基板匣的制作方法

文档序号:4356199阅读:241来源:国知局
专利名称:基板匣的制作方法
技术领域
本发明是有关于一种卡匣的结构,且特别是有关于一种基板匣(substrate cassette)的结构。
背景技术
随着现代视讯技术的进步,各式显示器已被大量地使用于手机、笔记型电脑、数码相机及个人数字助理等消费性电子产品的显示萤幕上。在这些显示器中,由于液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)及有机电激发光显示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)具有重量轻、体积小及耗电量低等优点,使得其成为市场上的主流。
无论液晶显示器或是有机电激发光显示器,其前期制作方式均是利用半导体制程在基板上形成像素单元。随着元件的制作朝着高密度设计发展,定义在基板上的元件尺寸持续缩小,而使相关的电路设计更为繁复。连带的,也导致相关的显示器制程,需要进行相当多的步骤,才能在玻璃基板上制作出所需的像素单元。是以,对一特定批次的基板来说,由投片开始至验证出货之间,会在多数制程机台间往返传送并进行所需的制程。为了避免这些基板在反复的传递过程间发生损坏或沾惹灰尘,操作人员会利用机器传送手臂将基板储放于基板匣(substrate cassette)中,再将基板匣搬动至下一个作业机台以进行一连串的制程。
图1为现有的一种基板匣的立体示意图。请参考图1,现有的基板匣100是由多数盖板110组合而成的盒体结构,以适于放置多数基板50。基板匣100具有一开口120,而开口120是同时作为这些基板50的载入及载出口。当欲自基板匣100内取用基板50时,可利用传送手臂(未绘示)将基板50经由开口120取出,以送至特定的机台作业;反之,基板50可经由开口120而传送至基板匣100内部储放。
承接上述,由于基板匣100只具有单一开口120可供基板50载入及载出,如此基板匣100的配设位置须使开口120面向传送手臂,因而增加设计各机台相对位置的困难度。此外,只具有单一开口120的基板匣100每次只能配合单独一台传送手臂进行基板50的存取,因此存取基板50的速度有限。
图2为现有的一种基板匣运送系统的示意图。请参考图2,现有的基板匣运送系统200包括一传送手臂210、一第一输送机220、一第二输送机230、一检查机台240及如图1所示的基板匣100,其中第一输送机220、第二输送机230、检查机台240及基板匣100分别位于传送手臂210的四个侧边处。此外,传送手臂210的周围设有一围栏250,以避免作业人员误入传送手臂210的活动区域而发生意外伤害。
承接上述,由于第一输送机220、第二输送机230、检查机台240及基板匣100是位于传送手臂210的四周,因此基板匣运送系统200占用的空间无法降低,并且围栏250所围的区域范围亦无法减少。

发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提供一种基板匣,其具有多个方向的载入口及载出口。
本发明的另一目的是提供一种基板匣运送系统,以降低机台的配置面积。
为达上述或是其他目的,本发明提出一种基板匣,适于放置至少一基板。基板匣包括一上盖板、一下盖板、多数支柱及多数悬臂部。上盖板是相对于下盖板,而多数支柱是连接上盖板与下盖板以形成一容纳空间。多数悬臂部是固定在这些支柱上,且每一悬臂部由支柱往容纳空间的内部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上会固定有一个悬臂部,用以支撑基板。此外,基板匣具有多数基板载入及载出口,每一基板载入及载出口是位于相邻的支柱之间。
在本发明的一实施例中,前述的基板载入及载出口包括一载入口以及邻接载入口的一载出口,以使基板载入基板匣的方向垂直于基板载出基板匣的方向。
在本发明的一实施例中,前述的基板载入及载出口包括一载入口以及位于该载入口对向的一载出口,以使该基板载入该基板匣的方向平行于该基板载出该基板匣的方向。
在本发明的一实施例中,基板匣更包括至少一侧盖板,覆盖于载出口与载入口以外的基板载入及载出口。
在本发明的一实施例中,较接近支柱处的悬臂部厚度可大于其远离支柱处的厚度。
在本发明的一实施例中,前述的悬臂部的厚度可由支柱处往容纳空间内部逐渐变小。
在本发明的一实施例中,较接近支柱处的悬臂部宽度可大于其远离支柱处的宽度。
在本发明的一实施例中,前述的悬臂部的宽度可由支柱处往容纳空间内部逐渐变小。
在本发明的一实施例中,前述的悬臂部具有一仰角,而仰角的较佳范围是介于0.1度至5度之间。
