包含多晶第13族元素氮化物的自立基板和使用该自立基板的发光元件的制作方法

技术总结
在取向多晶第13族元素氮化物自立基板中减小单晶粒子的倾角，另外减小倾角的波动。自立基板包含由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个单晶粒子构成的多晶第13族元素氮化物。自立基板具有上表面和底面。多晶第13族元素氮化物包含氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶，以1×1017原子/cm3～1×1020原子/cm3的浓度含有锌。

技术研发人员：今井克宏;仓冈义孝;市村干也;平尾崇行
受保护的技术使用者：日本碍子株式会社
技术研发日：2017.02.10
技术公布日：2018.10.23