感光性树脂组合物、感光性转印材料、像素隔离件及其形成方法、带像素隔离件的基板、滤...的制作方法

专利名称：：感光性树脂组合物、感光性转印材料、像素隔离件及其形成方法、带像素隔离件的基板、滤...的制作方法
技术领域：
：本发明涉及感光性树脂组合物以及使用该感光性树脂组合物的感光性转印材料、像素隔离件(pixelbarrier)及其形成方法、带像素隔离件的基板、滤色器及其制造方法、显示装置。
背景技术：
：近年来，个人电脑用液晶显示器、液晶彩色电视的需求趋向增加，对上述显示器中不可或缺的滤色器的特性提高以及成本降低的要求越来越咼。目前，作为滤色器的制造方法，采用染色法、颜料分散法、电沉积法、印刷法等。例如，染色法即在透明基板上形成作为染色用材料的水溶性高分子材料层，将其通过光刻工序图案形成所需的形状后，将得到的图案浸渍到染色浴中，得到着色图案。通过重复该工序3次，来形成由R(红)、G(绿)、B(蓝)这三种颜色的着色部形成的着色层。颜料分散法是近年来盛行的方法，即在透明基板上形成分散有颜料的感光性树脂层，将其通过图案形成来得到单色的图案。通过重复该工序3次，来形成由R、G、B这三种颜色的着色部形成的着色层。电沉积法即在透明基板上图案形成透明电极，浸渍到含有颜料、树脂、电解液等的电沉积涂布液中，电沉积第一种颜色。重复该工序3次，形成由R、G、B这三种颜色的着色部形成的着色层，最后烧结。印刷法即在热固化型的树脂中分散颜料，通过重复印刷3次，来分别涂布R、G、B后，通过使树脂热固化来形成着色层。这些方法都需要重复3次同样的工序以形成红色、绿色、蓝色这三种颜色的像素，成本高是它们的共通点。此外，由于工序数多，因此还存在合格率易下降的问题。为了克服这些问题，近年来对通过用颜料分散法形成黑色矩阵(像素隔离件)、用喷墨法制作RGB像素的滤色器制造方法进行了研究。该喷墨方式在黑色矩阵(像素隔离件)的凹部依次赋予R、G、B各种颜色来形成像素。利用喷墨方式的方法具有制造工序简单、成本低的优点。另外，喷墨方式不限于滤色器的制造，还可以在电致发光元件等其他光学元件的制造中应用。上述喷墨法必须防止在相邻像素区域间发生油墨的混色等以及在规定的区域以外的部分固粘ITO溶液和金属溶液的现象。因此，要求隔板(像素隔离件)具有排斥作为喷墨吐出液的水和有机溶剂等的性质即斥水、斥油性。作为形成这种隔板(像素隔离件)的树脂，公开了含有乙烯基类聚合物、感光性树脂以及有机溶剂的涂布用组合物，所述乙烯基类聚合物通过将含有具有氟代垸基的乙烯基类单体的单体组合物聚合来得到，所述乙烯基类聚合物是含有0.15质量％氟原子的聚合物(例如参照日本专利特开平9-54432号公报)。作为赋予斥水、斥油性的技术，例如公开了通过将含有具有氟代烷基的乙烯基类单体的单体组合物聚合而得到的乙烯基类聚合物、六氟丙烯等乙烯基类单体和具有3个以上酯基的其他乙烯基类单体的共聚物(例如参照专利文献l、专利文献2)。另外，还公开了含有乙烯基类聚合物、感光体的抗蚀剂组合物，所述乙烯基类聚合物通过将含有具有碳原子数为46的氟代烷基的乙烯基类单体的单体组合物聚合来得到，所述乙烯基类聚合物的氟原子含有率为735质量％(例如参照专利文献3)。作为带含有斥油墨剂的黑色矩阵的基板的制造方法，有通过控制黑色矩阵的热固化温度和热固化时间而将黑色矩阵的上顶部相对于着色油墨的接触角控制在30°60°的技术(例如参照专利文献4)。另一方面，公开了通过在具有a-溴乙酸单元的树脂中加成叔胺而得到的水溶性感光性树脂的例子(例如参照专利文献5)。但是，当使用内添斥油墨剂的感光性树脂组合物来形成黑色矩阵时，含有含氟化合物的黑色矩阵通常在图案化后要实施烘烤处理等高温处理以进行斥油墨化和固化等，致使作为黑色矩阵所包围的像素形成区域的玻璃面也被斥油墨化，在赋予着色像素形成用油墨时，玻璃排斥油墨，导致无法形成所需品质的着色像素，进而无法形成滤色器。专利文献6中所述的由共聚物的配合比例形成的组合物，其形成的涂膜的斥水斥油墨性存在不足的倾向。此外，专利文献3中所述的乙烯基类聚合物则存在显影液耐性及显影时的密合性不足的倾向。专利文献1:日本专利特开2004-2733号公报专利文献2:日本专利特开平3-244604号公报专利文献3:日本专利特开2005-315984号公报专利文献4:日本专利特开2006-251433号公报专利文献5:日本专利特开昭61-174202号公报专利文献6:日本专利特开平9-54432号公报
发明内容本发明的某一方式的技术问题在于提供能保持制成图案图像(例如像素隔离件)时该图案图像上面(与基板接触的面的相反侧的露出面)的斥水性和斥油墨性并很好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密合性并抑制了热处理时的含氟化合物成分(包含分解成分)的释放的感光性树脂组合物。本发明的某一方式的技术问题在于提供具有如下均一的感光性树脂层的感光性转印材料，该感光性树脂层能保持转印形成的图案图像(例如像素隔离件)的上面的斥水性和斥油墨性并很好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密合性并抑制了涂布时反弹的产生。本发明的某一方式的技术问题在于提供能在保持被赋予着色液体的区域的润湿性的同时形成具有斥油墨性且抑制了赋予的着色液体的搁浅的像素隔离件的像素隔离件形成方法、以及用该形成方法形成的像素隔离件及其制造方法。本发明的某一方式的技术问题在于提供具有斥油墨性、抑制在像素隔离件间的凹部赋予着色液体时的着色液体的搁浅并保持像素隔离件间的被赋予着色液体的区域的润湿性的带像素隔离件基板。本发明的某一方式的技术问题在于提供抑制了混色、空白和图像显示时的显示不均的高品质滤色器及其制造方法。本发明的某一方式的技术问题在于提供抑制显示不均、能显示高品质图像的显示装置。用内添了斥油墨剂的树脂组合物事先形成黑色矩阵等图案后，若对该图案实施烘烤处理等的高温处理(例如15(TC以上)，则来自图案中含有的含氟化合物的成分释放到体系外并附着于基板表面，导致赋予基板表面的油墨的润湿性下降，但发现特定的含氟化合物能抑制黑色矩阵形成后在基板表面的附着，基于所述发现而完成了本发明。用于实现上述技术问题的具体方法如下所述。(1)一种感光性树脂组合物，其含有引发剂、烯属性不饱和化合物以及含氟化合物，在15(TC下保持30分钟时的上述含氟化合物的热减少率为30质量°/。以下。(2)根据(1)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述含氟化合物含有在侧链具有氟原子的重复单元，主链结构具有丙烯基连接链。(3)根据(1)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述含氟化合物含有在侧链具有氟原子的重复单元和下述通式(1)表示的重复单元，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>通式(1)中，W表示氢原子或碳原子数为15的烷基；W表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的烷酰基；L'表示单键或2价的有机连接基团；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。(4)根据(3)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述侧链具有氟原子的重复单元具有3个以上氟原子。(5)根据(3)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述通式(1)表示的重复单元是下述通式(2)表示的重复单元，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>通式(2)中，R'表示氢原子或碳原子数为15的烷基；W表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基；古表示酯基或酰胺基；！^表示单键或2价的有机连接基团；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。(6)根据(3)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述通式(1)表示的重复单元是下述通式(3)表示的重复单元，通式(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>通式(3)中，W表示氢原子或碳原子数为15的烷基；W表示氢原子、碳原子数为15的垸基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基；^表示单键、亚芳基或2价的杂环残基；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。(7)根据(2)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述侧链具有氟原子的重复单元是具有碳原子数为47的氟代垸基的重复单元。(8)根据(3)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述通式(1)中的L1是含有酯键和酰胺键中的至少1种的2价有机连接基团。(9)根据(3)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述通式(1)中的L'是单键、亚芳基或2价的杂环残基。(10)根据(1)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述含氟化合物还含有具有酸性基的重复单元。(11)根据(1)所述的感光性树脂组合物，其特征在于，上述含氟化合物的相对于总固体成分质量的含量为0.1质量％10质量％。(12)—种感光性转印材料，其在临时支撑体上具有采用了(1)所述的感光性树脂组合t/的感光性树脂层。(13)—种像素隔离件的形成方法，其包含用(1)(11)中任一项所述的感光性树脂组合物或(12)所述的感光性转印材料来形成感光性树脂层；将上述感光性树脂层曝光；将曝光的上述感光性树脂层显影；以及将通过上述显影得到的图案图像加热处理。(14)一种像素隔离件，其用(13)所述的像素隔离件的形成方法来形成。(15)—种带像素隔离件的基板，其具备基板和在该基板上用(13)所述的像素隔离件的形成方法而形成的像素隔离件。(16)根据(15)所述的带像素隔离件基板，其中，根据公知的基板玻璃表面的润湿性试验方法测定时，上述像素隔离件的板上面的水接触角为60°以上，上述基板的形成像素隔离件侧的基板表面中，在未形成像素隔离件的部分刚滴加丙二醇一甲基醚一乙酸酯后的液滴直径为2(Vm以上。(17)—种滤色器的制造方法，其具有在用(14)所述的像素隔离件区划的基板上的凹部赋予着色液体组合物来形成着色区域的工序。(18)根据(17)所述的滤色器的制造方法，其特征在于，通过用喷墨法喷出着色液体组合物的液滴来赋予上述着色液体组合物。(19)一种滤色器，其用(18)所述的滤色器的制造方法来制作。(20)—种显示装置，其具备(19)所述的滤色器。本发明能提供能保持制成图案图像(例如像素隔离件)时该图案图像上面(与基板接触的面的相反侧的露出面)的斥水性和斥油墨性并很好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密合性并抑制了热处理时的含氟化合物成分(包含分解成分)的释放的感光性树脂组合物。本发明能提供具有如下均一的感光性树脂层的感光性转印材料，该感光性树脂层能保持转印形成的图案图像(例如像素隔离件)的上面的斥水性和斥油墨性并很好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密合性并抑制了涂布时反弹的产生。本发明能提供能在保持被赋予着色液体的区域的润湿性的同时形成具有斥油墨性且抑制了赋予的着色液体的搁浅的像素隔离件的像素隔离件形成方法、以及用该形成方法形成的像素隔离件及其制造方法。本发明能提供具有斥油墨性、抑制在像素隔离件间的凹部赋予着色液体时的着色液体的搁浅并保持像素隔离件间的被赋予着色液体的区域的润湿性的带像素隔离件基板。本发明能提供抑制了混色、空白和图像显示时的显示不均的高品质滤色器及其制造方法。本发明能提供抑制显示不均、能显示高品质图像的显示装置。图1是用于说明本发明的像素隔离件上表面、像素隔离件侧面、基板上的凹部等的滤色器的剖面图。(符号说明)1像素隔离件2着色像素(着色区域)3凹部4像素隔离件上表面5像素隔离件侧面6基板具体实施例方式以下，对本发明的感光性树脂组合物、以及使用该感光性树脂组合物的感光性转印材料、像素隔离件及其形成方法、带像素隔离件基板、滤色器及其制造方法、显示装置进行详细说明。感光性树脂组合物本发明的感光性树脂组合物至少含有弓I发剂、烯属性不饱和化合物以及含氟化合物，且在15(TC下保持30分钟时的含氟化合物的热减少率控制在30%以下来构成。本发明的感光性树脂组合物由于含有含氟化合物且该含氟化合物在15(TC下保持30分钟时的热减少率控制在30%以下，因此能抑制例如成膜后在高温(例如15(TC以上)下加热处理时的含氟成分的释放，能防止例如在基板上成膜形成图案后为使图案斥油墨化和热固化等而进行热处理时含氟成分在非成膜面的附着。由此，能保持在未设有感光性树脂组合物的区域对液体的润湿性，例如在制作滤色器时，能防止在形成了黑色矩阵等像素隔离件的基板的非像素隔离件形成区域(被像素隔离件隔离的基板上的凹部)赋予着色液体组合物(例如通过喷墨法来赋予油墨液滴)而形成着色区域(RGB等着色像素)时的液体的排斥，抑制着色区域中产生空白、抑制图像显示时的显示不均，能得到可以进行高品质的图像显示的滤色器和显示装置。1)引发剂本发明的感光性树脂组合物含有至少1种引发剂。作为使感光性树脂组合物固化的方法，通常有采用热引发剂的热引发体系和采用光引发剂的光引发体系，但在本发明中，由于使固化后的像素隔离件的表面形状和剖面形状为锥形或矩形非常重要，因而优选使用光引发体系。光聚合引发剂是通过可见光线、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等放射线的照射(也称为曝光)而能产生引发后述烯属性不饱和化合物聚合的活性种子的化合物，可以从公知的光聚合引发剂或光聚合引发剂体系中适当选择。