[0060] 支承构件14与粘合膜13的基材膜之间的静摩擦系数优选为0.2~2.0,更优选为 0.6~1.6。若将晶片加工用带卷绕为卷筒状，则在脱模膜11的第1面Ila侧设置的粘合膜13 的周边部13a与在脱模膜11的第2面Ilb侧设置的支承构件14接触，因此支承构件14与粘合 膜13的基材膜之间的静摩擦系数小至低于0.2时，在制造时、使用时变得容易发生卷绕偏移 而操作性恶化。另一方面，大于2.0时，粘合膜13的基材膜与支承构件14之间的阻力过大，成 为制造工序的操作性恶化、或高速卷绕时等弯曲行进的原因。因此，通过将两者间的静摩擦 系数设置为上述范围，可W防止晶片加工用带10的卷绕偏移，得到使得能高速卷绕、可W使 卷绕数增大的效果。
[0061] 本发明中，可W依据JIS K7125,通过W下那样的测定方法得到支承构件14与粘合 膜13的基材膜之间的静摩擦系数。
[0062] 使分别切割为25mm(宽度）X IOOmm(长度)的粘合膜13的基材膜与支承构件14的两 膜样品重合，固定下侧的膜。接着，在层叠的膜上载置重量200g的重物作为载荷W，将上侧的 膜W200mm/min的速度拉伸，巧憶滑出时的力閒(g)，通过W下的式求出静摩擦系数(iid)。
[0063] yd=Fd/W
[0064] 作为支承构件14,例如可W适宜地使用在树脂膜基材涂布了粘胶粘剂的胶粘接 带。通过在脱模膜11的第2面Ilb的两端部分的规定位置贴附运样的胶粘接带，可W形成本 实施方式的晶片加工用带10。
[0065] 作为胶粘接带的基材树脂，只要满足上述线性膨胀系数的范围且能耐卷绕压力就 没有特别限定，但从耐热性、平滑性、和获得容易度方面考虑，优选从聚对苯二甲酸乙二醇 醋(PET)、聚丙締、和高密度聚乙締中选择。
[0066] 关于胶粘接带的粘合剂的组成和物性，没有特别限定，只要在晶片加工用带10的 卷绕工序和保管工序中不从脱模膜11剥离即可。
[0067] 另外，作为支承构件14,可使用着色后的支承构件。通过使用运样的着色支承构 件，在将晶片加工用带卷绕为卷筒状时，可W明确地识别带的种类。例如，通过根据晶片加 工用带的种类、厚度而使着色支承构件14的颜色不同，可W容易地识别带的种类、厚度，可 W抑制、防止人为的错误的发生。
[006引实施例
[0069] 接着，对本发明的实施例进行说明，但本发明不限于运些实施例。
[0070] (1)粘合膜的制作 [007。（粘合膜1A)
[0072] 在溶剂甲苯400g中适当调整滴入量而滴入丙締酸正下醋128g、丙締酸-2-乙基己 醋307g、甲基丙締酸甲醋67g、甲基丙締酸1.5g、作为聚合引发剂的过氧化苯甲酯的混合液， 调整反应溫度和反应时间，得到具有官能团的化合物(1)的溶液。
[0073] 接着在该聚合物溶液中，适当调整滴入量而加入作为具有放射线固化性碳-碳双 键和官能团的化合物（2)的、另行由甲基丙締酸和乙二醇合成的甲基丙締酸-2-径基乙醋 2.5g、作为阻聚剂的氨酿并调整反应溫度和反应时间，得到具有放射线固化性碳-碳双键的 化合物(A)的溶液。接着，在化合物(A)溶液中相对于化合物(A)溶液中的化合物(A)溶液中 的化合物(A)IOO质量份加入作为多异氯酸醋(B)的日本聚氨醋公司制：coronate L 1质量 份、作为光聚合引发剂的日本汽己嘉基公司制：Irgacure-184 0.5质量份、作为溶剂的乙酸 乙醋150质量份并混合，制备了放射线固化性的粘合剂组合物。
[0074] 接着，在厚度100皿的乙締-乙酸乙締醋共聚物基材膜W干燥膜厚为20皿的方式涂 敷制备的粘合剂层组合物，在110°c干燥3分钟，制作了粘合膜1A。
