基板收纳装置的制作方法

专利名称：基板收纳装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板收纳装置，特别涉及一种用于大型基板的搬 运的基板收纳装置。
背景技术：
以往，有如日本实用新型登录第3105536号公报(图1)所记载的 基板收纳装置。该基板收纳装置通过将由框体围成的基板的收容室在 平面方向上并排多个并配设成格子状，能够同时搬运多个基板。但是，上述基板收纳装置在搬运小型基板时可以适用，但要搬运 大型基板等时，不得不使各收容室的面积加大。因此，收纳装置整体 的面积变大，但是，由于在基板搬运时必须将收纳装置搭载在卡车等 的承载台上进行搬运，所以必须将收纳装置的面积控制在某种程度的 范围之内，这样，收容室的个数受到限制，结果，不能搬运大量的基发明内容本发明基于上述情况而完成，其目的在于提供一种能够搬运大量 大型基板的基板收纳装置。用于解决上述课题的手段是以下的发明。(1) 一种基板收纳装置，其特征在于，包括将基板包含在内部 的收容体；和刚体板，该刚体板以将多个上述收容体叠层在该刚体板 的上面的状态对多个上述收容体进行支撑，上述收容体包括保持上 述基板的缓冲材料部；和配置在上述缓冲材料部的周边，承受上述收 容体叠层时的载荷的载荷承受部。(2) 如上述(1)所述的基板收纳装置，其特征在于，上述载荷 承受部被配置在上述缓冲材料部的整个周边。(3) 如上述(1)或(2)所述的基板收纳装置，其特征在于，上 述收容体的端部通过支撑件安装在上述刚体板上，上述收容体被安装成在将多个上述收容体上下叠层的叠层状态、和通过将上侧的上述收 容体展开而能够相对于下侧的上述收容体取出和放入上述基板的展开 状态之间能够转变。(4) 如上述(1)至(3)中任一项所述的基板收纳装置，其特 征在于，上述支撑件由装订件构成。(5) 如上述(1)至(4)中任一项所述的基板收纳装置，其特征在于，上述缓冲材料部具有准导电性。(6) 如上述(1)至(5)中任一项所述的基板收纳装置，其特征 在于，在上述缓冲材料部的与上述基板接触的一侧配设有用于保护基 板的基板保护层。(7) 如上述(6)所述的基板收纳装置，其特征在于，上述基板 保护层由纤维素形成。发明效果根据上述(1)所述的基板收纳装置，上下进行叠层的收容体的 载荷由载荷承受部支撑，并能够由最下层的刚体板承受收容体的全部 载荷，因此，载荷不会作用于被包含在收容体内部的基板。由此，能 够将收容有基板的大量收容体进行叠层并同时进行搬运，因此，能够 搬运大量基板。根据上述(2)所述的基板收纳装置，载荷承受部将由缓冲材料部 保持的基板的整个周边包围，因此，基板收纳装置能够更可靠地保护 基板。根据上述(3)所述的基板收纳装置，收容体由支撑件保持成能够 在叠层状态和展开状态之间转变，因此，在展开状态下，相对于收容 体取出和放入基板变得容易，并且，在收容基板后能够转变到叠层状 态，因此能够提高操作效率。根据上述(4)所述的基板收纳装置，能够通过简单的结构将收容 体安装在刚体板上。根据上述(5)所述的基板收纳装置，缓冲材料部具有准导电性， 因此能够防止基板带电。由此，能够防止由于静电等而使灰尘附着到 基板上，并且，能够防止对基板和基板的安装部件产生电的影响。5根据上述(6)所述的基板收纳装置，基板以与基板保护层接触的 状态被收容，因此，能够防止搬运时的基板的损伤。根据上述(7)所述的基板收纳装置，基板保护层由纤维素形成， 因此能够更可靠地保护基板。另外，基板保护层具有耐久性，能够经 得起重复使用。进一步，纤维素中几乎不含有通常的树脂类材料中所 含有的增塑剂等有机物，即使与基板直接接触，也能够防止这些有机 物附着到基板上。


图1为实施方式1的基板收纳装置的叠层状态的立体图。图2为基板收纳装置的展开状态的立体图。图3为基板收纳装置的截面图。图4为收容体的截面图。图5为实施方式2的收容体的截面图。图6为实施方式3的收容体的截面图。符号说明10 基板收纳装置15 刚体板20 收容体21 缓冲材料部22 载荷承受部23 基板保护层30环状支撑件(支撑件) S 基板具体实施方式
