壳体开口部7E)。壳体开口部7E设在与反射器开口部6E同一面侧，喷嘴12经由壳体开口部7E及反射器开口部6E露出到外部空间。壳体开口部7E具有比反射器开口部6E更宽的开口面积。如图3所示，罩构件8为防镀构件，该防镀构件闭塞喷嘴12 (喷嘴前端面13)与反射器6之间，以使得从喷嘴12喷射了的蒸镀材料M不附着在反射器6上的方式设置。罩构件8能够装拆地设在壳体7上，通过拆下，能够进行壳体7及罩构件8的维修。而且，反射 器6也能够装拆地设在壳体7上，拆下反射器6，能够进行维修。罩构件8使用构成反射器6C的多个金属板15中的一个金属板15构成。罩构件8构成为凹状，从基端侧(接近坩埚5的一侧)朝前端侧(接近基板2的一侧)逐渐增大开口面积地形成。因此，在罩构件8上形成锥面8T。作为壳体7的面7C侧的构成，反射器6C的区域成为按规定间隔使多个金属板15层叠的构造，罩构件8的部位成为设置了一个金属板15的构造。因此，若以基板2为基准观看壳体7，则罩构件8的厚度比反射器6C的厚度更薄。为了不使坩埚5的高热直接作用在罩构件8，罩构件8和坩埚5非接触地设置。另一方面，使喷嘴12的喷嘴前端面13向罩构件8的外部空间(基板2面对的空间)突出。为此，在罩构件8的基端侧按在Y方向上排列成I列的方式设置用于使喷嘴12突出的喷嘴露出孔16。在图I及图3的例子中，在罩构件8的基端侧形成底面，在该底面设置喷嘴露出孔16。这样，能够从各喷嘴露出孔16使喷嘴12朝外部空间突出。喷嘴露出孔16具有比喷嘴12稍大的直径，使罩构件8与喷嘴12为非接触状态，并且使罩构件8与喷嘴12的间隙尽可能地小。在本发明中，反射器6C的最外层的金属板15 (最接近基板2的金属板15)按比喷嘴12的喷嘴前端面13更接近基板2的方式配置。换言之，喷嘴前端面13以位于比反射器6的最外层的金属板15更靠近内层侧的方式构成。反射器6C成为金属板15与空间的多层的层叠构造，每隔I层，热流束下降下去。这样，即使坩埚5的温度为极高温，该热也基本上不传递到反射器6C的最外层。因此，在反射器6C中，温度从最外层(最接近基板2的层)朝最内层(最接近坩埚5的层)分级地上升。在这里，喷嘴12的孔的内面成为蒸镀材料M的通过路径。若喷嘴12成为低温状态，则附着在孔的内面的蒸镀材料M受到冷却而析出。然后，析出而固化了的蒸镀材料M逐渐成长，这样，将喷嘴12闭塞，最终导致喷嘴堵塞。这样，不能继续对基板2进行蒸镀作业，需要解除真空状态进行维修。如上述那样，反射器6C的温度分级地变化，各级通过辐射放出与各个的温度的4次方成正比的能量，例如在表面状态相同的场合，即辐射率相同的场合，朝坩埚5的外部的放出能量能够下降为(级数+1)分之I。为此，能够减轻最外层的散热状态对坩埚5的影响。利用该温度分级下降这一情况，若将第n级的反射器的热传导至罩构件8，则能够防止喷嘴12冷却，附着在孔的内面的蒸镀材料M不会析出而固化。这样，能够避免喷嘴堵塞的发生。另外，喷嘴12不受反射器6C的厚度的影响。即，喷嘴12的喷嘴前端面13只要位于比反射器6C的最外层的金属板15更靠近内层侧即可，为此，为了提高隔热功能，即使使反射器6C的厚度极端地变厚，喷嘴12的总长也不需要构成得较大。这样，能够将喷嘴12的总长构成得较短，能够抑制从喷嘴12的散热。此时，反射器6中的至少一个金属板15位于比喷嘴前端面13更靠近基板2 —侧。这样，金属板15位于蒸镀材料M的喷射方向上，为此，存在蒸镀材料M附着在反射器6上的问题。若蒸镀材料M附着在金属板15上，则隔热功能下降，变得不能将辐射热隔断。