专利名称：一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光伏或半导体领域中的一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，经 该装置处理分离后得到的氮化硅经过简单处理后可再次作为石英坩埚涂层的制备原料，当 然也可以用做其他用途，分离得到的石英坩埚片也可进行再利用。
背景技术：
在多晶硅铸造过程中，由于制备工艺需要，在石英坩埚表面涂覆高纯氮化硅涂层， 在完成多晶硅铸造后，该氮化硅涂层回收后可以进行重复利用，但是由于坩埚壁上的氮化 硅涂层由于经过高温烘烤和铸锭的高温烧结，氮化硅粉体和石英坩埚紧紧地结合在一起， 很难将氮化硅粉体和石英坩埚分离开。目前光伏企业对于这些粘附有氮化硅的石英坩埚片 都是作为废弃物处理的，而由于高纯氮化硅粉体的价格昂贵，所以找到一种装置来实现氮 化硅粉体和石英坩埚片的分离是非常有意义的。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种分离石英坩埚和氮化硅的装置，该装置 实现了石英坩埚和氮化硅的高效分离。本实用新型的技术方案为一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，包括操作台，其中操作台上方设有一个或 若干个高压喷枪，高压喷枪通过管道与外界连接，操作台下方设有容器。本实用新型中的喷枪为高压喷枪，通过高压喷枪喷出高压水。本实用新型中的操作台主要是用来放置待分离的粘附有氮化硅的石英坩埚片，为 了进一步提高分离效率，操作台可以设置为具有自动传输功能，当操作台将待分离的粘附 有氮化硅的石英坩埚片传输至高压喷枪正下方处，高压喷枪喷出高压水对待分离的粘附有 氮化硅的石英坩埚片进行冲击，氮化硅粉体会从石英坩埚片上脱落下来，并落入位于操作 台下方的容器中。容器用来盛装沉降分离得到的氮化硅粉体。一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中为了节约水的利用，还设有循环管 道，容器通过循环管道与高压喷枪连接，容器中的水可以通过循环管道运送至高压喷枪处 提供高压水。一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中为了将容器中的水进行循环利用以 及促进氮化硅的沉降效果，容器可以采用分级式的，其中容器由若干个容器单元组成，上一 级容器单元的出口与下一级的容器单元的进口通过连接装置连接。一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中终级容器单元通过循环管道与高压 喷枪连接。本实用新型的优点实现了石英坩埚片和氮化硅的高效率分离，同时本实用新型 的制备以及使用成本低，非常适合在生产中进行推广应用。
附图1是本实用新型的结构示意图。附图2是本实用新型实施例2的结构示意图。附图3是本实用新型实施例4使用状态的结构示意图。附图4是本实用新型实施例6的结构示意图。附图标记高压喷枪1、操作台2、容器3、管道4、循环管道5、粘附有氮化硅的石英 坩埚片6、石英坩埚片7、氮化硅粉体8、高压水9、连接装置10。
具体实施方式
实施例1、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，包括操作台2，其中操作台2上 方设有一个或若干个高压喷枪1，高压喷枪1通过管道4与外界连接，操作台2下方设有具 有容器3。实施例2、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中还设有循环管道5，容器3 通过循环管道5与高压喷枪1连接。其余同实施例1。实施例3、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中操作台2具有自动传输功 能。其余同实施例1。实施例4、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中操作台2具有自动传输功 能。其余同实施例2。实施例5、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中容器3可以采用分级式的， 其中容器3由若干个容器单元组成，上一级容器单元的出口与下一级的容器单元的进口通 过连接装置10连接。其余同实施例1-4中的任意一种实施例。实施例6、一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其中终级容器单元通过循环管 道5与高压喷枪1连接。其余同实施例2、实施例4或实施例5。结合实施例解释工作原理待分离的粘附有氮化硅的石英坩埚片6放置在操作台 2上，位于操作台2上方的高压喷枪1喷出高压水9对待分离的粘附有氮化硅的石英坩埚片 6进行冲击，氮化硅粉体8会从石英坩埚片6上脱落下来，并与水一同落入位于操作台2下 方的具有一定体积的容器3中，氮化硅粉体8从粘附有氮化硅的石英坩埚片6分离后，粘附 有氮化硅的石英坩埚片6变为石英坩埚片7，石英坩埚片7可以进行收集后进行再利用；循 环管道5的设置可以实现将容器3中的水运输到高压喷枪1处进行循环利用。实施效果本实用新型完全实现了石英坩埚片和氮化硅粉体的有效分离，分离效 果好，且分离速度快。
权利要求一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，包括操作台(2)，其特征在于操作台(2)上方设有一个或若干个高压喷枪(1)，高压喷枪(1)通过管道(4)与外界连接，操作台(2)下方设有具有容器(3)。
2.如权利要求1所述的一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其特征在于还设有循 环管道(5)，容器(3)通过循环管道(5)与高压喷枪(1)连接。
3.如权利要求1所述的一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其特征在于容器(3) 为分级式，容器(3)由若干个容器单元组成，上一级容器单元的出口与下一级的容器单元 的进口通过连接装置(10)连接。
4.如权利要求2或3所述的一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，其特征在于终级 容器单元通过循环管道(5)与高压喷枪(1)连接。
专利摘要本实用新型涉及光伏或半导体领域中的一种分离石英坩埚片和氮化硅的装置，分离得到的氮化硅经过简单处理后可再次作为石英坩埚涂层的制备原料，当然也可以用做其他用途，分离得到的石英坩埚片也可进行再利用；该装置包括操作台2，其中操作台2上方设有一个或若干个高压喷枪1，高压喷枪1通过管道4与外界连接，操作台2下方设有具有容器3；本实用新型实现了石英坩埚片和氮化硅的高效率分离，同时本实用新型的制备以及使用成本低，非常适合在生产中进行推广应用。
文档编号C01B33/021GK201704073SQ201020174029
公开日2011年1月12日 申请日期2010年4月27日 优先权日2010年4月27日
发明者吕东, 张军彦, 张涛, 胡动力 申请人:江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司