1.一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。
2.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于气挡板上沿中间水平方向均匀地钻几十个小孔作为进气孔；进气孔的数量大于2。
3.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于进气室为进气管道，进气管道安装在圆柱形腔体的顶部，进气管道上分布有进气孔，进气孔的数量大于2，进气口连接进气管道。
4.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于进气孔包括第一进气孔和第二进气孔。
5.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于在沉积腔室底部，电极柱和升降主轴之间焊接一个金属罩作为抽气室壁，在抽气室壁下面的沉积腔室底部上开口作为抽气口，抽气室壁与沉积腔室底部形成抽气室，抽气室与升降主轴的间缝隙就成为了一个均匀出气的抽气通道。
6.一种热丝化学气相沉积炉进出气气路方法，其特征在于含有以下步骤；
在化学气相沉积炉腔室中安装进气室和抽气室作为缓冲，从进气室上均匀分布的进气孔进气，从抽气室与升降主轴间缝隙出气；
在腔室顶角部位沿45度角焊接一块金属板作为进气挡板，形成一个环状的进气室；
在沉积腔室底部、电极柱和升降主轴之间焊接一个抽气罩，抽气罩与沉积腔室底部、升降主轴之间形成的空间；
在进气室挡板上沿中间水平方向均匀地钻的几十个小孔作为进气孔；
还包括如下步骤；
在腔室外壁上开口作为外部进气口，在进气挡板上沿中间水平方向均匀地钻几十个小孔作为进气孔；
在沉积腔室底部，电极柱和升降主轴之间焊接一个金属罩作为抽气室壁，在抽气室壁下面的沉积腔室底部上开口作为抽气口，抽气室壁与沉积腔室底部形成抽气室，抽气室与升降主轴间缝隙就成为了一个均匀出气的抽气通道。
7.根据权利要求6所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路方法，其特征在于外部气体首先通过进气口进入腔室上部的进气室，缓冲后通过几十个进气孔流动到热丝上方，最后从抽气室与升降主轴间缝隙进入抽气室，缓冲后从抽气口被抽到沉积腔室外。
8.根据权利要求6所述的一种热丝化学气相沉积炉进出气气路方法，其特征在于进气室和抽气室体积远远大于进气孔和抽气缝，从而使进气和出气非常均匀。