作为光聚合引发剂或光聚合引发剂体系，可以列举例如含三卤代甲基化合物、吖啶类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物、苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、(X-二酮类化合物、多环醌类化合物、咕吨酮类化合物、重氮类化合物等。具体而言，可以列举日本专利特开2001-117230公报中记载的三卤代甲基取代的三卤代甲基噁唑衍生物或s-三嗪衍生物、美国专利第4239850号说明书中记载的三卤代甲基-s-三嗪化合物、美国专利第4212976号说明书中记载的三卤代甲基噁二唑化合物等含三卤代甲基化合物；9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1，2-双(9-吖啶基)乙烷、1，3-双(9-吖啶基)丙烷、1，4-双(9-吖啶基)丁垸、1，5-双(9-吖啶基)戊垸、1，6-双(9-吖啶基)己烷、1，7-双(9-吖啶基)庚烷、1，8-双(9-吖啶基)辛垸、1，9-双(9-吖啶基)壬烷、1，10-双(9-吖啶基)癸垸、1，11-双(9-吖啶基)十一烷、1，12-双(9-吖啶基)十二垸等双(9-吖啶基)烷等吖啶类化合物；6-(对甲氧基苯基)-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、6-[对(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、6-[4，-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)-3，-苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪等三嗪类化合物；以及9，10-二甲基苯并吩嗪、米氏酮、二苯甲酮/米氏酮、六芳基联咪唑/巯基苯并咪唑、苄基二甲基缩酮、噻吨酮/胺、2，2'-双(2，4-二氯苯基)-4，4，，5，5'-四苯基-l，2'-联咪唑等。其中，从灵敏度的观点出发，优选选自含三卤代甲基化合物、吖啶类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物中的至少1种，特别优选含有选自含三卤代甲基化合物和吖啶类化合物中的至少1种。含三卤代甲基化合物、吖啶类化合物因具有通用性且廉价，能得到有效利用。基于上述同样的理由，特别优选的是，作为上述含三卤代甲基化合物的2-三氯甲基-5-(对苯乙烯基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑，作为吖啶类化合物的9-苯基吖啶，以及6-[对(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、6-[4，-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)-3，-苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对丁氧基苯乙烯基)-5-三氯甲基-1，3，4-噁二唑等含三卤代甲基化合物，作为上述三嗪类化合物的6-[对(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪，作为上述吖啶类化合物的9-苯基吖啶，作为上述苯乙酮类化合物的米氏酮，作为上述联咪唑类化合物的2，2，-双(2，4-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-l，2，-联咪唑。上述光聚合引发剂可以单独使用，也可以2种以上并用。引发剂(特别是光聚合引发剂)在感光性树脂组合物中的总量优选为树脂组合物的总固体成分(质量)的0.120质量％，特别优选为0.510质量％。若上述总量在上述范围内，则能高效地进行树脂组合物的光固化，能得到显影时不会发生缺损和表面粗糙的图像图案。通过使上述总量为0.1质量％以上，能提高组合物的光固化效率，縮短曝光时间，另外使其为20质量％以下，能在显影时抑制形成的图像图案的缺损、图案表面的粗糙。另外，在本发明中，感光性树脂组合物的总固体成分(质量)是指除去树脂组合物中的溶剂后的总成分。上述光聚合引发剂可以并用供氢体来构成。作为该供氢体，从能使灵敏度更佳的观点出发，优选下述硫醇类化合物、胺类化合物等。这里的"供氢体"是指能向通过曝光由上述光聚合引发剂产生的自由基提供氢原子的化合物。上述硫醇类化合物是以苯环或杂环为母环、具有1个以上、优选13个、更优选12个与该母环直接结合的巯基的化合物(以下称为"硫醇类供氢体")。上述胺类化合物是以苯环或杂环为母环、具有1个以上、优选13个、更优选12个与该母环直接结合的氨基的化合物(以下称为"胺类供氢体")。另外，这些供氢体可以同时具有巯基和氨基。作为上述硫醇类供氢体的具体例子，可以列举2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2，5-二巯基-l，3，4-噻二唑、2-巯基-2，5-二甲基氨基吡啶等。其中，优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑，特别优选2-巯基苯并噻唑。作为上述胺类供氢体的具体例子，可以列举4，4'-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4，_双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲腈等。其中，优选4，4'-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选4，4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮。上述供氢体可以单独或2种以上混合使用，从形成的图像在显影时不易从永久支撑体上脱落且强度和灵敏度提高的观点出发，优选将1种以上的硫醇类供氢体与1种以上胺类供氢体组合使用。作为上述硫醇类供氢体与胺类供氢体的组合的具体例子，可以列举2-巯基苯并噻唑/4，4'-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4，4'-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4，-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。更优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选的组合是2-巯基苯并噁唑/4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮。上述硫醇类供氢体与胺类供氢体组合时的硫醇类供氢体(M)与胺类供氢体(A)的质量比(M:A)通常优选为1:11:4，更优选为1:l1:3。作为上述供氢体在感光性树脂组合物中的总量，优选为感光性树脂组合物的总固体成分(质量)的0.120质量％，特别优选0.510质量％。2)烯属性不饱和化合物本发明的感光性树脂组合物含有至少1种烯属性不饱和化合物。作为烯属性不饱和化合物，可以单独使用下述化合物或与其他单体组合使用。具体而言，可以列举(甲基)丙烯酸叔丁酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基-丙垸二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、1，4-二异丙烯基苯、1，4-二羟基苯二(甲基)丙烯酸酯、1，10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、富马酸二烯丙酯、偏苯三酸三烯丙酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酰胺、苯二亚甲基双(甲基)丙烯酰胺等。另外，还可以使用(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯等具有羟基的化合物和1，6-己基二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯、二甲苯二异氰酸酯等二异氰酸酯的反应物。其中，特别优选季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯。作为烯属性不饱和化合物在感光性树脂组合物中的含量，优选为树脂组合物的总固体成分(质量)的580质量％，特别优选为1070质量％。若烯属性不饱和化合物的含量在上述范围内，则能确保组合物在曝光部对碱显影液的耐性，能抑制制成树脂组合物时的粘性的增加，确保操作性。3)含氟化合物本发明的感光性树脂组合物含有至少1种含有氟原子且热减少率为30质量％以下的化合物作为含氟化合物。该含氟化合物是在热处理(例如150'C以上)时释放的含氟成分少并能赋予斥水斥油性、表面活性等氟官能团功能的化合物。具体而言，当在曝光、显影后进行热处理而在基板上形成图案(例如黑色矩阵等像素隔离件)时，赋予图案(例如黑色矩阵等像素隔离件)表面以斥水、斥油性(包含斥油墨性)的同时，反而抑制氟成分在基板的非图案(例如黑色矩阵等像素隔离件)形成面的附着，能确保基板表面的润湿性(未斥水斥油化)。在本发明中，润湿性是指在平面上滴加液体时的润湿延展程度，例如在形成了黑色矩阵等像素隔离件的基板的被像素隔离件包围的凹部(即成为着色像素的区域的基板表面)赋予作为着色液体组合物的油墨组合物的液滴时油墨滴的润湿延展程度。更具体而言，在像素隔离件之间滴加l滴油墨组合物，该液滴所成圆的直径为润湿延展程度的指标。热减少率是指将含氟化合物在15(TC下保持30分钟时相对于加热前的加热后的质量减少率。在本发明中，该热减少率为30质量％以下，优选为25质量％以下，更优选为20质量％以下。若热减少率在上述范围内，则能确保感光性树脂组合物的热处理后的残留量，能赋予热处理后的组合物表面以良好的斥水、斥油性，例如能确保在基板上通过使感光性树脂组合物曝光、显影、热固化而形成树脂固化物时的基板露出面(例如，基板上形成了黑色矩阵时被黑色矩阵所包围的基板上的凹部)的润湿性。由此，能防止在基板露出面赋予液体(包含油墨等着色液体组合物)时的反弹。作为含有氟原子、热减少率为30质量％以下的含氟化合物，可以从含有具有氟原子的重复单元的化合物组中选择，能赋予斥水，斥油墨性。其中，从即使是热处理(例如150。C以上的高温下)也不易释放到组成体系外的观点出发，最好是选自含有侧链具有氟原子的重复单元、主链结构具有丙烯基连接链的化合物组中的化合物。本发明的具有氟原子的重复单元优选具有含氟原子侧链的重复单元。具有氟原子的重复单元优选具有3个以上氟原子。上述含氟原子的侧链优选含有总碳原子数为28的氟代垸基，更优选含有总碳原子数为47的氟代烷基。氟代垸基的总碳原子数在上述范围内时，能保持作为氟官能团的性能，能减少对环境的负荷。上述氟代烷基可以是直链也可以是支链。本发明的具有氟原子的重复单元优选下述通式(A)表示的重复单元。上述通式(A)中，RU表示氢原子或碳原子数为15的烷基。在本发明中，Rn优选为氢原子或甲基，更优选为氢原子。上述通式(A)中，L"表示单键或2价的有机连接基团。在本发明中，L"优选为2价的有机连接基团。上述有机连接基团优选为选自亚垸基、亚芳基、酯键、酰胺键以及2价的杂环残基的单独的有机连接基团或由它们组合而成的有机连接基团。作为上述亚烷基，优选总碳原子数为110的亚垸基，更优选总碳原子数为16的亚垸基。具体而言，可以列举亚甲基、亚乙基、亚丁基、亚庚基、亚己基、亚二十烷基等。作为上述亚芳基，优选总碳原子数为615的亚芳基，更优选总碳原子数为610的亚芳基。具体而言，可以列举亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基、二垸基亚苯基，它们可以是邻位取代体、对位取代体和/或间位取代体。作为上述酯键，优选碳酸酯键、磺酸酯键、磷酸酯键等，更优选碳酸酯键。作为上述酰胺键，优选碳酸酰胺键、磺酸酰胺键、磷酸酰胺键等，更优选碳酸酰胺键。作为上述2价的杂环残基，优选例如含有氮原子或氧原子作为环的构成原子的5元环或6元环的2价杂环残基，进一步优选来自吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环或噻二唑环等的2价杂环残基，更优选来自吡啶环或噻二唑环的2价杂环残基。上述通式(A)中，Rf表示具有3个以上氟原子的氟代烷基。本发明的Rf优选总碳原子数为28的氟代烷基，更优选总碳原子数为47的氟代垸基。上述Rf可以是直链也可以是支链。Rf更优选下述通式(A-l)(A-3)中任一通式表示的氟代烷基。通式(A-l)通式(A-2)通式(A-3)式中，m表示48的整数，优选47的整数。以下，作为通式(A)表示的重复单元的具体例子，可以列举重复单元(a-l)(a-34)，但本发明不限于这些。另外，下述具体例子中，R表示氢原子或碳原子数为15的烷基。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>作为本发明中通式(A)表示的具有3个以上氟原子的重复单元，优选R"为氢原子或甲基，L"为选自碳酸酯键、醚键、亚芳基以及亚垸基中的单独或多种组合而成的2价有机连接基团，Rf为碳原子数为47的全氟代垸基(C4F9C7F15)，更优选R"为氢原子，L"为碳酸酯键与亚烷基组合而成的2价有机连接基团，Rf为碳原子数为46的全氟代垸基(C4F9C6F13)。作为上述侧链具有氟原子的重复单元，最好是具有总碳原子数为212、进一步优选总碳原子数为28、更优选总碳原子数为47的氟代垸基的重复单元。氟代烷基的总碳原子数在上述范围内时，能确保作为氟官能团的性能，并能减少对环境的负荷。上述氟代垸基可以是直链也可以是支链。氟代烷基可以是直链也可以是支链。作为上述侧链具有氟原子的重复单元，更优选下述结构式(A)。R311结构式(A)上述结构式(A)中，R"表示氢原子或碳原子数为15的垸基。上述结构式(A)中，a表示在含氟化合物的总质量中所占的结构式(A)的质量比率(质量％)。上述结构式(A)中，Xi表示醚基、酯基、酰胺基、亚芳基或2价的杂环残基。