[0075] (2)脱模膜
[0076] 使用了 W下所示的脱模膜2A。
[0077] 脱模膜2A:厚度3祉m的脱模处理后的聚对苯二甲酸乙二醇醋膜
[0078] (3)胶粘剂层的形成
[0079] (胶粘剂层3A)
[0080] 在包含作为环氧树脂的甲酪线性酪醒型环氧树脂(环氧当量197,分子量1200,软 化点70°C)50质量份、作为硅烷偶联剂的丫-琉基丙基=甲氧基硅烷1.5质量份、丫-酷脈丙 基立乙氧基硅烷3质量份、平均粒径16nm的二氧化娃填料30质量份的组合物中加入环己酬 并揽拌混合，进一步使用珠磨机混炼90分钟。
[0081] 在其中加入丙締酸类树脂(质均分子量:80万，玻璃化转变溫度-17°C) 100质量份、 作为6官能丙締酸醋单体的二季戊四醇六丙締酸醋5质量份、作为固化剂的六亚甲基二异氯 酸醋的加合体0.5质量份、Curezol 2PZ(四国化成(株)制商品名，2-苯基咪挫）2.5质量份， 揽拌混合，真空脱气，得到胶粘剂。
[0082] 在脱模膜2A上涂布上述胶粘剂，在110°C加热干燥1分钟，形成膜厚为20皿的郎介段 状态(热固性树脂的固化中间状态)的涂膜，在脱模膜2A上形成胶粘剂层3A，冷藏保管。
[0083] (胶粘剂层3B)
[0084] 在脱模膜2A上涂布上述胶粘剂，在110°C加热干燥1分钟，形成膜厚为60皿的郎介段 状态(热固性树脂的固化中间状态)的涂膜，在脱模膜2A上形成胶粘剂层3B，冷藏保管。
[0085] (胶粘剂层3〇
[0086] 在脱模膜2A上涂布上述胶粘剂，在110°C加热干燥1分钟，形成膜厚为120WI1的郎介 段状态(热固性树脂的固化中间状态)的涂膜，在脱模膜2A上形成胶粘剂层3C，冷藏保管。
[0087] (4)支承构件的制作 [008引（支承构件4A)
[0089] 将丙締酸类树脂(质均分子量:60万，玻璃化转变溫度-20°C)100质量份、作为固化 剂的多异氯酸醋化合物（日本聚氨醋(株)制，商品名：coronate UlO质量份混合而得到粘 合剂组合物。
[0090] 在厚度30WI1的聚四氣乙締膜涂敷上述粘合剂组合物，使得干燥膜厚为扣m，在110 °C干燥3分钟，将得到的胶粘接带切断为宽度25mm，制作了支承构件4A。
[0091] (支承构件4B)
[0092] 在厚度40WI1的低密度聚乙締膜涂敷上述粘合剂组合物，使得干燥膜厚为32WH，在 110°C干燥3分钟，将得到的胶粘接带切断为宽度25mm，制作了支承构件4B。
[0093] (支承构件4C)
[0094] 在厚度40WI1的低密度聚乙締膜涂敷上述粘合剂组合物，使得干燥膜厚为20WH，在 110°C干燥3分钟，将得到的胶粘接带切断为宽度25mm，制作了支承构件4C。
[00M](支承构件4D)
[0096] 在厚度IOOwii的聚对苯二甲酸乙二醇醋膜涂敷上述粘合剂组合物，使得干燥膜厚 为45曲!，在110°C干燥3分钟，将得到的胶粘接带切断为宽度25mm，制作了支承构件4D。
[0097] (实施例1)
[0098] 使冷藏保管后的形成有胶粘剂层3A的脱模膜2A恢复至常溫，对于胶粘剂层，W向 脱模膜的切入深度为lOwnW下的方式调整而进行了直径220mm的圆形预切割加工。之后，除 去胶粘剂层的不需要部分，W使粘合膜IA的粘合剂层与胶粘剂层接触的方式，在室溫层压 脱模膜2A。然后，对于粘合膜1A，W向脱模膜的切入深度为10皿W下的方式调节而W与胶粘 剂层同屯、圆状进行了直径290mm的圆形预切割加工。接着，在脱模膜2A的与设置有胶粘剂层 和粘合膜的第1面相反的第2面、且在脱模膜2A的短边方向一端部贴合支承构件4A，制作了 具有图1所示