蒸发源的加热装置和蒸镀设备的制作方法

文档序号:23451719发布日期:2020-12-29 09:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸发源的加热装置,其特征在于,包括加热件,所述加热件用于对蒸发源加热;

所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件,多个所述直线段加热件并排设置;

相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连;

其中,一个所述圆弧段加热件和与其相连的两个所述直线段加热件形成u型结构。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度;

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径。

3.根据权利要求2所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度的1/5;

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径的2倍。

4.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,相邻两个所述直线段加热件的间距与所述圆弧段加热件的直径相等。

5.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,所述圆弧段加热件为半圆形。

6.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,多个所述直线段加热件的长度相等,且直径相等;

和/或,多个所述圆弧段加热件的直径相等。

7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,所述蒸发源的加热装置还包括加热箱体、温控机构和固定件;

所述固定件与所述加热箱体连接,所述加热件设置于所述固定件的安装面,所述固定件沿所述加热箱体高度方向的长度小于所述直线段加热件的长度;

所述温控机构设置于所述加热箱体,并与所述加热件电连接,用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

8.根据权利要求7所述的蒸发源的加热装置,其特征在于,所述蒸发源的加热装置还包括连接件;

所述加热件包括至少两个间隔布置的加热件,所述固定件包括至少两个间隔布置的固定件,所述连接件设置于任意两个所述固定件之间。

9.一种蒸镀设备,包括蒸发源,其特征在于,包括权利要求1-8任一项所述的蒸发源的加热装置。


技术总结
本申请属于蒸镀技术领域,涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置,包括加热件,所述加热件用于对蒸发源加热;所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件,多个所述直线段加热件并排设置;相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。本申请将加热件呈“曲折”状态设置,使得加热件的加热更加均匀,加热效率更高,可以实现更大的加热功率和加热速率,提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量,提高蒸镀质量。

技术研发人员:轩景泉;钱海涛;王辉;马晓宇;彭勃;尹恩心
受保护的技术使用者:上海升翕光电科技有限公司
技术研发日:2019.12.30
技术公布日:2020.12.29
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