作为X'表示的亚芳基，优选总碳原子数为620的亚芳基，例如可以列举亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基，它们可以是邻位取代体、对位取代体和/或间位取代体。其中，更优选碳原子数为612的亚芳基，特别优选亚苯基、亚联苯基。作为X1表示的杂环残基，优选例如含有氮原子或氧原子作为环的构成原子的5元环或6元环的2价杂环残基。作为具体例子，优选来自吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环或噻二唑环等的2价杂环残基，更优选来自吡啶环或噻二唑环等的2价杂环残基。23其中，作为x1，优选下述结构的连接基团或具有下述结构中的至少l种连接基团的连接基团。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>这里，RX表^^氢原子、总碳原子数为112的烷基或总碳原子数为620的芳基。作为RX表示的总碳原子数为112的烷基，可以列举例如甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、十二烷基等未取代垸基以及具有醚基、硫醚基、酯基、酰胺基、氨基、尿烷基、羟基等取代基的取代烷基。其中，优选总碳原子数为18的烷基，更优选甲基、丁基、辛基。作为RX表示的总碳原子数为620的芳基，可以列举例如苯基、萘基、甲基苯基、甲氧基苯基、壬基苯基。其中，优选总碳原子数为615的芳基，更优选苯基、壬基苯基。作为RX，从斥水*斥油性能的观点出发，优选甲基、丁基、辛基、苯基、壬基苯基。上述结构式(A)中，作为L1，优选下述结构的连接基团或具有下述结构中的至少1种连接基团的连接基团。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>RY表示氢原子、甲基'n表示220的整数，优选表示412的整数。Y优选为单键、下述结构的连接基团或具有下述结构的至少1种连接基团的连接基团。,0—0n表示220的整数，优选表示412的整数。W表示氢原子或碳原子数为l5的垸基，优选氢原子。上述结构式(A)中，Rf表示含氟基团。本发明的Rf优选总碳原子数为28的氟代垸基，更优选总碳原子数为47的氟代烷基。上述Rf可以是直链，也可以是支链。Rf优选为下述结构的含氟基团、或具有下述结构的基团的含氟基团。25m^120的整数，优选412、更优选47的整数。上述结构式(A)中，优选W为氢原子、^为"上述结构的连接基团或具有上述结构的至少1种连接基团的连接基团(RX为甲基、丁基、辛基、苯基或壬基苯基)"、W为"上述结构的连接基团或具有上述结构的至少1种连接基团的连接基团(W为氢原子)"、Rf为"上述结构的含氟基团或具有上述结构的基团的含氟基团"。上述"含有侧链具有氟原子的重复单元、主链结构具有丙烯基连接链的化合物"中，优选含有侧链具有氟原子的重复单元和下述通式(1)表示的重复单元的含氟化合物。另外，关于侧链具有氟原子的重复单元，如上所述，优选方式也相同。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>上述通式(1)中，R'表示氢原子或碳原子数为15的垸基，W表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基。作为上述R'表示的碳原子数为15的烷基，可以列举例如甲基、乙基、丙基等。W优选表示氢原子或碳原子数为15的烷基，作为其优选的例子，可以列举氢原子、甲基、苯基、丙基和乙酰基。R1、W优选分别独立地表示氢原子或甲基。L表示单键或2价的有机连接链。作为U表示的2价有机连接链，优选选自亚垸基、亚芳基、酯键、醚键、酰胺键以及2价杂环残基中的单独的有机连接基团或由它们组合而成的有机连接基团。在本发明中，从重复单元的聚合性、聚合物的溶解性及成本的观点出发，L1优选含有酯键和/或酰胺键的2价有机连接基团。从重复单元的聚合性、聚合物的耐热性及成本的观点出发，L'优选单键、亚芳基或2价的杂环残基。作为I^表示的2价有机连接基团中的亚烷基，优选总碳原子数为lIO的亚垸基，更优选总碳原子数为16的亚垸基。具体而言，可以列举亚甲基、亚乙基、亚丁基、亚庚基、亚己基、亚十二烷基。作为L1表示的2价有机连接基团中的亚芳基，优选总碳原子数为615的亚芳基，更优选总碳原子数为610的亚芳基。具体而言，可以列举亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基、二烷基亚苯基等。它们可以是邻位取代体、对位取代体和/或间位取代体。作为L1表示的2价有机连接基团中的酯基，优选碳酸酯基、磺酸酯基、磷酸酯基等，更优选碳酸酯基。作为L'表示的有机连接基团中的酰胺基，优选碳酸酰胺基、磺酸酰胺基、磷酸酰胺基等，更优选碳酸酰胺基。作为U表示的有机连接基团中的醚基，优选氧醚基、硫醚基等，更优选氧醚基。作为L1表示的2价有机连接基团中的2价杂环残基，优选例如含有氮原子或氧原子作为环的构成原子的5元环或6元环的2价杂环残基，进一步优选来自吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环或噻二唑环等的2价杂环残基，更优选来自吡啶环或噻二唑环的2价杂环残基。上述通式(1)中，X表示氯原子、溴原子或碘原子。其中，从构成滤色器或液晶显示元件时的液晶吸持电压的稳定性、脱色的抑制、获得性的观点出发，优选氯原子或溴原子，更优选氯原子。Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。作为Y表示的亚芳基，优选总碳原子数为615的亚芳基，更优选总碳原子数为610的亚芳基。具体而言，可以列举亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基、二烷基亚苯基等，它们可以是邻位取代体、对位取代体和27/或间位取代体。作为Y表示的2价杂环残基，优选例如含有氮原子或氧原子作为环的构成原子的5元环或6元环的2价杂环残基，进一步优选来自吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环或噻二唑环等的2价杂环残基，更优选来自吡啶环或噻二唑环的2价杂环残基。其中，Y优选为亚苯基、亚萘基或羰基。作为能形成上述通式(1)表示的重复单元的化合物的市售品，可以列举清美化学株式会社制的CMS-P系列(商品名)等。以下，作为通式(1)表示的重复单元的具体例子，示出重复单元(h-l)(h-37)，但本发明不限于这些。另外，下述具体例子中，R表示氢原子或碳原子数为15的烷基。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage32</formula>作为本发明的上述通式(O表示的重复单元，优选R'为氢原子或甲基，W为氢原子、甲基或苯基，X为氯原子或溴原子，Y为碳原子数为610的亚芳基或羰基，L1为单键、亚芳基、2价的杂环残基或含有酯键和/或酰胺键的2价连接基团。更优选R'为氢原子，W为氢原子，X为氯原子，Y为羰基，lJ为酯键。其中，更优选含有侧链具有氟原子的重复单元和下述通式(2)表示的重复单元的含氟化合物。另外，关于侧链具有氟原子的重复单元，如上所述，优选的方式也相同。通式(2)Z'——1/—Y—CH—XR2在上述通式(2)中，R1表示氢原子或碳原子数为15的垸基，R2表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的烷酰基，X表示氯原子、溴原子或碘原子，Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。R1、R2、X和Y与上述通式(1)中的R1、R2、X和Y同义，优选的方式也相同。上述通式(2)中，21表示酯基或酰胺基。作为酯基，优选碳酸酯基、磺酸酯基、磷酸酯基等，更优选碳酸酯基。作为酰胺基，优选碳酸酰胺基、磺酸酰胺基、磷酸酰胺基等，更优选碳酸酰胺基。作为Z1，最优选碳酸酯基、碳酸酰胺基。17表示单键或2价的有机连接链。作为！7表示的2价有机连接链，优选选自亚垸基、亚芳基以及2价杂环残基中的单独的有机连接基团或由它们组合而成的有机连接基团。这里的亚垸基、亚芳基和2价杂环残基与上述通式(1)中的L1中的亚烷基、亚芳基和2价杂环残基同义，优选的方式也相同。作为L2，最优选亚甲基、亚乙基。R1此外，更优选含有侧链具有氟原子的重复单元和下述通式(3)表示的重复单元的含氟化合物。另外，关于侧链具有氟原子的重复单元，如上所述，优选的方式也相同。通式(3)中，Ri表示氢原子或碳原子数为15的垸基，W表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基，X表示氯原子、溴原子或碘原子，Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。R1、R2、X和Y与上述通式(1)中的R1、R2、X和Y同义，优选的方式也相同。通式(3)中，ZZ表示单键、亚芳基或杂环残基。作为Zz表示的亚芳基，优选总碳原子数为615的亚芳基，更优选总碳原子数为610的亚芳基。具体而言，可以列举亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基、二烷基亚苯基等，它们可以是邻位取代体、对位取代体和/或间位取代体。作为ZZ表示的2价杂环残基，优选例如含有氮原子或氧原子作为环的构成原子的5元环或6元环的2价杂环残基，进一步优选来自吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环或噻二唑环等的2价杂环残基，更优选来自吡啶环或噻二唑环的2价杂环残基。作为Z2，最优选单键、亚苯基、吡啶环残基。其中，作为本发明的含氟化合物，从斥水'斥油性能的观点出发，特别优选含有侧链具有氟原子的重复单元和上述通式(3)表示的重复单元的含氟化合物，且在上述通式(3)中，R'为氢原子，W为氢原子，X为氯原子，Y为单键，f为氧基羰基。本发明的含氟化合物可以根据需要在不损害耐热性的范围内含有这里所列举的结构以外的重复单元。一般而言，具有分子量小的重复单元的含氟化合物的耐热性趋向下降，多数情况下不理想，具有分子量大的重复单元的含氟化合物不会损害耐热性，因而有用。作为分子量大的重复单元，可以列举例如侧链具有聚醚结构的重复单元等。作为侧链具有聚醚结构的重复单元，可以列举聚氧乙烯、聚氧丙烯、聚四氢呋喃等，也可以是它们多种组合。更优选列举以下的结构式(B)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula>上述结构式(B)中，R2表示氢原子、碳原子数为15的垸基。优选氢原子、甲基、羟甲基。上述结构式(B)中，n优选为640，更优选为930，特别优选为1224。上述结构式(B)中，L2优选单键、2价连接基团。作为2价连接基团，更优选以下的结构式。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula>作为L2，优选单键。上述结构式(B)中，M表示聚氧乙烯的重复单元、聚氧丙烯的重复单元、聚四氢呋喃的重复单元。此外，作为M，更优选具有以下结构的基团。"Wh。计Rs表示氢原子、碳原子数为15的烷基。l表示220的整数，更优选表示412的整数。作为M，优选氧乙烯链，Rs优选氢原子。上述结构式(B)中，R4表示氢原子、碳原子数为120的烷基、615的芳基。R4表示氢原子、碳原子数为120的垸基、615的芳基，烷基、芳基可以具有取代基。作为R4的烷基，可以列举甲基、乙基、丙基、己基、辛基、十八烷基，更优选甲基、辛基。作为R4的芳基，可以列举苯基、甲基苯基、壬基苯基、甲氧基苯基等，更优选苯基、壬基苯基。作为R4，优选烷基、芳基。它们被称为封端型的聚醚结构，最优选该结构。作为R4，最优选甲基、苯基。作为上述具有聚醚结构的乙烯基化合物的市售品，可以列举日本油脂株式会社制7、'^:/7-PME200、PME550、PMEIOOO、50POEP掘P、ALE800、PE1300、ANE1300、PSE-1300、PMEP-1200B041MA、PE350、PP800、新中村化学株式会社制NK工7亍/PAM130G、M230G、0C-18E、A-SAL-9E、A-CMP-5E、共荣社株式会社制，^卜工7x少041MA等(以上均为商品名)。具有酸性基的重复单元作为本发明的含氟化合物，优选除了具有上述侧链具有氟原子的重复单元和上述通式(1)表示的重复单元外，还含有具有酸性基的重复单元。上述具有酸性基的重复单元，优选侧链具有酸性基。作为上述酸性基，可以列举羧基、磺酸基、亚磺酸基、膦酸基、亚膦酸基、磷酸基。本发明的酸性基优选羧基。作为能形成侧链具有羧基的重复单元的单体，没有特殊限制，可以从公知的单体中适当选择。作为公知的单体，可以列举例如(甲基)丙烯酸酸、乙烯基苯甲酸、马来酸、马来酸一烷基酯、富马酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、a-氰基肉桂酸、丙烯酸二聚物、具有羟基的单体和环状酸酐的加成产物、W-羧基-聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯等。它们可以使用适当制造的单体，也可以使用市售品。作为在上述具有羟基的单体和环状酸酐的加成产物中使用的具有羟基的单体，可以列举例如(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯等。作为上述环状酸酐，可以列举例如马来酸酐、富马酸酐、环己二羧酸酐等。作为上述市售品，可以列举东亚合成化学工业株式会社制7口二、;/夕7M-5300、7口二、乂夕7M-5400、7口二:y夕7M-5500、7口二、乂夕7M-5600、新中村化学工作株式会社制NK工7X》CB-1、NK工7亍，CBX-1、共荣社油脂化学工业株式会社制HOA-MP、HOA-MS、大阪有机化学工业株式会社制匕'7〕一卜#2100等(以上均为商品名)。其中，从显影性优异、成本低的观点出发，优选(甲基)丙烯酸等。本发明的含氟化合物除了含有上述具有氟原子的重复单元和上述通式(1)表示的重复单元外，还可以含有上述具有酸性基的重复单元以外的其他重复单元。