技术总结
本发明公开了一种硅片抛光机边缘导轮，该导轮通过连接臂固定连接在硅片抛光机的底座上，该导轮包括转动组件和外圈，该转动组件包括上盖、下盖、中轴、轴承和轴承外套；其中，两个轴承通过过渡配合安装在中轴上，该两个轴承的外缘通过过渡配合套在轴承外套内；上盖位于轴承外套上部，且其上缘具有一凸起；下盖位于轴承外套下部，且其下缘具有一凸起；上盖、轴承外套及下盖经螺钉固定连接，且轴承外套与下盖之间通过凹凸错台结构的相互咬合；外圈安装在转动组件的外部，该外圈的上端和下端分别开有凹槽，其中上端凹槽与上盖上缘的凸起卡合，下端凹槽与下盖下缘的凸起卡合。本发明的硅片抛光机边缘导轮可实现硅片抛光过程中陶瓷板的稳定旋转，稳定性好，寿命长。
技术研发人员：孙超;刘建涛;赵晶;叶林
受保护的技术使用者：有研半导体材料有限公司
文档号码：201510303034
技术研发日：2015.06.04
技术公布日：2017.01.04