技术总结
一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法，属于热丝化学气相沉积技术领域。圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。本发明可以解决热丝化学气相沉积设备沉积腔室中反应气体分布不均匀的问题，同时也不易产生粉尘、颗粒掉落到沉积基体表面。
技术研发人员：李卫
受保护的技术使用者：廊坊西波尔钻石技术有限公司
文档号码：201610528450
技术研发日：2016.07.06
技术公布日：2016.12.07