<实施方式1>根据图1至图4对本发明的实施方式1进行说明。如图1所示，本实施方式的基板收纳装置10通过在刚体板15的上面叠层多个收容体20而形成。刚体板15通过在上下相对的两块金属板之间并列设置多个梁而构 成，具有充分的刚性。基板收纳装置10构成为通过支撑该刚体板15而进行基板收纳装置10的搬运。例如，通过在贯穿刚体板15侧面的 空洞中插入叉车的叉子，能够容易地进行基板收纳装置10的搬运。另外，在本实施方式中，刚体板15由不锈钢形成，具有充分的刚 性和防锈性。收容体20包括缓冲材料部21和载荷承受部22。缓冲材料部21由添加有碳的聚丙烯形成为薄板状，具有弹性和准 导电性(1011 1012Q左右的电阻)。缓冲材料部21在其中央部分载 置基板S，由此，弹性地支撑基板S，防止冲击等作用于基板S，并且， 防止基板S带电。进一步，在缓冲材料部21的上面配设有纤维素制的 基板保护层23，缓冲材料部21使基板S与该基板保护层23的上面接 触，由此防止在基板S上附着树脂成分和产生损伤等。载荷承受部22是铝制的，在缓冲材料部21的背面侧的外周边被 形成为框状。S卩，载荷承受部22沿着缓冲材料部21的背面侧的整个 周边被配置成框状。并且，由该载荷承受部22对收容体20整体进行 支撑。另外，收容体20以该载荷承受部22与下侧的收容体20的上面接 触的方式进行叠层。此时，载荷承受部22成为被载置在下侧的收容体 20的缓冲材料部21的上面的外周边的状态。由此，载荷承受部22将 被载置在下侧的收容体20中的基板S的周围包围，防止基板S与外部 的其他部件等接触，以保护基板S。本实施方式的收容体20通过环状支撑件30安装在刚体板15上。通过使棒状部件弯曲成大致U字型，并将其顶端(U字的开口侧 的顶端)部分插入刚体板15中进行固定，作为整体形成为环状，从而 形成环状支撑件30。 g卩，环状支撑件30由能够装订多个收容体20的 环状的装订件构成。环装支撑件30插通在收容体20的短边侧的外边缘部穿设的贯穿 孔24。由此，收容体20能够沿着环状支撑件30移动。在此，如图1所示，将收容体20重叠在下侧的收容体20的上面 的状态称为叠层状态。另一方面，将收容体20与下侧的收容体20分离并向图2的左上方展开的状态称为展开状态。S卩，在叠层状态下， 由上下的收容体20将基板S包含在内部，由此能够收容基板S。另一方面，在展开状态下，下侧的收容体20的缓冲部件21的上面露出， 能够取出和放入基板S。当收容体20的保持结构形成为将棒状部件插通贯穿孔24的结构 时，在各个保持部位穿设有贯穿孔24的部件(收容体20)只能够沿着 棒状部件(环状支撑件30)的延伸方向(图3的上下方向)和以棒状 部件为轴的旋转方向进行移动。在本实施方式中，由于将这样的棒状 部件(环状支撑件30)平行配设有多个，所以收容体20在以环状支撑 件30为轴的旋转方向的移动被限制，只能在环状支撑件30的延伸方 向移动。因此，当使本实施方式的收容体20从展开状态转变到叠层状 态时，收容体20成为在平面方向上的移动受到限制的状态。因此，能 够更可靠地进行成为叠层状态时的收容体20的定位。另外，在本实施方式中，环状支撑件30配设在4个部位，由多个 环状支撑件30来保持收容体20，由此，使收容体20的保持力增强。对由上述那样形成的基板收纳装置IO进行的基板S的收纳和搬运 方法进行说明。首先，将基板S载置在收容体20的上面(缓冲材料部21的上面) 的中央部分(参照图2)。此时，将基板S的安装面朝向下侧(缓冲材 料部21侧)进行载置，由于在缓冲材料部21的上面设置有基板保护 层23、并使安装面与该基板保护层23接触，所以，基板S(的安装面) 不会产生损伤，另外，通过将安装面向下进行载置，能够防止落下的 灰尘等附着在安装面上。然后，使处于展开状态的其他收容体20重合在载置有基板S的收 容体20的上侧，形成叠层状态。于是，重合在上侧上的收容体20的载荷承受部22将基板S的周 围包围，并且，上侧的缓冲材料部21将基板S的上方包围，基板S整 体被上下的收容体20包围在内部，成为与外部隔离的状态。