因此，在喷嘴12与反射器6之间设置作为防镀构件的罩构件8。这样，罩构件8对反射器6进行保护，为此，蒸镀材料M不会附着在反射器6上。罩构件8严格地说是为了不在反射器6上附着蒸镀材料M而设置，没有隔热功能。因此，即使蒸镀材料M附着在防镀构件上，也不对隔热功能产生影响。另外，罩构件8使用反射器6C中的一个金属板15构成。S卩，使多个金属板15中的一个金属板15具有罩构件8及反射器6两者的功能，换言之，构成反射器6的一部分的金属板15与罩构件8 —体地构成。如上述那样，金属板15借助于隔热功能，受到热作用，温度在各级不同，但各金属板15维持高温状态。通过利用该高温状态的金属板15作为罩构件8，能够使罩构件8处于高温状态。从喷嘴12喷射的蒸镀材料M附着在罩构件8上。若罩构件8成为低温状态，则附着的蒸镀材料M析出而固化。然后，若固化了的蒸镀材料M逐渐成长，则闭塞喷嘴前端面13，导致与喷嘴堵塞同样的结果。因此，通过将构成反射器6的一个金属板15用作罩构件8，维持高温状态，即使蒸镀材料M附着在罩构件8上，再蒸发，也不会析出。另外，罩构件8的基端侧的开口面积最窄，朝前端侧逐渐扩大开口面积。为此，具有反射器6C及罩构件8两者的功能的金属板15按在壳体开口部7E的周缘部朝向基板的方式形成形状。另外，形成从前端朝向坩埚5的锥面8T。从喷嘴前端面13喷射了的蒸镀材料M扩散地飞散。喷嘴前端面13若以壳体7的面7C为基准，则设在凹下了的位置，罩构件8处在飞散方向上。因此，通过按从基端侧朝前端侧逐渐扩大罩构件8的开口面积的方式形成，使得罩构件8不对蒸镀材料M的飞散方向进行限制。这样，能够使蒸镀材料M蒸镀在基板2的所期望的范围，而且能够避免不需要的蒸镀材料M附着在罩构件8上。这个方面，若使罩构件8的锥面8T的倾斜角度比被喷射的蒸镀材料M的扩散角度更大，则能够避免蒸镀材料M附着在罩构件8上。但是，在该场合，存在壳体7的壳体开口部7E的开口面积变大，使得外部空间产生多余的温度上升的问题。因此，通过使罩构件8的锥面的倾斜角度与蒸镀材料M的扩散角度平行(或大体平行的角度)，使得不在外部空间产生多余的温度上升，而且不对蒸镀材料M的飞散方向进行限制。
另外，罩构件8与高温状态的反射器6的金属板15 —体地构成，与壳体7成为非接触状态。壳体7曝露在外部空间中，理想地维持常温状态。为此，若壳体7与罩构件8接触，则提供给罩构件8的热分散到壳体7，壳体7的温度上升，罩构件8的温度下降。这样，存在附着在罩构件8上的蒸镀材料M析出而固化的问题。为此，通过使罩构件8与壳体7为非接触状态，能够避免热的分散而导致的罩构件8的温度下降。
喷嘴12的喷嘴前端面13比设在罩构件8的基端侧的喷嘴露出孔16更突出。这样，从喷嘴前端面13喷射了的蒸镀材料M不会从罩构件8的内侧(壳体7的内部侧)绕入而附着在反射器6上。另外，使罩构件8的前端侧的部位比壳体7的面7C (朝向基板2的面)更朝向基板2突出。从喷嘴12喷射的蒸镀材料M具有指向性，喷射后的蒸镀材料M几乎不朝壳体7附着，但也存在极微量的蒸镀材料M附着在壳体7上的问题。因此，通过使罩构件8的前端侧的部位突出，壳体7由罩构件8挡住，所以，附着的问题消失。另外，如上述那样，罩构件8使用反射器6C的各金属板15中的一个构成,也可将任意的金属板15用作罩构件8。图4将最外层的金属板15用作罩构件8，也可如图5那样使用从最外层起第2层。但是，最外层的金属板15成为最低温，最内层的金属板15成为最高温。因此，从各金属板15选择最佳的金属板15，用作罩构件8。将反射器6C的金属板15用作罩构件8，是为了将罩构件8维持在高温状态，不使附着了的蒸镀材料M固化。