一种大口径光学元件双面抛光机的制作方法

文档序号:12555063阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大口径光学元件双面抛光机,包括:上抛光盘、主摆杆、副摆杆、偏心轮、偏心轮机座、上抛光盘自转轴、上抛光盘驱动电机、校正盘、校正盘卡钳、校正盘驱动电机、工件环、工件环卡钳、工件环驱动电机、下抛光盘、主机座;其中,主摆杆、副摆杆、偏心轮、偏心轮机座组成上抛光盘摆动结构,为上抛光盘提供摆动运动;主摆杆一末端设置有上抛光盘自转轴、上抛光盘驱动电机,上抛光盘驱动电机驱动上抛光盘自转轴转动,为上抛光盘提供自转运动;校正盘位于下抛光盘面上,通过校正盘卡钳限位,校正盘卡钳上设置有校正盘卡钳驱动电机,用于驱动校正盘自转;工件环位于下抛光盘面上,通过工件环卡钳限位,工件环卡钳上设置有工件环驱动电机,用于驱动工件环自转;主机座连接下抛光盘,驱动下抛光盘沿逆时针方向自转。

2.根据权利要求1所述的大口径光学元件双面抛光机,其特征在于:所述副摆杆可调节长度,一端通过关节轴承与所述主摆杆连接,另一端通过滚动轴承与所述偏心轮连接;通过调节所述偏心轮的偏心距可调节所述主摆杆摆幅;所述主摆杆可调节长度,末端面上设置有电机座与所述上抛光盘驱动电机连接,还设有通孔,底面设置有方形轴承座,用于放置上抛光盘自转轴;所述上抛光盘自转轴上端通过联轴器与所述上抛光盘驱动电机输出端连接,下端通过开有一字槽的接头与上抛光盘连接;所述上抛光盘自转轴下端设有销孔,销孔内穿有插销,插销位于接头的一字槽内;所述上抛光盘自转方向与所述下抛光盘转动方向一致。

3.根据权利要求1所述的大口径光学元件双面抛光机,其特征在于:所述校正盘的直径是所述下抛光盘直径的8/15,其厚度是其直径的1/10;所述校正盘被所述校正盘卡钳限位,通过调节校正盘卡钳可调节所述校正盘与所述下抛光盘的相对位置;所述校正盘在所述校正盘驱动电机下自转,自转方向与所述下抛光盘方向一致。

4.根据权利要求1所述的大口径光学元件双面抛光机,其特征在于:所述工件环卡钳设有主动轮、从动轮和保护臂,主动轮与所述工件环驱动电机连接,保护臂设有辅助轮;主动轮、从动轮和辅助轮与所述工件环外圆相切,相对所述工件环中心120°均匀分布,抱紧所述工件环;所述工件环卡钳设有XY位置调节装置,可调节所述工件环与下抛光盘的相对位置。

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