在此，在本实施方式的基板收纳装置10中，当已将收容体20叠 层时，载荷承受部22使收容体20整体的载荷作用在下侧的收容体20 的外周边。于是，下侧的收容体20通过载荷承受部22承受由上侧的收容体20作用的载荷和自重，并且，(下侧的收容体20的)载荷承受部22进一步使这些载荷作用在下侧的收容体20的外周边。从而，最 终由最下侧的刚体板15承受收容体20整体的载荷。因此，各个收容 体20的载置基板S的缓冲材料部21的中央部分，不会被作用基板S 的重量以外的载荷。由此，能够将多个收容体20重叠。并且，当在全部的收容体20中都收容有基板S时，通过利用叉车 等支撑刚体板15而对基板收纳装置IO进行搬运。这样，根据本实施方式的基板收纳装置10，不会对被收容在收容 体20中的基板S作用来自其他部件的载荷，因此，能够形成叠层多个 收容体20的结构，从而能够搬运大量的基板S。在这种情况下，尤其 当收容大型的基板S时，基板S本身的重量增大，但是即使在这样的 情况下，因为收容体20整体的载荷通过载荷承受部22传递到收容体 20的外周边，最终由刚体板15承受，所以不会对基板S作用过大的载 荷，即使在收容大型的基板S时，也能够进行大量的基板S的搬运。进一步，在本实施方式中，上侧的载荷承受部22将被保持在下侧 的收容体20中的基板S的整个周围包围，由上下的收容体20将基板S 包围在内部，因此，能够更可靠地保护基板S。另外，收容体20由多个环状支撑件30保持，即使在从展开状态 向叠层状态转变时也被定位，因此，基板S的取出和放入操作变得容 易，能够提高操作效率。进一步，由于缓冲材料部21具有准导电性，所以能够防止基板S 带电，从而能够防止由于静电等使灰尘附着到基板S上，并且能够防 止对基板S和基板S的安装部件产生电的影响。另外，在本实施方式中，由于基板S (的安装面)与纤维素制的基 板保护层23接触地被收容，所以能够防止搬运时的基板S的损伤等。另外，由于这样的基板保护层23由纤维素形成，所以将更可靠地 保护基板S，并且基板保护层23具有耐久性，能够经得起反复使用。 进一步，在纤维素中几乎不含有通常的树脂类材料中所含有的增塑剂 等有机物，即使采用如本实施方式那样使纤维素制的基板保护层23直 接与基板S接触的结构，也能够防止那样的有机物附着到基板S上。<实施方式2>下面，根据图5对本发明的实施方式2进行说明。 本实施方式有关收容体20的结构，在缓冲材料部21被固着在载荷承受部22的下面这点上与上述实施方式1不同。对于其他的相同的结构，标注相同的符号，省略重复的说明。本实施方式的缓冲材料部21具有在载置有基板S时能够弯曲的程度的弹性。由此，能够更加缓和对基板S的冲击，因此，基板收纳装置10能 够更可靠地保护基板S。<实施方式3>本发明的实施方式3如图6所示。本实施方式在使收容体20的缓冲材料部21与载荷承受部22形成 为一体这点上与上述实施方式l、 2不同。对于其他的相同的结构，标 注相同的符号，省略重复的说明。通过利用这样的收容体20，基板收纳装置10能够减少部件数量， 经济性优异。<其它实施方式>本发明并不限于根据上述记载和附图进行说明的实施方式，例如 下述的实施方式也包含在本发明的技术范围内，进一步，除了下述的 实施方式以外，在不脱离本发明宗旨的范围内可以进行各种变更而加 以实施。(1) 在上述实施方式中，缓冲材料部21是聚丙烯制的，但是， 并不限于此，也可以是聚乙烯等具有缓冲性的材料。(2) 在上述实施方式中，以包围基板S整个周围的方式配设载荷 承受部22，但是，并不限于此，例如，可以将载荷承受部22配设在相 对的两边上，此时，可以配置在长边侧，也可以配置在短边侧。(3) 在上述实施方式中，利用环状支撑件30保持收容体20的短 边侧，但是，并不限于此，也可以是在长边侧进行保持的结构。另外，环状支撑件30在4个部位进行保持，但是，并不限于此，也可以在2个部位、3个部位或者5个以上的部位进行保持。另外，在上述实施方式中，环状支撑件30等间隔地配设，但是， 并不限于此，例如可以靠近中央侧配设，也可以向外侧分开配设。(4) 在上述实施方式中，基板保护层23使用纤维素，但是，并 不限于此，例如也可以使用纸浆纸等。另外，在上述实施方式中，由 于基板保护层23使用具有耐久性的纤维素，所以可以重复使用。但是 例如也可以使用在每次搬运基板S时进行更换的所谓的一次性物品。 此时，基板保护层23可以使用例如纸等。(5) 刚体板15只要是具有刚性的板状部件，并不限于上述实施 方式的刚体板，例如可以由壁厚的金属板构成。产业上的可利用性本发明涉及能够搬运大量大型基板的基板收纳装置，具有产业上 利用的可能性。