因此，只要使罩构件8具有蒸镀材料M不固化的最低限的温度即可，不需要提供此以上的温度。相反，若使罩构件8具有不必要的高的温度，则向外部空间提供多余的热。反射器6C从最内层朝最外层分级地下降温度，所以，使用处在具有蒸镀材料M不固化的温度那样的层的金属板15。这样，能够防止蒸镀材料M的析出，并且不使外部空间产生不需要的温度上升。蒸镀材料M析出而固化的温度因蒸镀材料M的种类的不同而不同。因此，能够根据填充在坩埚5中的蒸镀材料M的种类，从多个金属板15选择能够将不固化的最低限的温度的热量供给到罩构件8的金属板15。这样，能够选择与蒸镀材料M相应的最佳的金属板15。
另外，喷嘴12可按到具有蒸镀材料M不固化的温度的金属板15的位置的长度构成。为了避免不需要的散热，最好喷嘴12的长度构成得较短，但为了对喷射的蒸镀材料施加指向性，使其具有某种程度的长度。若处在蒸镀材料M不固化的温度状况下，则容许将喷嘴12构成得较长。这样，能够对从喷嘴12喷射的蒸镀材料M施加足够的指向性，而且能够不在喷嘴12产生堵塞。上述的罩构件8利用构成反射器6的金属板15中的一个,也可如图6所不那样准备与反射器6不同的金属板21,通过将该金属板21与反射器6的金属板15中的任意的金属板15焊接而一体化。这样，能够从反射器6的金属板15将热传递到一体化的金属板21而形成为高温状态。另外，也可如图7所示那样将罩构件8构成为漏斗状。按将喷嘴12插入到漏斗状的前端部分(开口面积不变化的部分)8A中的方式构成，前端部分8A与喷嘴12之间维持非接触状态，并且使其靠近。这样，反射器6C与喷嘴12之间极为靠近。按照该构成，能够使反射器开口部6E的开口面积窄小，能够使辐射热的影响为最小限。而且，通过沿喷嘴12设置罩构件8 (的开口面积不变化的部分)，能够闭塞与反射器6C之间。此时，最好使喷嘴前端面13位于从漏斗状的罩构件8的前端部分8A向锥面8T的部分转移的部位。这样，能够使反射器开口部6E的开口面积为最小限度，而且能够闭塞与反射器6C之间。在图I的例中，从蒸发源I朝侧方(水平面方向)喷射了蒸镀材料M，也可如图8所示那样使喷嘴12朝上方地构成蒸发源I。此时，基板2及蒸镀掩模3配置在蒸发源I的上方，从蒸发源I朝上方(垂直方向)喷射蒸镀材料M。图9表示具有蒸发源I的真空蒸镀装置30的一例。真空蒸镀装置30构成规定的腔室(真空蒸镀腔室)，内部空间通过真空泵31 (在图中为VP)抽真空而成为真空状态。基板2及蒸镀掩模3按在垂直方向上立起的状态输送，在真空蒸镀装置30的规定位置停止。蒸发源I固定地搭载在移动台32上，移动台32沿设在真空蒸镀装置30的壁面上的轨33移动。作为驱动单元设置滚珠丝杠34，使轨33在垂直方向(Z方向)上延伸，移动台32在垂直方向上移动。因此，搭载在移动台32上的蒸发源I也在垂直方向上移动。基板2具有宽的面积，使固定有蒸发源I的移动台32移动而进行蒸镀。在该例中，能够移动蒸发源1，也可使基板2移动。在蒸发源I设有用于对喷射了的蒸镀材料M的膜厚进行测定的速率传感器35，对蒸镀状况进行监视。图10表示由多个真空蒸镀装置30构成的系统40的一例。在该系统40中，具有基板移动装置41 43、中继腔室44 47以及真空蒸镀腔室(真空蒸镀装置)48 59。各真空蒸镀腔室48 59分别在基板2上蒸镀不同的蒸镀材料M。例如，按以下方式分别蒸镀不同的蒸镀材料M，S卩，若为注入层，则蒸镀空穴注入层、电子注入层，若为输送层，则蒸镀空穴输送层、电子输送层，若为发光层，则蒸镀R (红色)、G(绿色)、B (蓝色)这样3色的发光层，若为电极层，则蒸镀阳极层和阴极层。