专利名称：一种真空镀膜装置的传动滚轴的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜装置，特别涉及一种用于多个真空室串联连续镀膜的在真空室内传送镀件的传动滚轴。
背景技术：
常见的真空镀膜，一般是在一个镀膜腔体内进行镀膜操作，如果将多个镀膜腔体连接起来，被镀工件从一个镀膜腔体，传到下一个镀膜腔体进行连续镀膜，则需要将多个被镀件连续送到各个镀膜腔体进行镀膜，这就需要一种传送装置，并且要保持镀膜腔体的真空度。
发明内容为解决前述存在的问题，本实用新型提供一种连续真空镀膜装置的传动滚轴，该传动滚轴是在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。实用新型的优点是，结构简单，负载大，成本低，传送被镀件方便，速度可调，容易控制。
附图I是本实用新型的结构图。
具体实施方式
请参阅附图I所示，该传动滚轴是在二根平行的支架I之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴2，另外还连接有一根主动滚轴3，主动滚轴3通过齿轮或链条与被动滚轴2连接，主动滚轴3通过伞齿轮4与一纵向的真空贯穿器5连接，真空贯穿器5与一电动机6连接，真空贯穿器5与真空镀膜腔体连接。所述真空贯穿器5是其转轴采用油封结构，转轴的油封结构是公知技术。
权利要求1.一种真空镀膜装置的传动滚轴，其特征在于，在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。
专利摘要本实用新型公开一种连续真空镀膜装置的传动滚轴，该传动滚轴是在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。本实用新型的优点是，结构简单，负载大，成本低，传送被镀件方便，速度可调，容易控制。
文档编号C23C16/54GK202465862SQ20122002658
公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月20日 优先权日2012年1月20日
发明者史旭 申请人:纳峰真空镀膜(上海)有限公司