作为能形成其他重复单元的单体，只要能与上述具有氟原子的重复单元及上述通式(1)表示的重复单元形成共聚物即可，可以列举例如(甲基)丙烯酸酯类、苯乙烯类、乙烯基烷酸酯类等。作为上述能共聚的(甲基)丙烯酸酯类，优选可以具有取代基的碳原子数为150的甲基丙烯酸烷基酯、可以具有取代基的碳原子数为630的甲基丙烯酸芳基酯、碳原子数为250的聚氧化烯(甲基)丙烯酸酯。更优选碳原子数为140的(甲基)丙烯酸垸基酯、碳原子数为1050的聚烯，例如优选(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸十二垸基酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、己内酯改性(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙烯(甲基)丙烯酸酯、聚氧丙烯(甲基)丙烯酸酯等。作为能共聚的苯乙烯类，优选碳原子数为620的苯基被乙烯基取代得到的单体、碳原子数为1020的萘基被乙烯基取代得到的单体、碳原子数为1420的蒽基被乙烯基取代得到的单体，还可以具有乙烯基以外的取代基。此外，更优选碳原子数为610的苯基被乙烯基取代得到的单体、碳原子数为1015的萘基被乙烯基取代得到的单体、碳原子数为1418的蒽基被乙烯基取代得到的单体，例如优选苯乙烯、丁基苯乙烯、甲氧基苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基萘、乙烯基蒽。作为上述能共聚的乙烯基垸酸酯类，优选碳原子数为420的烷基乙烯基酯、碳原子数为920的芳基乙烯基酯。更优选碳原子数为410的垸基乙烯基酯、碳原子数为915的芳基乙烯基酯，例如优选乙酸乙烯基酯、丁酸乙烯基酯、十二烷酸乙烯基酯、苯甲酸乙烯基酯等。关于含氟化合物在感光性树脂组合物中的含量，相对于树脂组合物的总固体成分，优选为0.01质量％30质量％，更优选为0.05质量％20质量％，最优选为0.1质量％10质量％。若含氟化合物的含量在上述范围内，则能得到更好的斥水，斥油墨性，抑制在不存在组合物的区域的附着，提高在基板上成膜时的基板密合性。例如，当含有黑色颜料等着色剂而形成黑色矩阵等像素隔离件时，能抑制在用喷墨法赋予液滴而形成着色区域时油墨在像素隔离件上的搁浅，能防止混色，还能制作基板密合性和色浓度高的像素隔离件。本发明的含氟化合物优选侧链具有氟原子的重复单元为上述重复单元(a-l)、(a画2)、(a-6)、(a-9)、(a隱10)或(a-15)，上述通式(1)表示的重复单元为上述重复单元(h-l)、(h-5)、(h-10)、(h-ll)、(h-15)或(h-21)，具有酸性基的重复单元为丙烯酸。本发明的含氟化合物优选侧链具有氟原子的重复单元的含量为该含氟化合物的总重量的3070质量％，上述通式(1)表示的重复单元的含量为该含氟化合物的总重量的130质量％，具有酸性基的重复单元的含量为该含氟化合物的总重量的030质量％。以下所示为本发明的含氟化合物的具体例子。但是，本发明不限于这些。另外，各成分的组成比可以在上述优选的组成比的范围内选择。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage41</formula>本发明的感光性树脂组合物除上述成分外，还可以优选使用至少1种粘合剂来构成。作为粘合剂，优选侧链具有碳酸基或碳酸盐基等极性基的聚合物。作为其例子，可以列举日本专利特开昭59-44615号公报、日本专利特公昭54-34327号公报、日本专利特公昭58-12577号公报、日本专利特公昭54-25957号公报、日本专利特开昭59-53836号公报以及日本专利特开昭59-71048号公报中记载的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分马来酸共聚物等。另外，还可以列举侧链具有碳酸基的纤维素衍生物。此外，还可以优选使用具有羟基的聚合物与环状酸酐的加成产物。作为特别优选的例子，可以列举美国专利第4139391号说明书中记载的(甲基)丙烯酸苄酯与(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯与(甲基)丙烯酸及其他单体的多元共聚物。这些具有极性基的粘合剂聚合物可以单独使用，或者在与通常的成膜性聚合物并用的组合物的状态下使用。粘合剂在树脂组合物中的含量，相对于树脂组合物的总固体成分，一般为2050质量％，优选为2545质量％。5)着色材料本发明的感光性树脂组合物可以使用至少1种着色材料来构成。作为着色材料，可以使用公知的着色剂(染料、颜料等)，具体而言，可以优选使用日本专利特开2005-17716号公报中记载的颜料和染料以及、日本专利特开2004-361447号公报中记载的颜料、日本专利特开2005-17521号公报中记载的着色剂等。在本发明的感光性树脂组合物中可以优选使用有机颜料、无机颜料、染料等。特别是将本发明的感光性树脂组合物用于形成遮光性像素隔离件时，可以使用碳材料(炭黑等)、氧化钛、四氧化铁等金属氧化物粉、金属硫化物粉、金属粉等遮光材料、以及红色、蓝色、绿色等颜料的混合物等。其中，优选炭黑。当使用颜料时，优选在感光性树脂组合物中均一分散。作为着色材料在感光性树脂组合物中的含量，从缩短显影时间的观点出发，相对于树脂组合物的总固体成分，优选为3070质量％，进一步优选为4060质量％，更优选为5055质量％。颜料最好作为分散液使用。该分散液可以通过将由颜料和颜料分散剂事先混合得到的组合物添加到有机溶剂(或漆料)中分散来制备。上述漆料是指当涂料为液体状态时使颜料分散的介质部分，包含液态的与颜料结合而使涂膜固化的部分(粘合剂)和将其溶解稀释的成分(有机溶剂)。作为在使颜料分散时使用的分散机，没有特殊限制，可以列举例如在《颜料词典〉>(朝仓邦造著、第一版、朝仓书店、2000年、438页)中记载的捏合机、辊磨机、7卜，^夕、'一、超细磨、溶解器、匀质机、砂磨机等公知的分散机。此外，也可以通过同文献的310页中所述的机械磨碎，利用摩擦力来进行微粉碎。关于着色材料(颜料)的粒径，从分散稳定性的观点出发，数均粒径优选为0.0010.1pn，更优选为0.010.08pm。另夕卜，"粒径"是指将由粒子的电子显微镜照片图像求得的粒子面积用与其同面积的圆表示时的直径，"数均粒径"是指求100个粒子的粒径后平均得到的平均值。6)其他在感光性树脂组合物中，除上述l)5)的成分外，还可以添加下述溶剂、表面活性剂、热聚合抑制剂、紫外线吸收剂等以及日本专利特开平11-133600号公报中记载的"胶粘助剂"及其他添加剂等其他成分。溶剂在本发明的感光性树脂组合物中，除上述成分外，还可以使用溶剂。作为溶剂的例子，可以列举甲乙酮、丙二醇一甲基醚、丙二醇一甲基醚乙酸酯、环己酮、环己醇、甲基异丁基酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯、己内酯等。表面活性剂关于本发明的感光性树脂组合物，从控制为均一的膜厚、有效地防止涂布不均的观点出发，在该树脂组合物中优选含有合适的表面活性剂。作为表面活性剂，可以优选列举日本专利特开2003-337424号公报、日本专利特开平11-133600号公报中公开的表面活性剂。热聚合抑制剂本发明的感光性树脂组合物优选含有热聚合抑制剂。作为热聚合抑制剂的例子，可以列举氢醌、氢醌一甲基醚、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、邻苯三酚、叔丁基儿茶酚、苯醌、4，4，-硫代双(3_甲基_6_叔丁基苯酚)、2，2，-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2-巯基苯并咪唑、吩噻嗪等。紫外线吸收剂本发明的感光性树脂组合物可以根据需要含有紫外线吸收剂。作为紫外线吸收剂，可以列举日本专利特开平5-72724号公报中记载的化合物以及水杨酸酯类、二苯甲酮类、苯并三唑类、氰基丙烯酸酯类、镍螯合物类、受阻胺类等。具体而言，可以列举水杨酸苯酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2，4-二叔丁基苯基-3'，5'-二叔-4'-羟基苯甲酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2，4-二羟基二苯甲酮、2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、2-羟基-4-正辛氧基二苯甲酮、2-(2，-羟基-5，-甲基苯基)苯并三唑、2-(2，-羟基-3，-叔丁基-5，-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、乙基-2-氰基-3，3-二苯基丙烯酸酯、2，2，-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、二丁基二硫代氨基甲酸镍、双(2，2，6，6-四甲基-4-卩比啶)癸二酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、水杨酸苯酯、4-羟基-2，2，6，6-四甲基哌啶縮合物、琥珀酸双(2，2，6，6-四甲基-4-哌啶)酉旨、2-[2-羟基-3，5-双(ot，a-二甲基苄基)苯基]-211-苯并三唑、7-{[4-氯-6-(二乙基氨基)-5-三嗪-2-基]氨基}-3-苯基香豆素等。感光性转印材料本发明的感光性转印材料通过在临时支撑体上设置至少用上述本发明的感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层来构成。使用感光性转印材料，能以低成本容易地形成像素隔离件。另外，还可以根据需要进一步在临时支撑体与感光性树脂层之间设置能屏蔽氧的保护层(以下也称为"氧阻断层")和热塑性树脂层等其他的层。当使用氧屏蔽层时，感光性树脂层被氧屏蔽层保护而与大气隔绝，因而自动形成缺氧氛围气。因此，具有如下优点无需在惰性气体下或减压下进行曝光，直接利用现有的工序即可实现高灵敏度、高强度。如后所述，也可以将临时支撑体作为"能屏蔽氧的保护层"来使用，此时，无需设置氧屏蔽层，有利于工序数的削减。关于氧屏蔽层的详细情况，见后述。对于感光性转印材料，可以在临时支撑体与感光性树脂层之间或当具有氧屏蔽层时在临时支撑体与氧屏蔽层之间设置热塑性树脂层。热塑性树脂层是具有碱可溶性、至少含有实质软化点为8(TC以下的树脂成分、具备缓冲性的层。通过设置这样的热塑性树脂层，能得到与永久支撑体的良好密合性。作为软化点为8(TC以下的碱可溶性热塑性树脂，可以列举乙烯与丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯与乙酸乙烯基酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物等。在热塑性树脂层中，可以适当选择使用上述热塑性树脂中的至少1种，还可以使用《塑料性能手册》(日本塑料工业连盟、全日本塑料成形工业联合会编著、工业调查会发行、1968年10月25日发行)的软化点为约80°C以下的有机高分子中在碱水溶液中可溶的物质。对于软化点在8(TC以上的有机高分子物质，通过在该有机高分子物质中添加与该高分子物质具有相溶性的各种增塑剂，能使实质的软化点下降至80'C以下来使用。在这些有机高分子物质中，为了调节与临时支撑体的胶粘力，可以在实质软化点不超过8(TC的范围内添加各种聚合物及过冷却物质、密合改善剂或表面活性剂、脱模剂等。作为优选的增塑剂的具体例子，可以列举聚丙二醇、聚乙二醇、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酯、磷酸甲苯二苯酯、联苯基二苯基磷酸酯。作为构成感光性转印材料的临时支撑体，可以从由化学及热稳定的可挠性物质构成的支撑体中适当选择。具体而言，优选于7口^(注册商标)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯等薄片或它们的层叠体。作为上述临时支撑体的厚度，以5300pm为宜，优选20150|am。若其厚度在上述范围内，则能将临时支撑体在不破裂的前提下轻易剥离，即使介以临时支撑体也能进行解像度良好的曝光。上述具体例子中，特别优选双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。在感光性树脂层上优选设置薄的保护层以保护其免受贮藏时的污染和损伤。保护层可以由与临时支撑体相同或近似的材料构成，必须易于从感光性树脂层剥离。作为保护层材料，例如以有机硅纸、聚烯或聚四氟乙烯片。另外，保护层的厚度一般为440,，优选530,，特别优选1025)Lim。基板在本发明中，作为基板(永久支撑体)，可以使用玻璃、陶瓷、合成树脂膜等。特别优选具有透明性且尺寸稳定性良好的玻璃或合成树脂膜。像素隔离件及其形成方法
技术领域：
