一种用于真空镀膜设备的衬底基座的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备的衬底基座。本实用新型由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成。该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。本实用新型可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定，简单方便，尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力，具有很好的实用性。
【专利说明】一种用于真空镀膜设备的衬底基座
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜【技术领域】，具体为一种用于真空镀膜设备的衬底基座。【背景技术】
[0002]真空镀膜设备中，衬底的固定非常重要，但通常镀膜设备中自带的衬底基座只能固定具有一定面积或一定形状的衬底，且位置可变动性较小，对于面积比较小、数量比较多的衬底无法固定紧实，同时采用长距离垫片又紧固不牢，另一方面对于面积较大的衬底又覆盖太多，使衬底无法达到最大化利用。
[0003]发明目的
[0004]本实用新型的目的在于提出一种简单实用的用于真空镀膜设备的衬底基座。
[0005]本实用新型提出的一种真空镀膜设备的衬底基座，是由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成。
[0006]该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3 cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。
[0007]进一步说，所述的沟槽轨道为直线轨道或圆型轨道。
[0008]进一步说，所述的金属薄垫片用来固定衬底样品，呈叶片状。
[0009]进一步说，所述的螺丝杆设置有用来增加松紧度的中间有孔的圆形或方形垫片。
[0010]本实用新型的有益效果:本实用新型可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定，简单方便，尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力，具有很好的实用性。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1本实用新型的一种用于真空镀膜设备的圆形衬底基座示意图。
[0012]图2本实用新型的一种用于真空镀膜设备的方形衬底基座示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型进一步描述:
[0014]本实用新型由带沟槽的衬底面板、螺丝螺母和金属薄垫片组成。衬底面板的沟槽轨道至少有两条，可以是平行的直线轨道，也可以是半径不同的圆型轨道，且两条轨道之间的距离至少3 cm。沟槽轨道有一定的宽度，宽度以能容下配套螺丝为宜，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动。衬底面板的形状不固定，可以是方形和圆形或者其他形状。衬底面板、螺丝螺母以及金属薄垫片的材质需耐高温。螺丝螺母是哑铃式的，一端位于衬底面板的背面，另一端在衬底面板的正面，且位于背面的那一端的螺帽可以永久固定在螺丝上，也可以旋开。金属薄垫片是带圆孔(可以套在螺丝杆上)的一边有一定长度的叶片，类似柳树叶子的形状，且长度适中，用来固定衬底样品。一个衬底面板可以配多套螺丝螺母金属薄垫片。除了用来固定衬底样品的类似柳树叶子状的金属薄垫片外，还可以有其它用来增加松紧度的中间有孔的普通圆形或方形垫片。
[0015]实施例1，如图1为一种用于真空镀膜设备的圆形衬底基座示意图，由带沟槽的衬底面板2、数量不受限制的螺丝螺母4和金属薄垫片I组成，金属薄垫片I在螺丝螺母4约束下限位于圆型轨道3内滑动，可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定，简单方便，尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力，具有很好的实用性。
[0016]实施例2，如图2为一种用于真空镀膜设备的方形衬底基座示意图，其选用了平行的直线轨道，也可以通过调节螺丝螺母的位置，以及金属薄垫片的方向来很好的对数量众多的衬底样品进行紧固。
【权利要求】
1.一种用于真空镀膜设备的衬底基座，其特征在于:该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成； 衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3 Cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。
2.根据权利要求1所述的衬底基座，其特征在于:所述的沟槽轨道为直线轨道或圆型轨道。
3.根据权利要求1所述的衬底基座，其特征在于:所述的金属薄垫片用来固定衬底样品，呈叶片状。
4.根据权利要求1所述的衬底基座，其特征在于:所述的螺丝杆设置有用来增加松紧度的中间有孔的圆形或方形垫片。
【文档编号】C23C14/50GK203768452SQ201420106671
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年3月10日 优先权日:2014年3月10日
【发明者】黄延伟 申请人:杭州电子科技大学