权利要求
1.一种基板收纳装置，其特征在于，包括将基板包含在内部的收容体；和刚体板，该刚体板以将多个所述收容体叠层在该刚体板的上面的状态对多个所述收容体进行支撑，所述收容体包括保持所述基板的缓冲材料部；和配置在所述缓冲材料部的周边，承受所述收容体叠层时的载荷的载荷承受部。
2. 如权利要求1所述的基板收纳装置，其特征在于 所述载荷承受部被配置在所述缓冲材料部的整个周边。
3. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置，其特征在于 所述收容体的端部通过支撑件安装在所述刚体板上， 所述收容体被安装成在将多个所述收容体上下叠层的叠层状态、和通过将上侧的所述收容体展开而能够相对于下侧的所述收容体取出 和放入所述基板的展开状态之间能够转变。
4. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置，其特征在于 所述支撑件由环状的装订件构成。
5. 如权利要求3所述的基板收纳装置，其特征在于 所述支撑件由环状的装订件构成。
6. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置，其特征在于 所述缓冲材料部具有准导电性。
7. 如权利要求3所述的基板收纳装置，其特征在于 所述缓冲材料部具有准导电性。
8. 如权利要求4所述的基板收纳装置，其特征在于所述缓冲材料部具有准导电性。
9. 如权利要求5所述的基板收纳装置，其特征在于 所述缓冲材料部具有准导电性。
10. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置，其特征在于 在所述缓冲材料部的与所述基板接触的一侧配设有用于保护基板的基板保护层。
11. 如权利要求3所述的基板收纳装置，其特征在于 在所述缓冲材料部的与所述基板接触的一侧配设有用于保护基板的基板保护层。
12. 如权利要求4所述的基板收纳装置，其特征在于 在所述缓冲材料部的与所述基板接触的一侧配设有用于保护基板的基板保护层。
13. 如权利要求5所述的基板收纳装置，其特征在于 在所述缓冲材料部的与所述基板接触的一侧配设有用于保护基板的基板保护层。
14. 如权利要求10所述的基板收纳装置，其特征在于 所述基板保护层由纤维素形成。
15. 如权利要求ll所述的基板收纳装置，其特征在于 所述基板保护层由纤维素形成。
16. 如权利要求12所述的基板收纳装置，其特征在于 所述基板保护层由纤维素形成。
17. 如权利要求13所述的基板收纳装置，其特征在于 所述基板保护层由纤维素形成。
全文摘要
本发明提供一种基板收纳装置。该基板收纳装置(10)通过在刚体板(15)的上面叠层多个收容体(20)而形成。收容体(20)包括具有弹性和准导电性的缓冲材料部(21)、和由框状体构成的载荷承受部(22)，在缓冲材料部(21)的上面设置有纤维素制的基板保护层(23)。基板收纳装置(10)通过将载置有基板(S)的收容体(20)叠层而将基板(S)包含在内部，并且，当已将收容体(20)叠层时，载荷承受部(22)使收容体(20)整体的载荷作用在下侧的收容体(20)的外周边，载荷不会作用于载置有基板(S)的中央部分。由此，即使将多个收容体(20)重叠，也不会对被包含在各收容体(20)中的基板(S)产生影响，因此，能够形成将大量的收容体(20)叠层的结构，从而能够同时搬运大量的基板(S)。
文档编号B65D85/86GK101263067SQ200680033729
公开日2008年9月10日 申请日期2006年4月24日 优先权日2005年10月7日
发明者吉泽武德 申请人:夏普株式会社