：本发明的像素隔离件的形成方法至少包含(在基板的至少一个面上)用上述本发明的感光性树脂组合物或本发明的感光性转印材料来形成感光性树脂层；将形成的感光性树脂层曝光；将曝光的感光性树脂层显影；以及将通过显影得到的、由感光性树脂层形成的图案图像加热处理。本发明的像素隔离件用本发明的像素隔离件形成方法来形成，将2个以上的像素组(例如色相不同的多色像素组)的各像素间隔离，一般多为黑色(深色)，但不限于黑色。作为深色的着色剂，优选有机物(染料、颜料等各种色素、碳材料)、无机物。本发明的带像素隔离件基板通过在基板的至少一个面上用本发明的像素隔离件形成方法形成像素隔离件，包含基板和在该基板上用本发明的像素隔离件形成方法形成的像素隔离件。感光性树脂层形成工序感光性树脂层形成工序，例如通过在基板的至少一个面上用上述本发明的树脂组合物中具有感光性的感光性树脂组合物、或上述本发明的感光性转印材料来形成感光性树脂层。作为用感光性树脂组合物形成感光性树脂层的方法，没有特殊限制，例如可以通过用狭缝涂布等公知的涂布方法在基板上涂布感光性树脂组合物来形成。根据需要，也可以在涂布后进行预烘烤。作为用感光性转印材料形成感光性树脂层的方法，没有特殊限制，例如可以如下来形成。艮P，准备在临时支撑体上从该临时支撑体侧开始依次设有氧屏蔽层、46感光性树脂层、保护该感光性树脂层的保护层的感光性转印材料。首先，将保护层剥离除去后，将露出的感光性树脂层的表面在作为永久支撑体的基板上贴合，通过层压机等加热、加压而层叠(层叠体)。层压机可以从目前公知的层压机、真空层压机等中适当选择使用，为了进一步提高生产率，可以使用自动切割层压机。然后，将临时支撑体与氧屏蔽层之间剥离，从上述层叠体除去临时支撑体，即可在基板上与氧屏蔽层一起转印形成感光性树脂层。曝光工序和显影工序在曝光工序中，将上述层叠体的临时支撑体除去后的除去面(氧屏蔽层面)与所需的光掩模(例如石英曝光掩模)相对配置，在该层叠体和光掩模垂直竖立的状态下，适当设定光掩模面与感光性树脂层之间的距离(例如200i^m)，进行曝光。曝光例如可以用具有超高压汞灯的接近式曝光机(例如日立高科技电子工程(HitachiHigh-TechElectronicsEngineering)株式会社制)等来进行，曝光量适当(例如300mJ/cm2)选择即可。作为曝光中使用的光源，可以列举中压超高压汞灯、氙气灯、金卤灯等。从提高光灵敏度即固化度的观点出发，优选将感光性树脂层在缺氧氛围气下曝光后显影来形成像素隔离件。这里，缺氧氛围气下是指在惰性气体下、减压下、能屏蔽氧的保护层(以下也称为"氧屏蔽层")下，详细情况如后所述。上述在惰性气体下是指在N2、H2、C02等惰性气体或He、Ne、Ar等稀有气体等气体氛围气下曝光。其中，从安全性、获得的容易性、成本的问题出发，惰性气体优选为N2。上述在减压下是指500hPa以下、优选为100hPa以下的状态。上述能屏蔽氧的保护层(氧屏蔽层)是指例如日本专利特开昭46-2121号或日本专利特公昭56-40824号的各公报中记载的聚乙烯醚/马来酸酐聚合物、羧基垸基纤维素的水溶性盐、水溶性纤维素醚类、羧基烷基淀粉的水溶性盐、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯垸酮、各种聚丙烯酰胺类、各种水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性盐、明胶、氧乙烯聚合物、各种淀粉及其类似物所组成的组的水溶性盐、苯乙烯/马来酸共聚物、马来酸酯树脂以及它们的2种以上的组合等。其中，特别优选聚乙烯醇和聚乙烯吡咯垸酮的组合。聚乙烯醇优选皂化率为80%以上，聚乙烯吡咯烷酮的含量相对于碱可溶性感光性树脂层的固体成分优选为175质量％，进一步优选为150质量％，更优选为1040质量。氧屏蔽层还可以采用各种膜。例如，可以优选使用以PET为代表的聚酯类、以尼龙为代表的聚酰胺类、乙烯-乙酸乙烯基酯共聚物(EVA类)。这些膜可以根据需要被拉伸，厚度以530'(Vm为宜，优选为2015(Him。特别是在用感光性转印材料形成像素隔离件时，可以优选将临时支撑体作为能屏蔽氧的保护层来使用。将临时支撑体作为氧屏蔽层使用时，残留临时支撑体(未剥离)，将该临时支撑体与所需的光掩模(例如石英曝光掩模)相对配置，在层叠体和光掩模垂直竖立的状态下，适当设定曝光掩模面与该临时支撑体之间的距离(例如20(Him)，进行曝光。能屏蔽氧的保护层(氧屏蔽层)的透氧系数优选为2000cm3/(m2*day.atm)以下，更优选为100cm3/(m2dayatm)以下，最优选为50cm3/(m2dayatm)以下。若透氧率在上述范围内，则通过氧屏蔽使光固化顺利进行，有助于使像素隔离件形成所需的形状。接着，实施显影工序，对曝光后的感光性树脂层用规定的显影液进行显影处理。然后，根据需要，迸行水洗处理，得到图案图像(像素隔离件图案)。另外，在显影前，优选通过喷淋喷嘴等进行纯水喷雾，将感光性树脂层或氧屏蔽层的表面均匀润湿。作为显影处理中使用的显影液，可以使用碱性物质的稀薄水溶液，也可以添加少量与水具有混合性的有机溶剂。作为上述碱性物质，可以列举碱金属氢氧化物类(例如氢氧化钠、氢氧化钾)、碱金属碳酸盐类(例如碳酸钠、碳酸钾)、碱金属碳酸氢盐类(例如碳酸氢钠、碳酸氢钾)、碱金属硅酸盐类(例如硅酸钠、硅酸钾)、碱金属偏硅酸盐类(例如偏硅酸钠、偏硅酸钾)、三乙醇胺、二乙醇胺、一乙醇胺、吗啉、四烷基氢氧化铵类(例如四甲基氢氧化铵)、磷酸三钠等。碱性物质的稀薄水溶液的碱性物质的浓度优选为0.0130质量％，pH优选为814。作为上述"与水具有混合性的有机溶剂"，优选列举例如甲醇、乙醇、2-丙醇、l-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、乙二醇一正丁基醚、苄醇、丙酮、甲乙酮、环己酮、e-己内酯、Y-丁内酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酸三胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、s-己内酰胺、N-甲基吡咯垸酮等。与水具有混合性的有机溶剂的浓度优选为0.130质量％。此外，还可以添加公知的表面活性剂，该表面活性剂的浓度优选为0.0110质量％。显影液可以作为溶液、也可以作为喷雾液来使用。在除去感光性树脂层的未固化部分时，可以组合在显影液中用旋转刷或湿海绵擦拭等方法。显影液的液温通常优选从室温(20°C)附近到40°C。显影时间取决于感光性树脂层的组成、显影液的碱性和温度、添加有机溶剂时其种类和浓度等，但通常为10秒2分钟左右。若显影时间在上述范围内，则非固化部(负型时为非曝光部)的显影顺利进行，固化部(负型时为曝光部)不会被蚀刻，能有效地得到形状良好的像素隔离件。另外，在显影处理后，还可以加入水洗工序。加热处理工序通过对由经上述显影工序得到的感光性树脂层形成的图案图像(像素隔离件图案)进行加热处理(也称烘烤处理)，能得到斥水*斥油墨性优异的像素隔离件。加热处理通过对经曝光和显影形成的图案图像(像素隔离件图案)进行加热，使其固化的同时，因热而在表面排列氟官能团，因而能进一步发挥含氟化合物的斥水斥油墨性。作为加热处理的方法，可以使用目前公知的各种方法。即，例如将多块基板收纳于盒中并用对流烘箱处理的方法、用加热板一块块处理的方法、用红外线加热器处理的方法等。烘烤温度(加热温度)通常为150280°C，优选为180250°C。加热时间可以根据上述烘烤温度来适当选择，例如烘烤温度为24(TC时为10120分钟，更优选为30卯分钟。在像素隔离件的形成方法的加热处理工序中，从防止不均一的膜厚减少、防止感光性树脂层中含有的uv吸收剂等成分的析出的观点出发，可以在加热处理前进行后曝光。若在实施加热处理前进行后曝光，则能有效地防止在层压时进入的微小异物膨胀而形成缺陷。这里，对上述后曝光进行简要说明。作为后曝光中使用的光源，只要是能照射能使感光性树脂层固化的波长区域的光(例如365nm、405nm)的光源即可，可以适当选择使用。具体而言，可以列举超高压汞灯、高压汞等、金卤灯等。作为曝光量，只要是补充上述曝光的曝光量即可，通常为505000mJ/cm2，优选为2002000mJ/cm2，更优选为5001000mJ/cm2。能用本发明的像素隔离件形成方法制作的像素隔离件优选在555nm具有高光学浓度。特别是作为像素隔离件在形成构成滤色器的黑色矩阵时，从通过赋予遮光性而显示鲜明清楚的彩色图像的观点出发，光学浓度优选为2.5以上，进一步优选为2.510.0，更优选为2.56.0，特别优选为3.05.0。感光性树脂层优选在光引发体系中固化，因此相对于曝光波长(一般为紫外区域)的光学浓度也很重要。即，其值优选为2.010.0，更优选为2.56.0，特别优选为3.05.0。若在上述优选的范围内，则能形成所需形状的像素隔离件。关于像素隔离件的宽度和高度，作为宽度(即形成滤色器时的像素与像素的间距)，优选为15100(mi，作为高度(即基板法线方向上从基板表面到像素隔离件顶点的距离)，优选为1.05.0pm。关于像素隔离件的形状，本发明优选日本专利特开2006-154804号公报的段落号中记载的形状。本发明的带像素隔离件基板含有基板和、含有斥油墨剂且根据公知的基板玻璃表面的润湿性试验方法中记载的方法测定时板上面的水接触角为60°以上的像素隔离件，上述基板的形成像素隔离件侧的基板表面中，在未形成像素隔离件的部分刚滴加丙二醇一甲基醚一乙酸酯后的液滴直径为2(Him以上。以往，一般当用含斥油墨剂的组合物成膜并在曝光、显影后进一步热处理来制作具有斥油墨性的黑色矩阵等像素隔离件时，在热处理时斥油墨成分会释放到膜体系外，污染露出的基板表面，容易导致相对于液体的润湿性的下降，但在本发明的带像素隔离件基板中，将含有斥油墨剂而形成的图案膜为斥油墨化和热固化等而进行热处理(例如15(TC以上的高温处理)后露出的基板表面(非成膜面)能防止含氟成分的附着，保持对液体的润湿性，因此例如在制作滤色器时，能防止在形成了黑色矩阵等像素隔离件的基板的非像素隔离件形成区域(被像素隔离件隔离的基板上的凹部)赋予着色液体组合物(例如通过喷墨法来赋予油墨液滴)而形成着色区域(RGB等着色像素)时的液体的排斥，抑制着色区域中产生空白、抑制图像显示时的显示不均，能得到可以进行高品质的图像显示的滤色器和显示装置。目前，用热处理附着的斥油墨成分即使之后预进行洗涤除去也不易除去，因此若像本发明那样抑制伴随着热处理而产生的附着本身，就能轻易得到高品质的滤色器和显示装置。本发明的像素隔离件是根据公知的基板玻璃表面的润湿性试验方法中记载的方法测定时、加热处理后的板上面的水接触角为60°以上的树脂固化板(例如黑色矩阵等)，通过事先用含有斥油墨剂的(感光性)树脂组合物成膜，在图案形成后再进行热处理(例如15(TC以上)来形成。热处理优选主要用于热固化和赋予斥油墨性，优选选择15(TC25(TC的范围。如上所述，有时把排斥水、其他溶剂的性质称为斥油墨性。若斥油墨性不足60°，则像素隔离件表面的斥油墨性不充分，无法防止在未形成像素隔离件的基板露出部(被黑色矩阵包围的基板上的凹部)赋予液体(例如用喷墨法赋予用于形成构成滤色器的着色像素的着色液体组合物(例如RGB等油墨)液滴)时的混色。从防止在像素隔离件上的液体的搁浅、防止混色的观点出发，斥油墨性更优选为70°以上。从获得本发明的效果的观点出发，带像素隔离件基板的未形成像素隔离件的露出面优选对液体的润湿性高，本发明的带像素隔离件基板具有当在基板的露出面滴加1滴丙二醇一甲基醚一乙酸酯后的液滴直径为20pm以上的润湿性。若该液滴直径不足20pm，则滴加的液体的反弹程度大，例如要赋予着色液体组合物(例如用喷墨法赋予油墨液滴)而形成着色区域(RGB等着色像素)时，无法抑制基板反弹油墨而在着色区域中产生的空白，无法抑制图像显示时的显示不均。在本发明中，润湿性是指在平面上滴加液体时的润湿延展程度，例如在形成了黑色矩阵等像素隔离件的基板的被像素隔离件包围的凹部(即成为着色像素的区域的基板表面)喷墨赋予作为着色液体组合物的油墨组合物的液滴时油墨滴的润湿延展程度。更具体而言，在像素隔离件之间滴加1滴溶剂或油墨组合物，该液滴所成圆的直径为润湿延展程度的指标。液滴直径是指通过在任意倍数下拍摄光学照片、测定其直径、根据倍数计算实际尺寸而求得的值。在滴加溶剂时，由于微小的液滴会迅速蒸发，因此必须在滴加后立即拍摄照片。像素隔离件的接触角测定加热处理(烘烤处理)前后的像素隔离件(例如黑色矩阵)的油墨接触角和水接触角的变化很重要。这里，接触角的测定方法采用财团法人*日本规格协会制定的JIS规格的方法、具体而言为JISR3257"基板玻璃表面的润湿性试验方法"内的"6.静滴法"中记载的方法。更具体而言，使用接触角测定仪(协和界面科学株式会社制的接触角仪CA-A(商品名))，制作20刻度大小的油墨滴、水滴，从针端滴下油墨滴、水滴，使其与图案状形成的像素隔离件表面接触并形成油墨滴、水滴，静置10秒后，从接触角仪的窥孔观察油墨滴、水滴的形状，求25"C下的接触角e。这里的"加热处理后"是指在24(TC下加热50分钟后、在室温下放置冷却1小时后。下面，用图1对像素隔离件的上表面进行说明。像素隔离件的上表面是指像素隔离件1的表面中与基板6接触的面的相反侧的露出面(图1所示的上表面4)。另外，像素隔离件的侧面是指像素隔离件的表面中上述像素隔离件上表面以外的表面(图1所示侧面5)。基板上的凹部是指被像素隔离件包围、由像素隔离件侧面和未形成像素隔离件的基板表面形成的凹部(图1所示凹部3)。接触角值本发明的感光性树脂组合物当使用该感光性树脂组合物形成的图案图像(例如像素隔离件)上表面的水接触角用上述方法测定时，若实施加热处理前的图案图像(例如加热处理前的像素隔离件图案)上表面的水接触角为A°，在24(TC下加热50分钟并放置冷却1小时后的图案图像(例如像素隔离件)上表面的^^接触角为B°，则接触角差B。-A。必须在20°以上。上述接触角差B。-A。进一步优选在30°以上，最优选为40°以上。关于A°，从进一步提高像素隔离件与基板的密合性的观点出发，优选为060°，进一步优选为055。，特别优选050°。关于B°，从更有效地抑制制作滤色器时的混色的观点出发，优选为65180°，进一步优选为80180°，特别优选90180。。滤色器及其制造方法
技术领域：