在本发明的一实施例中,前述的悬臂部的断面形状可为柱状及板状其中之一。
在本发明的一实施例中,基板匣更包括多数接触垫,配置于每一悬臂部的表面上。
在本发明的一实施例中,前述的支柱与悬臂部可以是一体成形的结构。
在本发明的一实施例中,前述的各支柱与各悬臂部之间例如是以一螺丝及一卡固构件其中之一锁固。
在本发明的一实施例中,基板匣更包括多数定位块,位于支柱的底部。
在本发明的一实施例中,前述的各支柱与上盖板及下盖板之间例如是以一螺丝及一卡固构件其中之一锁固。
综上所述,本发明的基板匣与运送系统至少具有下列优点一、基板匣具有不同方向的载入口与载出口,因此在搭配传送手臂存取基板时较为方便。特别是在载入口本质上垂直载出口时,可配设两个传送手臂于载入口与载出口处,以加快存取基板的速度。
二、悬臂部可以承载不同尺寸的基板,而不需要做任何的切换。此外,悬臂部可以在不同的位置具有不同的厚度或宽度,以使能更平稳地承载基板。
三、由于基板匣运送系统中的基板匣是设置于第二输送机上,因此基板匣运送系统占用较小的面积范围,而围栏所围的区域范围较小,且围栏的使用成本也相对降低。。
综上所述,本发明的基板匣具有不同方向的载入口及载出口,因此在搭配传送手臂存取基板时较为方便。此外,当配设至少两个传送手臂于基板匣的载入口及载出口处,可以加快存取基板的速度。另外,在本发明的基板匣运送系统中,由于基板匣是配置于第二输送机上,因此基板匣运送系统所占用的面积范围较少(相对于现有技艺基板匣是配置于传送手臂旁)。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。


图1为现有的一种基板匣的立体示意图。
图2为现有的一种基板匣运送系统的示意图。
图3A为依照本发明的一实施例的基板匣的立体示意图。
图3B为图3A的基板匣的俯视示意图。
图3C为图3B的悬臂部及支柱的侧视放大图。
图4A为依照本发明的另一实施例的基板匣的立体示意图。
图4B为图4A的基板匣的俯视示意图。
图5为依照本发明一实施例的基板匣运送系统的示意图。
50基板 100基板匣110盖板 120开口200基板匣运送系统210传送手臂220第一输送机230第二输送机240检查机台 250围栏60基板 300、450基板匣310上盖板320下盖板330、330a、330a’支柱340、340a悬臂部350接触垫360定位块400基板匣运送系统410传送手臂410a第一侧边 410b第二侧边410c第三侧边 420第一输送机430第二输送机440检查机台460围栏 R容纳空间S基板载入及载出 Sin载入口Sout载出口 θ仰角具体实施方式
图3A为依照本发明的一实施例的基板匣的立体示意图,而图3B为图3A的基板匣的俯视示意图。请参考图3A及图3B,本发明的基板匣300包括一上盖板310、一下盖板320、多数支柱330及多数悬臂部340。上盖板310与下盖板320是相互面对,并经由这些支柱330的连接以形成一容纳空间R。悬臂部340是固定在对应的支柱330上,且每一悬臂部340会由支柱330往容纳空间R的内部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱330上会固定有一个悬臂部340,用以支撑基板60。此外,基板匣300具有多数基板载入及载出口S,每一基板载入及载出口S是位于相邻的支柱330之间。
在本实施例中,基板匣300是以四支柱330连接上盖板310及下盖板320以形成本质上为长方体的容纳空间R,并且容纳空间R可分成许多的水平面。在同一水平面上,分别会有四个悬臂部340用以承载基板60,其中基板60的尺寸可以不同。此外,基板匣300是具有四基板载入及载出口S。值得注意的是,本发明并不限定支柱330的数量。举例而言,上盖板及下盖板可择其一由少于及大于四支柱连接以形成其他形状的容纳空间,如此,基板匣即具有少于(或大于)四个基板载入及载出口。
请再参考图3A及图3B,这些基板载入及载出口S包括一载入口Sin及一载出口Sout。在本实施例中,载入口Sin是邻接载出口Sout,以使基板60载入基板匣300的方向本质上垂直于基板60载出基板匣300的方向。当然,本发明并不限定载入口Sin及载出口Sout的数量或其之间的相对位置。举例而言,载出口Sout可以位于载入口Sin的对向,或是这四个基板载入及载出口S包括两个对向的载入口Sin及两个对向的载出口Sout等等。更进一步而言,任一个基板载入及载出口S更可同时作为载入口Sin及载出口Sout。如此,本发明可任意从四个方向将基板60载入或载出基板匣300,而使基板匣300具有较高的便利性以搭配设置传送手臂(未绘示)。附带一提的是,尽管是用人工载入或载出基板60时,基板匣300仍较现有技艺具有较高的便利性。