在图10的例子中，3个真空蒸镀腔室48 51、52 55、56 59这样4个构成一个工位，成为共3级的工位构成。基板移动装置41使基板移动到第I级的工位的各腔室，基板移动装置42使基板移动到第2级的工位的各腔室，基板移动装置43使基板移动到第3级的工位的各腔室。中继腔室44 47设置为用于使基板转移到下一级的工位的中继地点。在有机EL显示器的场合，在基板2上层叠多个有机薄膜层而构成，所以，通过构筑图10那样的系统40，能够在基板2上依次层叠有机薄膜层。权利要求
1.一种蒸发源，其具有喷射部、隔热单元以及防镀单元， 该喷射部设在对蒸镀材料进行加热而使其蒸发的蒸发单元上，朝被蒸镀体喷射蒸发了的上述蒸镀材料； 该隔热単元具有并列地配置的多个金属板，将该金属板中的最接近上述被蒸镀体的金属板设置在比上述喷射部的前端面更接近上述被蒸镀体的位置； 该防镀单元与构成上述隔热单元的多个金属板中的一部分一体地构成，将上述喷射部与上述隔热单元之间闭塞。
2.根据权利要求I所述的蒸发源，其特征在于 上述防镀单元使用构成上述隔热单元的多个金属板中的ー个金属板构成。
3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于 上述防镀单元构成为这样的凹状，该凹状为上述蒸发单元侧的开ロ面积最窄，并且开ロ面积朝上述被蒸镀体侧逐渐变宽。
4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于 使得上述喷射部的前端面比上述防镀单元的最基端侧的部位更突出。
5.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于 使得上述防镀单元的最前端侧的部位比收容上述隔热单元的壳体单元的与上述被蒸镀体相向的面更突出。
6.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于 构成上述防镀单元的金属板使用如下的金属板构成构成上述隔热单元的金属板中的、具有上述蒸镀材料不固化的温度而且具有其中最低的温度的金属板。
7.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于 使上述喷射部的前端面处在构成上述隔热单元的多个金属板中的具有上述蒸镀材料不固化的温度的金属板的位置。
8.一种蒸镀装置，其特征在于该蒸镀装置配置有权利要求I 7中任何一项所述的蒸发源。
全文摘要
本发明提供一种蒸发源和蒸镀装置，其发明目的在于隔断坩埚的辐射热而且不在喷嘴产生堵塞，本发明的蒸发源(1)具有喷嘴(12)、反射器(6)以及罩构件(8)，该喷嘴(12)按从对蒸镀材料(M)进行加热而使其蒸发的坩埚(5)突出的方式设置，朝基板(2)喷射蒸发了的蒸镀材料(M)；该反射器(6)具有并列地配置的多个金属板(15)，使得这些多个金属板(15)中的最接近基板(2)的金属板(15)设在比喷嘴(12)的喷嘴前端面(13)更接近基板(2)的位置；该罩构件(8)与构成反射器(6)的多个金属板(15)中的一部分一体地构成，将喷嘴(12)与反射器(6)之间闭塞。
文档编号C23C14/24GK102676999SQ201210058800
公开日2012年9月19日 申请日期2012年3月8日 优先权日2011年3月8日
发明者三宅龙也, 峰川英明, 松浦宏育, 矢崎秋夫, 福田浩 申请人:株式会社日立高新技术