：本发明的滤色器的制造方法包含准备本发明的带像素隔离件基板或用本发明的带像素隔离件基板制造方法制作的带像素隔离件基板；向带像素隔离件基板的被像素隔离件区划形成的凹部(着色区域形成用区域)赋予(最好是2种颜色以上的)着色液体组合物，形成(最好是2种颜色以上的)多个着色区域(例如红、绿、蓝、白、紫等着色像素等)。在本发明的滤色器的制造方法中，在具有使用上述本发明的含氟化合物的像素隔离件(例如黑色矩阵)的基板上赋予着色液体组合物，形成着色区域，因此能避免油墨在像素隔离件上搁浅等而带来的混色，能防止由像素隔离件区划形成的基板上的凹部(着色区域形成用区域)的着色液体组合物的反弹，还能抑制像素隔离件的剥落和缺口缺陷等，因此能制作因混色、色不均、空白等引起的图像故障得以抑制的高品质滤色器。本发明的滤色器还由于具备使用上述本发明的含氟化合物的像素隔离件，因此空白等图像故障被抑制，具有鲜明的显示特性。作为赋予着色液体组合物的方法，没有特殊限制，可以适当采用喷墨法、狭缝涂布法、条形液槽法等涂布法等公知的方法。条形液槽涂布法是使用开有细小液滴喷出用孔的液槽在基板上赋予液滴来形成条形像素的方法。在本发明中，可以特别优选使用喷墨法。喷墨法作为喷墨法，可以采用连续喷射带电的油墨并利用电场进行控制的方法、使用压电元件来间歇喷射油墨的方法、将油墨加热并利用其发泡来间歇喷射的方法等各种方法。油墨可以使用油性、水性中的任一种。该油墨中含有的着色剂可以使用染料、颜料，从耐久性的观点出发，更优选使用颜料。另外，还可以使用公知的滤色器的制作时涂布用的着色油墨(例如日本专利特开2005-3861号公报的段落号中记载的着色组合物)以及日本专利特开2004-325736号公报中记载的着色油墨、日本专利特开2002-372613号公报中记载的油墨等公知的油墨。在喷墨法使用的油墨中，考虑到赋予后的工序，可以添加通过加热而固化或通过照射紫外线等能量线而固化的成分。作为通过加热而固化的成分，广泛采用各种热固化性树脂，作为通过照射能量线而固化的成分，可以例示例如在丙烯酸酯衍生物或甲基丙烯酸酯衍生物中添加光反应引发剂后的物质。特别是考虑到耐热性时，更优选分子内具有多个丙烯酰基、甲基丙烯酰基的物质。这些丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以优选使用水溶性物质，即使是水难溶性物质，也可以通过乳化等来使用。此时，可以优选使用在上述感光性树脂组合物中列举的含有颜料等着色剂的感光性树脂组合物。本发明的滤色器优选为通过用喷墨法在基板上喷出着色液体组合物的液滴并形成着色区域(例如像素)而得到的滤色器，优选用喷墨法至少喷出RGB三种颜色的油墨而至少具有三种颜色的着色像素的滤色器。滤色器的图案形状没有特殊限制，可以是常见的黑色矩阵形状即条形，也可以是格子状、三角形排列状。在制作的滤色器上有时整个面设置保护层以提高耐性。保护层能保护着色区域(例如RBG像素)并使表面平坦。但是，从工序数增加的观点出发，优选不设置保护层。作为形成保护层的树脂(OC剂)，可以列举丙烯酸类树脂组合物、环氧树脂组合物、聚酰亚胺树脂组合物等。其中，由于在可见光区域的透明性优异，构成滤色器的固化性组合物的树脂成分一般含有丙烯酸类树脂为主要成分，密合性优异，因此优选丙烯酸类树脂组合物。作为保护层的例子，可以列举日本专利特开2003-287618号公报的段落号中记载的保护层，作为保护剂的市售品，可以列举JSR公司制的"才7卜7—SS6699G"(商品名)。在着色区域(例如RGB像素)上，根据需要可以设置透明电极、取向膜等。作为透明电极的具体例子，可以列举ITO膜。作为取向膜的具体例子，可以列举聚酰亚胺。显示装置本发明的显示装置通过设置上述本发明的滤色器而构成。用本发明的滤色器制造方法得到的滤色器，可以与液晶显示元件、电泳显示元件、电致发光显示元件、PLZT(leadlanthanumzirconiumtitanate)等组合而作为显示元件使用。还可以在彩色照相机及其他使用滤色器的用途中使用。作为显示装置，可以列举液晶显示装置、等离子体显示器显示装置、电致发光(EL)显示装置、CRT(CathodeRayTube:阴极射线管)显示装置等的显示装置等。关于显示装置的定义以及各显示装置的说明，例如在《电子显示器(佐佐木昭夫著、株式会社工业调查会19卯年发行)》、显示器(伊吹顺章著、产业图书株式会社平成元年发行)》等中有记载。作为设置本发明的滤色器而构成的显示装置，优选液晶显示装置。关于液晶显示装置，例如在《新一代液晶显示技术(内田龙男编辑、株式会社工业调查会1994年发行)》中有记载。能使用本发明的液晶显示装置没有特殊限制，例如可以使用在上述《新一代液晶显示技术》中记载的各种方式的液晶显示装置。其中，对彩色TFT方式的液晶显示装置特别有效。关于彩色TFT(thinfilmtransistor:薄膜场效应晶体管)方式的液晶显示装置，例如在《彩色TFT液晶显示器(共立出版株式会社1996年发行)》中有记载。此夕卜，本发明在IPS(InPlaneSwitching:平面转换)等横向电场驱动方式、MVA(Multi-domainVerticalAlignment:多区域垂直排列)等像素分割方式等视角放大的液晶显示装置中也可以使用。关于这些方式，例如在《EL、PDP、LCD显示器技术和市场最新动向(东丽研究中心调查研究部分2001年发行)》的43页中有记载。液晶显示装置除滤色器外，还包含电极基板、偏振膜、相位差膜、背光、隔离物、视角补偿膜等各种部件。本发明的滤色器可以在由这些公知的部件构成的液晶显示装置中使用。关于这些部件，例如在《94液晶显示器相关材料，化学市场(岛健太郎、株式会社CMC、1994年发行)》、2003液晶相关市场的现状和未来展望(下巻)(表良吉、株式会社富士相机总研、2003年发行)》中有记载。关于用途，可以在电视机、个人电脑、液晶投影仪、游戏机、手机等便携式终端、数码相机、汽车导航仪等用途中使用而无特殊限制。实施例以下，用实施例更具体地说明本发明，本发明只要不超出其主旨即可，不限于下述实施例。另外，分子量表示用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的聚苯乙烯换算的重均分子量，在没有特殊说明的情况下，"份"和"％"为质量基准。合成例以下所示为能形成通式(1)表示的重复单元的化合物(以下有时称为卤化物单体)的合成方法。含氟化合物的合成卣化物单体(1)的合成在带滴液漏斗的300ml三口烧瓶中，装入甲乙酮(MEK、和光纯药工业株式会社制)50g以及甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、东京化成工业株式会社制)26.1g，在冰水浴中冷却至内温为5°C。在其中加入吡啶(Py、东京家政工业株式会社制)16.2g，搅拌。用滴液漏斗滴加氯乙酰氯(CAC、和光纯药工业株式会社制)22.6g并确保烧瓶内温不超过l(TC。通过NMR跟踪反应，证实HEMA消失后，在室温下搅拌2小时。在2L蒸馏水中搅拌添加反应物，用二乙基醚提取。将提取的有机层用碳酸氢钠水、饱和盐水洗涤，将有机层用硫酸镁干燥，过滤除去不溶物。将得到的滤液浓縮，减压蒸馏，得到35.4g(收率86%)的卤化物单体(1)。卤化物单体(2)的合成方法除了将卤化物单体(1)的合成方法中的HEMA改为丙烯酸羟乙酯(HEA、东京化成工业株式会社制)以外，按卤化物单体(1)的合成方法，合成卤化物单体(2)。收率为88%。卤化物单体(3)的合成方法除了将卤化物单体(1)的合成方法中的CAC改为溴乙酰溴(BAB、东京化成工业株式会社制)以外，按卤化物单体(1)的合成方法，合成卤化物单体(3)。收率为79%。卤化物单体(4)的合成方法除了将卤化物单体(1)的合成方法中的HEMA改为7口二y夕7M152(AX-M152、东亚合成株式会社制)以外，按卤化物单体(1)的合成方法，合成卤化物单体(4)。收率为88%。卤化物单体(5)的合成方法除了将卤化物单体(1)的合成方法中的HEMA改为7口二、乂夕7M154(AX-M154、东亚合成株式会社制)以外，按卤化物单体(O的合成方法，合成卤化物单体(5)。收率为87%。卤化物单体(6)的合成方法除了将卤化物单体(1)的合成方法中的HEMA改为:/1/>7—PE200(BL-PE200、日本油脂株式会社制)以外，按卤化物单体(1)的合成方法，合成卤化物单体(6)。收率为90%。含氟化合物(1)的合成在氮气流下，向设有冷却管的300ml三口烧瓶中装入丙二醇一甲基醚乙酸酯(MMPG-Ac、大赛璐化学工业株式会社制)25g，在装有石蜡的水浴中加热至内温为70°C。在其中分别用柱塞泵花2小时滴加在MMPG-Ac40g中溶解丙烯酸(AA、东京化成工业株式会社制)2.5g和2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6、NOK株式会社帝U)25g、聚乙二醇单体(AM230G、新中村化学株式会社制)17.5g、上述卤化物单体(1)5.0g、2-乙基己基巯基丙酸(EHMP、东京化成工业株式会社制)0.88g得到的溶液、以及在MFGAcl0g中溶解2，2'-偶氮双(异戊腈)(商品名V65、和光纯药工业株式会社制)0.334g得到的溶液。滴加结束后，搅拌5小时，通过'H-NMR确认残留单体的消失。按上述方法操作，使2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6)、丙烯酸(AA)、聚乙二醇单体(AM230G)以及卤化物单体(1)共聚，合成FAAC6/AA/AM230G/卣化物单体(1)=50/5/35/10(质量比)的含氟化合物(1)。重均分子量为1.6万。从单体消失且高分子量成分的生成来确认具有有6条酯链的侧链的含氟树脂的合成。含氟化合物(2)的合成按照上述含氟化合物(1)的合成，进行含氟化合物(2)的合成。各共聚成分和组成比如下所示。含氟化合物(2):FAAC6/AA/AM230G=50/5〃45(质量比)含氟化合物(3)的合成按照上述含氟化合物(1)的合成，进行含氟化合物(3)的合成。各共聚成分和组成比如下所示。含氟化合物(3):FAMAC6/MAA/M230G=50/5〃45(质量比)含氟化合物(4)(5)的合成按照上述含氟化合物(1)的合成，进行含氟化合物(4)(5)的合成。各共聚成分和组成比如下所示。含氟化合物(4):R1420/MAA/M230G=50/5〃45(质量比)含氟化合物(5):FAMAC6/MAA/M90G=50/5〃45(质量比)评价1(1)热减少率在不受组合物的其他成分影响的前提下用含氟化合物(1)(5)测定热减少率。将得到的含氟化合物在真空烘箱中干燥一昼夜，称取lg，用热重量分析仪(商品名DTG-60、株式会社岛津制作所制)，测定在15(TC下保持30分钟后的减重率。测定结果如下表3所示。含氟化合物(6)(18)的合成方法按照上述含氟化合物(1)的合成例，合成其他含氟化合物(6)(18)(各共聚成分和组成比如下所述。含氟化合物(6)FAAC6/AA/AM230G/卤化物单体(2)=50/f/43/2(质量比)含氟化合物(7)FAAC6/AA/AM230G/卤化物单体(2)=50/:/40/5(质量比)含氟化合物(8)FAAC6/AA/AM230G/卤化物单体(2)=40/f/35/20(质量比)含氟化合物(9)FAAC6/AA/AM230G/卤化物单体(2)=30/;/55/10(质量比)含氟化合物(10)FAAC6/AA/AM230G/卤化物单体(2)二50/5/35/10(质量比)含氟化合物(11)/10(质量比)含氟化合物(12)量比)含氟化合物(13)(质量比)含氟化合物(14)5/35/10(质量比)含氟化合物(15)5/35/10(质量比)含氟化合物(16)5/35/10(质量比)含氟化合物(17)FAAC6/AA/FA5/卣化物单体(2)=40/5/45FAAC6/AA/FA5/CMS-P=40/5/45/10(质FAAC6/AA/AM230G/CMS-P=40/5/45/10FAAC6/AA/AM230G/卣化物单体(3)=50/FAAC6/AA/AM230G/卣化物单体(4)=50/FAAC6/AA/AM230G/卣化物单体(5)二50/FAMAC6/MAA/M230G/卣化物单体(6)=50/5/35/10(质量比)含氟化合物(18)FAAC6/AM230G/卤化物单体(2)=50/4010(质量比)含氟化合物(19)(20)的合成方法按照上述含氟化合物(1)的合成例，合成其他含氟化合物(19)-(20)。各共聚成分和组成比如下所述。含氟化合物(19)TFA/AA/AM130G/卤化物单体(2)=50/5/35/10(质量比)含氟化合物(20)FAAC6/AA/V#160=50/5/45(质量比)添加丙二醇一甲基醚乙酸酯将上述合成的各含氟化合物的固体成分浓度调至25%。另外，构成上述含氟化合物的各共聚成分(单体)的符号意思如下。含氟单体FAAC6;2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯[NOK株式会社制]FAMAC6;2-(全氟己基)-乙基甲基丙烯酸酯[NOK株式会社制]R1420;2-(全氟丁基)-乙基丙烯酸酯[大金工业株式会社制]其他单体AA;丙烯酸[东京化成株式会社制]MAA:甲基丙烯酸[东京化成株式会社制]AM230G;聚乙二醇(23聚体)的一甲基丙烯酸酯[新中村化学株式会社制]M230G;聚乙二醇(23聚体)的一甲基甲基丙烯酸酯[新中村化学株式会社制]M90G;聚乙二醇(23聚体)的一甲基甲基丙烯酸酯[新中村化学株式会社制]上述合成的各含氟化合物(1)以及(6)(20)中的共聚成分、共聚比率、质均分子量如下表l所述。另外，添加丙二醇一甲基醚乙酸酯将各含氟化合物的固体成分浓度调至25%。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage61</column></row><table>[实施例1]感光性树脂组合物的制备首先，称取下表2所述量的K颜料分散物1、丙二醇一甲基醚乙酸酯，在温度24。C(±2°C)下混合，在150rpm下搅拌IO分钟，然后称取表2所述量的甲乙酮、粘合剂2、氢醌一甲基醚、DPHA液、2，4-双(三氯甲基)_6_[4，_(N，N-双乙氧基羰基甲基)氨基-3，-溴苯基]-s-三嗪、表面活性剂1以及上述得到的含氟化合物(1)，在温度25。C(±2°C)下依次添加，在温度40。C(±2°C)下以150rpm搅拌30分钟，制备感光性树脂组合物K1。此时，含氟化合物(1)相对于感光性树脂组合物K1中的固体成分质量的比例为5%。另外，表2所示的量为质量份，详细组成如下。K颜料分散物1'炭黑(商品名Nipex35、德固赛公司制)…13.1。/。下述分散剂1"'0.65%*聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物、分子量3.7万)"'6.72%'丙二醇一甲基醚乙酸酯"'79.53%<formula>formulaseeoriginaldocumentpage62</formula>粘合剂2'聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=78/22[摩尔比])的无规共聚物、分子量3.8万)…27。/。丙二醇一甲基醚乙酸酯73%DPHA液.二季戊四醇六丙烯酸酯(含有聚合抑制剂MEHQ500ppm、日本化药株式会社制、商品名KAYARADDPHA)…76%丙二醇一甲基醚乙酸酯—24%表面活性剂1'下述结构物1一30%甲乙酮…700/。结构物i<formula>formulaseeoriginaldocumentpage63</formula>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage63</column></row><table>像素隔离件的形成将无碱玻璃基板用UV洗涤装置洗涤后，用洗涤剂刷洗，然后用超纯水进行超声波洗涤。