在本实施例中,由于已经确定载入口Sin及载出口Sout的位置,本发明可进一步在载入口Sin及载出口Sout以外的基板载入及载出口S处设置侧盖板(未绘示),以降低灰尘进入基板匣300的机率。不过,侧盖板并非用以限制基板匣300的便利性。当侧盖板覆盖的基板载入及载出口S有需要作为载入口Sin或是载出口Sout时,仍可将侧盖板拆卸以配合需求。
此外,各支柱330与上盖板310及下盖板320之间例如是以螺丝或卡固构件锁固。类似地,各支柱330与各悬臂部340之间亦例如是以螺丝或卡固构件锁固,其中支柱330及悬臂部340的材质可以为金属或是塑胶材质。当然,本发明不限定上述构件间的组合方式及组成材质。举例而言,可利用射出成形技术直接将支柱330及悬臂部340做成一体成形的结构。
请再参考图3B,为使悬臂部340能更平稳地承载基板50,基板匣300可以更包括多数接触垫350以直接接触基板60。接触垫350的材质可以为金属或是塑胶材质,而以贴合、锁入或是挤入的方式设置于悬臂部340的表面上。此外,接触垫350可以配合基板60尺寸而设置在悬臂部340的不同位置,以使各种尺寸的基板均能受力平均。附带一提的是,为使基板匣300在安装定位时能更加精确并减少因对位误差造成的冲击,基板匣300更可包括多数定位块360设置于支柱330的底部。
图3C为图3B的悬臂部及支柱的侧视放大图。请参考图3B及图3C,由于悬臂部340在远离支柱330的部分容易因自身重量(甚至因基板60的重量)而下垂,使得基板60在承靠悬臂部340上时容易倾斜而位移。为避免上述情形,本发明可使较接近支柱330处的悬臂部340宽度大于悬臂部340远离支柱330处的宽度,同时可使较接近支柱330处的悬臂部340厚度大于悬臂部340远离支柱330处的厚度。如此,悬臂部340在远离支柱330的部分其自身重量较轻,故不容易产生下垂变形的情形。更进一步而言,悬臂部340的厚度可由支柱处330往容纳空间R内部逐渐变小,且悬臂部340的宽度可由支柱处330往容纳空间R内部逐渐变小。
承接上述,本发明更可使悬臂部340预先设定一仰角θ。当基板60承靠于悬臂部340上时,可作为悬臂部340下垂的缓冲,以使悬臂部340能刚好水平承载基板60。在本实施例中,仰角θ的较佳范围例如是介于0.1度至5度之间。此外,前述已经提及本发明并不限定支柱的数量及组成方式,以下将配合图示另举一实施例说明。
图4A为依照本发明的另一实施例的基板匣的立体示意图,而图4B为图4A的基板匣的俯视示意图。请参考图4A及图4B,本实施例的基板匣300a与上述实施例的基板匣300(如图3A所示)相似,其差别在于本实施例的基板匣300a是由三个支柱330a所构成。特别的是,由于其中之一的支柱330a’是面状结构,不但可以增加基板匣300a整体结构的强度,更可以充当侧盖板以避免灰尘。
附带一提的是,本实施例的各个悬臂部340a的形状可以不同,以使能配合支柱330a的设置并均匀地承载基板60。以下,将配合图示说明本发明的基板匣应用于运送系统中的方式。
图5为依照本发明一实施例的基板匣运送系统的示意图。请参考图5,本发明的基板匣运送系统400包括一传送手臂410、一第一输送机420、一第二输送机4 30、一检查机台440及一基板匣450,其中基板匣450可为前述中本发明所述的基板匣(如基板匣300、300a等)或其他具有本发明特征的基板匣。传送手臂410具有一第一侧边410a、一第二侧边410b及一第三侧边410c,其中第二侧边410b位于第一侧边410a的对向,且第三侧边410c邻接第一侧边410a与第二侧边410b。第一输送机420是配置于传送手臂410的第一侧边410a处,而第二输送机430是配置于机传送手臂410的第二侧边410b处,且检查机台440是配置于传送手臂410的第三侧边410c处。此外,基板匣450是配置于第二输送机430上。
由于基板匣450是具有多个方向的载入口与载出口,故基板匣450非限定只能设置于传送手臂410中与第三侧边410c对向的侧边旁。更进一步而言,基板匣450可以搭配整个基板匣运送系统400中基板的运送流向而设置于第二输送机430上。如此,基板匣运送系统400即可占用较小的面积范围(相较于如图2所示的基板匣运送系统200而言,可以省下约15.5%的面积范围),而使整个厂房的机台设置可以更为弹性灵活。
值得注意的是,基板匣450并不限定只能设置于第二输送机430上,其亦可以设置于第一输送机420或是检查机台440上。此外,本发明并不限定基板匣450的数量,其数量可以配合基板匣运送系统400中基板的运送量而有所增减。附带一提的是,检查机台440亦可以采用制程机台替换,端看基板匣运送系统400当时的设计规划。
