1.一种硅片抛光机边缘导轮,该导轮通过连接臂固定连接在硅片抛光机的底座上,其特征在于,该导轮包括转动组件和外圈,该转动组件包括上盖、下盖、中轴、轴承和轴承外套;其中,
两个轴承通过过渡配合安装在中轴上,该两个轴承的外缘通过过渡配合套在轴承外套内;上盖位于轴承外套上部,且其上缘具有一凸起;下盖位于轴承外套下部,且其下缘具有一凸起;上盖、轴承外套及下盖经螺钉固定连接,且轴承外套与下盖之间通过凹凸错台结构的相互咬合;
外圈安装在转动组件的外部,该外圈的上端和下端分别开有凹槽,其中上端凹槽与上盖上缘的凸起卡合,下端凹槽与下盖下缘的凸起卡合。
2.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮,其特征在于,连接臂与中轴连接处设置有V型密封圈,上盖和中轴、下盖与中轴之间设置有O型密封圈,防止液体进入轴承部分影响轴承寿命。
3.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮,其特征在于,所述固定连接臂与所述中轴通过螺钉固定连接。
4.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮,其特征在于,所述外圈的材质为耐磨材料。
5.根据权利要求4所述的硅片抛光机边缘导轮,其特征在于,所述耐磨材料为工程塑料。
6.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮,其特征在于,所述外圈为一体式设计,在转角处导出圆角,且其直径变化处加工有斜坡形让渡截面,方便抛光头上下动作。