将该玻璃基板在12(TC下热处理3分钟，使表面状态稳定。热处理后，将玻璃基板冷却，调温至23'C后，用具有狭缝状喷嘴的玻璃基板用涂布器(FAS亚洲公司制、商品名MH-1600)涂布上述感光性树脂组合物K1。接着，用真空干燥装置VCD(东京应化工业公司制)处理30秒将溶剂的一部分干燥使涂布层的流动性消失后，在12(TC下预烘烤3分钟，形成膜厚2.3pm的感光性树脂组合物层Kl(感光性树脂层形成工序)。接着，使用具有超高压汞灯的接近式曝光机(日立高科技电子工程株式会社制)，在玻璃基板和掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直竖立的状态下，将掩模面与感光性树脂组合物层Kl之间的距离设定在200pm，在氮氛围气下，以曝光量300mJ/cn^进行图案曝光(曝光工序)。然后，用喷淋喷嘴进行纯水喷雾，将感光性树脂组合物层Kl的表面均匀润湿后，用稀释至100倍的KOH类显影液(含有KOH、非离子型表面活性剂、商品名CDK-1、富士胶片电子材料株式会社制)在23。C、80秒、扁平喷嘴压力0.04MPa的条件下喷淋显影，得到图案图像(显影工序)。然后，使用超高压洗涤喷嘴在9.8MPa的压力下喷射超纯水，除去残渣，在大气下以曝光量2000mJ/cn^进行后曝光。然后，在24(TC下进行50分钟后烘烤处理(加热处理工序)，得到膜厚2.(Him、光学浓度4.0、具有100pm宽的开口部的条形黑色矩阵(像素隔离件)。以下，将形成了黑色矩阵的玻璃基板称为"带像素隔离件基板"。评价2(2)润湿性对得到的带像素隔离件基板，按如下方法评价润湿性。在带像素隔离件基板的被像素隔离件包围而成的凹部，用Dimatix公司制的喷墨头SE-128，在驱动电压50V、驱动频率50Hz的条件下，一滴滴地滴加油墨。通过光显微镜观察来测定滴加后20秒时的液滴大小，求出IO点的平均值，将其作为液滴直径。当液滴直径为40pm以上时，为润湿性得以保持的状态，称为优选。在带像素隔离件基板的被像素隔离件包围而成的凹部，用Dimatix公司制的喷墨头SE-128，在驱动电压50V、驱动频率50Hz的条件下，一滴滴地滴加丙二醇一甲基醚一乙酸酯。通过光显微镜照片来测定刚滴加后的液滴大小，求出10点的平均值，将其作为液滴直径。其值见表3和表4。(3)像素隔离件的斥水性斥油墨性对得到的带像素隔离件基板，按如下方法评价斥油墨性。将离子交换水用接触角测定仪(协和界面科学株式会社制的接触角仪(CA-A))制成20刻度大小的水样品，从针端吐出该水样品，使其与像素隔离件的上缘部接触，在像素隔离件的上缘部形成水滴，通过接触角仪的窥孔观察油墨滴的形状，求出25'C下的接触角e。其值如下表4所示。在实施例523和比较例34中，对与上述同样形成的感光性树脂组合物层Kl，除了不使用掩模外，用与上述同样的方法进行曝光，然后在同样的条件下进行操作直至后烘烤处理(加热处理工序)，得到测试用感光性树脂组合物层。然后，将该测试用感光性树脂组合物层在后烘烤处理后在室温下放置冷却1小时，然后用接触角测定仪(协和界面科学株式会社制的接触角仪、商品名CA-A)，将上述R像素用着色油墨组合物制成20刻度大小的液体样品(油墨样品)，从针端吐出，使其与测试用感光性树脂组合物层接触，在测试用感光性树脂组合物层上形成R像素用着色油墨组合物的液滴(油墨滴)。通过接触角仪的窥孔,察该油墨滴的形状，求出25。C下、滴加后放置10秒后的油墨滴的油墨接触角e'。另外，将进行了接触角测定的油墨滴改为水滴，按同样操作测定水接触角e2。将后烘烤后的值作为评价斥水，斥油墨性的指标，按下述评价标准进行评价。许可范围为A级和B级。评价结果如下表5和6所示。评价标准'A级油墨接触角^50。、水接触角^100。'B级油墨接触角^40。、水接触角^90。'C级油墨接触角^35。、水接触角^80。'D级油墨接触角<35。、水接触角<80。(4)像素隔离件的基板密合性准备3块在上述"像素隔离件形成"中在同样条件下进行至曝光工序的玻璃基板，除了将显影时间延长至90秒、100秒、IIO秒进行处理外，在同样的显影条件下进行显影处理，通过目视观察IOO个像素在各显影时间下有无产生像素隔离件缺口，按如下评价标准进行评价。许可范围为A级和B级。评价结果如下表5和6所示。评价标准-A级完全没有像素隔离件缺口。'B级有12处像素隔离件缺口。'C级有310处像素隔离件缺口。'D级:有ll处以上像素隔离件缺口。滤色器的制作(1)像素用着色油墨组合物的制备下述组成中，先将颜料、高分子分散剂和溶剂混合，用3根辊和珠磨机得到颜料分散液。一边将该颜料分散液在溶解器等中充分搅拌，一边少量添加其他材料，制备红色(R)像素用着色油墨组合物。红色像素用着色油墨组合物的组成颜料(C丄颜料红254)…5份'高分子分散剂(商品名乂少只八。一724000、AVECIA公司制)…l份甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩尔比])的无规共聚物(分子量3.7万、粘合剂)…3份新戊二醇二縮水甘油醚(环氧树脂)…5份"偏苯三酸(固化剂)…4份3-乙氧基丙酸乙酯(溶剂)…80份此外，除了用等量的C.I.颜料绿36代替上述组成中的C丄颜料红254外，与R像素用着色油墨组合物同样操作，制备绿色(G)像素用着色油墨组合物。另外，除了用等量的C丄颜料蓝15:6代替上述组成中的C丄颜料红254外，与R像素用着色油墨组合物同样操作，制备蓝色(B)像素用着色油墨组合物。(2)着色像素的形成然后，使用上述R、G、B的各像素用着色油墨组合物，在上述得到的带像素隔离件基板的被像素隔离件包围的区域内(被像素隔离件包围的凹部)，使用喷墨式记录装置喷出油墨组合物直至达到所需浓度，制作由R、G、B的图案(着色像素)形成的滤色器。然后，将该滤色器在230。C的烘箱中烘烤30分钟，得到像素隔离件和各像素均完全固化的滤色器基板。评价3(5)滤色器的混色和/或空白对得到的滤色器基板，从形成了滤色器的像素侧的相反侧，用200倍的光学显微镜目视观察，观察像素间有无混色和/或空白。观察1000个像素，按下述级别进行评价。许可范围为A级和B级。评价标准，A级完全没有混色和/或空白。B级在显示边缘部可见12处混色和/或空白。，C级在显示部可见l2处混色和/或空白。-D级在显示部可见2处以上混色和/或空白。液晶显示装置的制作在上述得到的滤色器基板的R像素、G像素和B像素以及像素隔离件上，进一步通过溅射来形成ITO(IndiumTinOxide:氧化铟锡)透明电极。测定(用三菱化学株式会社制的电阻率测定装置(商品名口^7夕)、通过四探针法测定方块电阻)ITO的电阻，结果为显示非常低的值。柱状隔离物图案的形成通过与上述同样的狭缝涂布器，在上述滤色器的ITO上涂布隔离物图案形成用的下述感光性树脂组合物层用涂布液，干燥，形成感光性树脂层SP1。感光性树脂层用涂布液的处方SP1*甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙酯共聚物(摩尔比=20/80、分子量40000;高分子物质)…108份二季戊四醇六丙烯酸酯…64.7份聚合性单体2，4-双(三氯甲基)-6-[4，-(N，N-双乙氧基羰基甲基)氨基-3，-溴苯基]-s-三嗪…6.24份氢醌一甲基醚…0.0336份.维多利亚艳蓝(商品名BOHM、保土^谷化学公司制)…0.874份.表面活性剂(商品名乂力'77:y夕F780F、大日本油墨化学工业株式会社制)…0.856份甲乙酮…328份l-甲氧基-2-丙基乙酸酯…475份甲醇…16.6份然后，通过规定的光掩模，用超高压汞灯，以300mJ/cr^进行接近式曝光。曝光后，使用KOH显影液[CDK-1(商品名)的100倍稀释液(PH=11.8)、富士胶片株式会社制]溶解除去未曝光部的感光性树脂层。然后，在230。C下烘烤30分钟，在位于玻璃基板上的ITO膜上的像素隔离件的上部的位置，形成直径16pm、平均高度为3.7pim的柱状隔离物图案。在其上进一步设置由聚酰亚胺形成的取向膜。液晶取向分割用突起的形成用与上述同样的狭缝涂布器，在上述滤色器基板的ITO上涂布下述突起用感光性树脂层用涂布液，干燥形成突起用感光性树脂层。然后，在突起用感光性树脂层上涂布由下述处方Pl形成的中间层涂布液，设置干燥膜厚为1.6(mi的中间层。突起用感光性树脂层用涂布液的处方A正型抗蚀剂液…53.3份(富士胶片电子材料株式会社制、商品名FH-2413F)甲乙酮…46.7伤、上述表面活性剂1…0.04份中间层用涂布液的处方P1PVA205(聚乙烯醇、可乐丽株式会社制、皂化度=88%、聚合度550)…32.2份.聚乙烯吡咯垸酮…14.9份(ISB.日本株式会社制、商品名FK-30)蒸馏水…524份甲醇…429份然后，配置接近式曝光机使光掩模距离突起用感光性树脂层的表面为lOOpm，通过该光掩模，用超高压汞灯以照射能量150nJ/cr^进行接近式曝光。然后，用喷淋式显影装置在33°。下向基板进行30秒2.38%四甲基氢氧化铵水溶液喷雾，同时显影，显影除去突起用感光性树脂层的无用部(曝光部)。这样，在位于上述滤色器基板的ITO膜上的R、G、B像素的上部的部分，形成了由图案化形成了所需形状的感光性树脂层形成的突起。然后，将形成了该突起的滤色器基板在24(TC下烘烤50分钟，在滤色器基板上形成高1.5pm、纵剖面形状为鱼糕状的取向分割用突起。通过在得到的滤色器基板上组合驱动侧基板和液晶材料，制作取向分割垂直取向型液晶显示元件。具体而言，作为驱动侧基板，准备由TFT和像素电极(导电层)排列形成的TFT基板，将该TFT基板和上述得到的滤色器基板以TFT基板的设有像素电极等侧的表面与滤色器基板的形成取向分割用突起等侧的表面相对的方式来配置，设置隔离物的间隙并固定。通过在该间隙封入液晶材料，设置进行图像显示的液晶层，得到液晶单元。在如此得到的液晶单元的两面贴合株式会社三立制偏振片HLC2-2518。然后，构成冷阴极管的背光，将其配置于液晶单元的设有偏振片侧的相反侧(背面侧)，制成取向分割垂直取向型液晶显装置。评价4(6)液晶显示装置的显示不均对上述制作的液晶显示装置，目视观察输入灰色测试信号时的灰色显示，按下述评价标准评价有无产生显示不均。评价标准-A级完全没有显示不均，得到很好的显示图像。B级虽然在玻璃基板的边缘部分略有不均，但对显示部无影响，显示图像良好。，C级在显示部可见略有不均，但在实际应所允许的范围内。'D级在显示部可见不均，显示图像略差。-E级在显示部可见明显不均，显示图像很差。实施例2感光性转印材料K1的制作在厚75pm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜临时支撑体(PET临时支撑体)上，使用狭缝状喷嘴，涂布由下述处方H1形成的热塑性树脂层用涂布液，干燥形成热塑性树脂层。然后，在该热塑性树脂层上涂布由下述处方Pl形成的中间层用涂布液，干燥形成中间层。然后，涂布实施例1中制备的感光性树脂组合物K1，干燥形成感光性树脂层。如此操作，在临时支撑体上设置干燥膜厚为14.61im的热塑性树脂层、干燥膜厚为1.6pm的中间层和干燥膜厚为2.3pm的感光性树脂层，最后压接保护膜(厚12jim聚丙烯膜)。如此操作，制作由临时支撑体、热塑性树脂层、中间层(氧屏蔽膜)和黑色(K)感光性树脂层一体形成的感光性转印材料，样品名为感光性转印材料K1。热塑性树脂层用涂布液的处方HI甲醇…1U份丙二醇一甲基醚乙酸酯…6.36份'甲乙酮…52.4份*甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸-2-乙基己酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg—70°C)…5.83份.苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=63/37、平均分子量=1万、Tg^l00。C)...13.6份2，2-双[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷(新中村化学工业株式会社制)…9.1份上述表面活性剂1…0.54份中间层用涂布液的处方P1*聚乙烯醇(商品名PVA-205、株式会社可乐丽制、皂化度=88%、聚合度550)…32.2份.聚乙烯吡咯烷酮(商品名K-30、ISB*日本公司制)…14.9份.蒸馏水…524份甲醇…429份对无碱玻璃基板(以下简称为"玻璃基板")，通过喷淋来吹拂调至25。C的玻璃洗涤剂液20秒，并同时用具有尼龙毛的旋转刷来洗涤，纯水喷淋洗涤后，通过喷淋吹拂硅垸偶联液(N-卩(氨基乙基)氨基丙基三甲氧基硅烷0.3%水溶液、商品名KBM603、信越化学工业株式会社制)20秒，纯水喷淋洗涤。洗涤后，将该玻璃基板在基板预热装置中于IO(TC下加热2分钟。对得到的硅烷偶联处理后的玻璃基板，从上述得到的感光性转印材料Kl除去保护膜，将除去后露出的感光性树脂层与硅烷偶联处理后的玻璃基板以感光性树脂层的表面与玻璃基板的表面相接的方式重叠，使用层压机(株式会社日立,y夕、、7卜y^乂制、商品名LamicII型)，在橡胶辊温度为130°C、线压为100N/cm、运送速度为2.2m/分钟的条件下在玻璃基板上层压。然后，将聚对苯二甲酸乙二醇酯的临时支撑体在与热塑性树脂层的界面剥离，除去临时支撑体。将临时支撑体剥离后，用具有超高压汞灯的接近式曝光机(日立高科技电子工程株式会社制)，在基板和掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直竖立的状态下，将掩模面与感光性树脂层之间的距离设定为200pm，以曝光量70mJ/cn^进行图案曝光。然后，用K0H显影液[CDK-1(商品名、富士胶片株式会社制)的100倍稀释液(pH=11.8)]进行显影，在除去了感光性树脂层的未曝光部分及其下面的中间层、热塑性树脂层后的玻璃基板上，形成黑色矩阵图案。然后，在大气下用对准器从基板的表面对基板的整个面以2000mJ/cn^进行后曝光，接着在24(TC下进行50分钟后烘烤，得到光学浓度为4.0的像素隔离件(带像素隔离件基板)。接着，与实施例1同样地制作滤色器、液晶显示装置，进行与实施例1同样的评价。评价结果如下表3和4所示。