承接上述,传送手臂410的周围可设有一围栏460,以避免作业人员误入传送手臂410的活动区域而发生意外伤害。由于本发明并未设置机台或基板匣于传送手臂410中与第三侧边410c对向的侧边旁,因此围栏460所围的区域范围较小,如此厂房空间的使用率即可提高,且围栏460的使用成本也相对降低。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何熟习此技艺者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视所附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求
1.一种基板匣,其特征在于其适于放置至少一基板,该基板匣包括一上盖板;一下盖板,相对于该上盖板;多数支柱,连接该上盖板与该下盖板以形成一容纳空间;以及多数悬臂部,固定在该些支柱上,且每一悬臂部由该支柱往该容纳空间的内部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上会固定有一个悬臂部,用以支撑该基板,其中,该基板匣具有多数基板载入及载出口,每一基板载入及载出口是位于相邻的该些支柱之间。
2.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于该基板载入及载出口包括一载入口以及邻接该载入口的一载出口,以使该基板载入该基板匣的方向垂直于该基板载出该基板匣的方向。
3.根据权利要求2所述的基板匣,其特征在于其更包括至少一侧盖板,覆盖于该载出口与该载入口以外的该基板载入及载出口。
4.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中较接近该支柱处的该悬臂部厚度大于其远离该支柱处的厚度。
5.根据权利要求4所述的多方向卡匣,其特征在于其中该悬臂部的厚度由该支柱处往该容纳空间内部逐渐变小。
6.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中较接近该支柱处的该悬臂部宽度会大于其远离该支柱处的宽度。
7.根据权利要求6所述的基板匣,其特征在于其中该悬臂部的宽度由该支柱处往该容纳空间内部逐渐变小。
8.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中每一悬臂部具有一仰角,而该仰角介于0.1度至5度之间。
9.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其更包括多数接触垫,配置于每一悬臂部的表面上。
10.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中该支柱与该悬臂部是一体成形的结构。
11.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中各支柱与各悬臂部之间是以一螺丝及一卡固构件其中之一锁固。
12.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其更包括多数定位块,位于该支柱的底部。
13.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中各支柱与该上盖板及该下盖板之间是以一螺丝及一卡固构件其中之一锁固。
14.根据权利要求1所述的基板匣,其特征在于其中该基板载入及载出口包括一载入口以及位于该载入口对向的一载出口,以使该基板载入该基板匣的方向平行于该基板载出该基板匣的方向。
全文摘要
一种基板匣,适于放置至少一基板。基板匣包括一上盖板、一下盖板、多数支柱及多数悬臂部。上盖板是相对于下盖板,而多数支柱是连接上盖板与下盖板以形成一容纳空间。多数悬臂部是固定在这些支柱上,且每一悬臂部由支柱往容纳空间的内部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上会固定有一个悬臂部,用以支撑基板。基板匣具有多数基板载入及载出口,每一基板载入及载出口是位于相邻的支柱之间。
文档编号B65D85/30GK101093809SQ20061009005
公开日2007年12月26日 申请日期2006年6月22日 优先权日2006年6月22日
发明者高宪章, 李智强 申请人:中华映管股份有限公司
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