实施例3除了用含氟化合物(2)代替实施例2中用于制备感光性树脂组合物Kl的含氟化合物(1)夕卜，与实施例2同样操作，制作带像素隔离件基板、滤色器和液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表3和4所示。实施例4除了用含氟化合物(3)代替实施例2中用于制备感光性树脂组合物Kl的含氟化合物(1)夕卜，与实施例2同样操作，制作带像素隔离件基板、滤色器和液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表3和4所示。比较例1除了用含氟化合物(4)代替实施例2中用于制备感光性树脂组合物Kl的含氟化合物(1)外，与实施例2同样操作，制作带像素隔离件基板、滤色器和液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表3和4所示。比较例2除了用含氟化合物(5)代替实施例2中用于制备感光性树脂组合物Kl的含氟化合物(1)夕卜，与实施例2同样操作，制作带像素隔离件基板、滤色器和液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表3和4所示。[表3]含氟化合物热减少率(%)液滴直径(拜)空白显示不均实施例1含氟化合物(l)涂布1845AB实施例2含氟化合物(l)转印1748AA实施例3含氟化合物(2)转印2343AB实施例4含氟化合物G)转印2740BB比较例1含氟化合物(4)转印3415DC比较例2含氟化合物(5)转印3513DD斥油墨剂液滴直径斥水性("空白显示不均实施例1含氟化合物(l)涂布43109AB实施例2含氟化合物(l)转印45114AA实施例3含氟化合物(2)转印39110BA实施例4含氟化合物(3)转印28103BB比较例1含氟化合物(4)转印1492DD比较例2含氟化合物(5)转印1191DD如上述表3和4所示，在实施例中，黑色矩阵具有良好的斥油墨性，且能保持形成黑色矩阵间的着色像素的区域对像素用着色油墨组合物的润湿性，能防止空白的产生和抑制显示不均而显示高品质图像。与此相对，在比较例中，对像素用着色油墨组合物的润湿性受损，无法防止空白的产生以及图像显示时的显示不均。实施例5除了将实施例1中的含氟化合物(1)的含量从5%改为1%外，与实72施例1同样操作，制备感光性树脂组合物K2，制作滤色器、液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表5所示。实施例6除了将实施例1中的含氟化合物(1)的含量从5%改为0.1%外，与实施例1同样操作，制备感光性树脂组合物K3，制作滤色器、液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表5所示。实施例719除了用本发明的含氟化合物(6)(18)(本发明的含氟化合物)代替实施例5中的含氟化合物(1)夕卜，与实施例2同样操作，制备感光性树脂组合物K4K16，制作滤色器、液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表5所示。比较例3除了用上述比较用的含氟化合物(19)代替实施例5中的含氟化合物(1)夕卜，与实施例5同样操作，制备感光性树脂组合物K17，制作滤色器、液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表5所示。比较例4除了用上述比较用的含氟化合物(20)代替实施例5中的含氟化合物(1)夕卜，与实施例5同样操作，制备感光性树脂组合物K18，制作滤色器、液晶显示装置，并进行同样的评价。评价结果如下表5所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage74</column></row><table>*表中的含量表示相对于固体成分的质量比。如上述表5所示，在实施例中，加热处理后的像素隔离件上的斥水，斥油墨性优异，没有发生混色，基板密合性良好。另外，还有效地抑制了制作液晶显示装置时的显示不均，得到显示特性优异的图像。与此相对，在比较例中，加热处理后的像素隔离件上的斥水，斥油墨性差，防止混色的效果不充分，基板密合性也不好。因此，液晶显示装置很难实现无显示不均的图像显示。实施例20对无碱玻璃基板(以下简称为"玻璃基板")，通过喷淋来吹拂调至25。C的玻璃洗涤剂液20秒，并同时用具有尼龙毛的旋转刷来洗涤，纯水喷淋洗涤后，通过喷淋吹拂硅烷偶联液(N-P(氨基乙基)氨基丙基三甲氧基硅烷0.3%水溶液、商品名KBM603、信越化学工业株式会社制)20秒，纯水喷淋洗涤。洗涤后，将该玻璃基板在基板预热装置中于IO(TC下加热2分钟。对得到的硅烷偶联处理后的玻璃基板，从下述感光性转印材料K2除去保护膜，将露出的感光性树脂组合物层的表面以与该玻璃基板的表面相接的方式重叠，使用层压机(商品名LamicII型、株式会社日立,y夕、、7卜y一X、制)，在橡胶辊温度为130°C、线压为100N/cm、运送速度为2.2m/分钟的条件下层压。然后，将PET临时支撑体在与热塑性树脂层的界面剥离除去。将临时支撑体剥离后，用具有超高压汞灯的接近式曝光机(日立高科技电子工程株式会社制)，在玻璃基板和掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直竖立的状态下，将曝光掩模面与感光性树脂组合物层之间的距离设定为200pm，以曝光量70mJ/cr^进行图案曝光。然后，用KOH显影液[富士胶片株式会社制的CDK-1(商品名)的100倍稀释液(pH=11.8)]进行显影，除去感光性树脂组合物层的未曝光部分及其下面的中间层、热塑性树脂层后，在玻璃基板上形成图案。然后，在大气下用对准器从玻璃基板的图案形成面侧对玻璃基板的整个面以2000mJ/cn^进行后曝光，在240。C下进行50分钟后烘烤。如上操作，得到光学浓度为4.0的像素隔离件(黑色矩阵)。然后，与实施例1同样地制作滤色器、液晶显示装置，并进行与实施例1同样的评价。评价结果如下表6所示。感光性转印材料K2的制作在厚75pm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET临时支撑体)上，使用狭缝状喷嘴，涂布由下述处方H1形成的热塑性树脂层用涂布液，干燥形成热塑性树脂层。然后，在该热塑性树脂层上，涂布由下述处方P1形成的中间层用涂布液，干燥，层叠中间层(氧屏蔽膜)。然后，在该中间层上涂布实施例8中制备的感光性树脂组合物K5，干燥，层叠黑色(K)的感光性树脂组合物层K5。此时，感光性树脂组合物K5中的含氟化合物(7)相对于固体成分质量的比例为1.0%。如此操作，在PET临时支撑体上层叠干燥膜厚为14.6pm的热塑性树脂层、干燥膜厚为1.6,的中间层和干燥膜厚为2.3,的感光性树脂层，然后在感光性树脂组合物层的表面压接保护膜(厚12nm聚丙烯膜)，制作临时支撑体/热塑性树脂层/中间层/感光性树脂组合物层K2—体形成的感光性转印材料K2。热塑性树脂层用涂布液的处方Hl甲醇…11.1份丙二醇一甲基醚乙酸酯…6.36份甲乙酮…52.4份*甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸-2-乙基己酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=55/11,7/4,5/28.8、分子量=10万、Tg"(TC)…5.83份*苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=63/37、平均分子量=1万、Tg—100°C)…13.6份2，2-双[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷(新中村化学工业株式会社制)…9.1份上述表面活性剂1…0.54份中间层用涂布液的处方P1聚乙烯醇…32.2份(商品名PVA-205、株式会社可乐丽制、皂化度=88%、聚合度550)聚乙烯吡咯垸酮…14.9份(ISB*日本公司制、商品名K-30).蒸馏水…524份76甲醇…429份实施例2123除了用分别含有本发明的含氟化合物(11)、(13)、(15)的感光性树脂组合物Kll、K13、K15代替实施例20的感光性转印材料的制作中的含有含氟化合物(7)的感光性树脂组合物K2外，与实施例20同样操作，制作感光性转印材料K35，然后制作滤色器、液晶显示装置。另外，进行与实施例l同样的评价，其评价结果如下表6所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage77</column></row><table>如上述表6所示，在实施例中，加热处理后的像素隔离件上的斥水*斥油墨性优异，没有发生混色，基板密合性良好。另外，还有效地抑制了制作液晶显示装置时的显示不均，得到显示特性优异的图像。权利要求1.一种感光性树脂组合物，其含有引发剂、烯属性不饱和化合物以及含氟化合物，在150℃下保持30分钟时的所述含氟化合物的热减少率为30质量％以下。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含氟化合物含有在侧链具有氟原子的重复单元，主链结构具有丙烯基连接3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含氟化合物含有在侧链具有氟原子的重复单元和下述通式(1)表示的重复单元，通式(i)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>通式(1)中，W表示氢原子或碳原子数为15的垸基；W表示氢原子、碳原子数为15的垸基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的烷酰基；L'表示单键或2价的有机连接基团；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述在侧链具有氟原子的重复单元具有3个以上氟原子。5.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)表示的重复单元是下述通式(2)表示的重复单元，通式(2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(2)中，R'表示氢原子或碳原子数为15的烷基；W表示氢原子、碳原子数为15的烷基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基；Z"表示酯基或酰胺基；17表示单键或2价的有机连接基团；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基6.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)表示的重复单元是下述通式(3)表示的重复单元，通式(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(3)中，Ri表示氢原子或碳原子数为15的烷基；W表示氢原子、碳原子数为15的垸基、碳原子数为610的芳基或碳原子数为25的垸酰基；f表示单键、亚芳基或2价的杂环残基；X表示氯原子、溴原子或碘原子；Y表示亚芳基、2价的杂环残基、羰基或氧基羰基。7.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述在侧链具有氟原子的重复单元是具有碳原子数为47的氟代垸基的重复单元。8.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)中的Li是含有酯键和酰胺键中的至少l种的2价有机连接基团。9.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)中的W是单键、亚芳基或2价的杂环残基。10.根据权利要求l所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含氟化合物还含有具有酸性基的重复单元。11.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含氟化合物的相对于总固体成分质量的含量为0.1质量％10质量％。12.—种感光性转印材料，其在临时支撑体上具有采用了权利要求1所述的感光性树脂组合物的感光性树脂层。13.—种像素隔离件的形成方法，其包括用权利要求1权利要求11中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求12所述的感光性转印材料来形成感光性树脂层；将所述感光性树脂层曝光；将己曝光的所述感光性树脂层显影；以及将通过所述显影得到的图案图像加热处理。14.一种像素隔离件，其用权利要求13所述的像素隔离件的形成方法来形成。15.—种带像素隔离件的基板，其具有基板和在该基板上用权利要求13所述的像素隔离件的形成方法而形成的像素隔离件。16.根据权利要求15所述的带像素隔离件的基板，其中，根据公知的基板玻璃表面的润湿性试验方法迸行测定时，所述像素隔离件的隔离件上面的水接触角为60°以上，在所述基板的形成有像素隔离件一侧的基板表面中，在未形成像素隔离件的部分刚滴加丙二醇一甲基醚一乙酸酯后的液滴直径为20(im以上。17.—种滤色器的制造方法，其具有在用权利要求14所述的像素隔离件区划的基板上的凹部赋予着色液体组合物来形成着色区域的工序。18.根据权利要求17所述的滤色器的制造方法，其特征在于，通过用喷墨法喷出着色液体组合物的液滴来赋予所述着色液体组合物。19.一种滤色器，其用权利要求18所述的滤色器的制造方法来制作。20.—种显示装置，其具有权利要求19所述的滤色器<全文摘要本发明提供抑制了热处理时的含氟化合物成分释放的感光性树脂组合物及感光性转印材料、使用了上述感光性树脂组合物或上述感光性转印材料的像素隔离件及其形成方法、带像素隔离件基板、滤色器及其制造方法、以及显示装置。上述感光性树脂组合物含有引发剂、烯属性不饱和化合物以及含氟化合物，在150℃下保持30分钟时的上述含氟化合物的热减少率为30质量％以下。文档编号C08F220/22GK101535357SQ200780040939公开日2009年9月16日申请日期2007年12月18日优先权日2007年2月27日发明者有冈大辅,柏木大助申请人:富士胶片株式会社