基板输送装置的制作方法

文档序号:4192183阅读:162来源:国知局
专利名称:基板输送装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种基板输送装置,尤其涉及一种在制造平板显示器基板的 各种工序的输送线中,可连续输入及输出基板的基板输送装置。
背景技术
通常,用于平板显示器的玻璃基板(以下称"基板")是通过蒸镀、蚀 刻、剥离、清洗、漂洗等一系列工序来制造。所述各制造工序中均设有输送 装置,其沿着输送线依次输送多个基板,并进行相应的作业。
所述输送装置是常用滚筒式输送机结构,其在输送线上配置相隔一定距 离的多个输送辊,而基板能够置放在所述输送辊的上面,并在此状态下可移 动。
而且,所述输送装置与缓冲单元连接,所述缓冲装置可对应于输送线投 入及输出基板。
所述缓冲单元,分别位于输送线的投入及输出位置上,而且通过上/下操 作,将基板装载于输送辊上,或从输送辊卸载,并藉此缓冲方式进行基板的 投入及输出。
所述缓冲单元主要有两种类型的缓冲结构。所述两种结构中,其中一种 缓冲单元的结构如下,即,在输送辊之间设置与基板底面接触而用于支撑基
板的多个提升销(lift-pin),各提升销则接收驱动源所传递的动力而进行 上/下移动动作。
而另一种缓冲单元则使用众所周知的机械臂,所述机械臂设置在输送辊 之间,并在此状态下,可以进行用于缓冲基板的上/下移动动作。
但是,具有上述结构的现有缓冲单元,由于其提升销或机械臂设置在所 述各输送装置的输送辊之间,并在其状态下进行上/下移动动作,因此这种结 构,例如,在基板未脱离输送线的投入或输出位置时,受到该基板的干扰, 而无法连续进行为投入或输出下一个基板的上/下移动动作,从而在基板的缓冲作业中需要等待过多的时间。
特别是,对于这种输送线进行投入或输出基板的缓冲工序中需要等待过 多的时间,这是降低生产效率和作业效率的主要因素。

发明内容
本发明鉴于上述问题而提出的,其目的在于提供一种易于进行基板的缓 冲作业,尤其是在进行缓冲作业时可连续投入和输出基板,从而将等待时间 大幅縮短的基板输送装置。
为实现上述目的,本发明提供一种基板输送装置,其包括 基板输送单元,其配置有隔开设置的多个输送辊,并且在所述多个输送 辊的上面以水平或倾斜状态输送基板;
缓冲臂,其可放置基板,并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从
所述输送辊上承接基板;
支架,其具备使所述缓冲臂上/下移动的驱动单元,并且固定所述缓冲臂, 使所述缓冲臂可在能够移交或承接基板的状态下移动;
状态变换单元,其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架,并且产生旋转 力,使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。
本发明基板输送装置,可连续进行向输送线移交基板或与此相反从输送 线承接基板的缓冲臂的上/下移动动作,因此,不仅大幅縮短了基板的移交或 承接操作后产生的等待时间,而且可以提高基板输送效率从而能够提高工作 效率和生产效率。


图1是本发明实施例的基板输送装置整体结构的截面图。
图2是用于说明图l中缓冲臂的上/下移动的示意图。
图3是用于说明图1中支架结构的示意图。
图4及图5是用于说明本发明实施例的基板输送装置的状态变换单元结构 的示意图。
图6及图7是本发明实施例的基板输送装置的基板移交作业中,缓冲臂进 行向下操作前状态的示意图。图8及图9是本发明实施例的基板输送装置的基板移交作业中,缓冲臂进 行向下操作后状态的示意图。
图10、图11及图12是本发明实施例的基板输送装置移交基板后,缓冲臂
进行向上操作状态的示意图。
图13是用于说明图5中状态变换单元的其他操作实施例的示意图。 图14是用于说明本发明另一实施例的基板输送装置结构的示意图。
具体实施例方式
下面,参照

本发明的优选实施例,在所属领域的技术人员能够 实施的范围内进行说明。
然而,本发明可具有各种不同的实施方式而并不局限于在此示出的实施
图l是本发明实施例的基板输送装置整体结构的剖视图,附图符号2表示 缓冲臂,而所述缓冲臂2位于输送装置F上方,所述输送装置F构成用于输送基 板G的输送线。
所述输送装置F,采用了一般结构,即,由多个输送辊R构成,而且,当 所述多个输送辊R接收从电机R1传递的旋转力而旋转时,可使基板G在水平或 倾斜放置于所述输送装置F上面的状态下移动。
而且,所述输送装置F放置在一般支撑架上,例如,如图l所示的支撑架 Fl上,并与地面相隔一定距离。
如图1所示,所述缓冲臂2,向所述输送辊R上面移交基板G,或与此相反 从所述输送辊R承接基板G,从而起到一种搬运台的作用,所述缓冲臂2由多个 臂组成,而中间隔着所述输送辊R,所述多个臂相互成组。
如图2所示,所述各缓冲臂2,当经过相隔一定距离排列着的输送辊R间时, 能够进行移交或承接基板G的上/下移动动作,在此过程中,可以与所述各输 送辊R不接触并放置基板G。
所述各缓冲臂2包括多个支撑销P,而所述多个支撑销P设置在相隔一定距 离的至少两个位置上,并且以如图2所示的竖立状态分别固定于所述缓冲臂2 上。
所述各支撑销P的顶端与基板G的底面接触,可以大致以水平状态放置基 板G。
而且,所述多个支撑销P被排列在所述缓冲臂2上,且其能够与基板G的底 面接触而抑制基板G的下垂。
如图1所示,所述缓冲臂2分别安装在两个支架4上,并可沿着所述支架4 进行上/下移动而进行基板G的移交或承接。所述上/下移动,可以通过一个电 机组的驱动而同时完成,也可以通过常用的动力传递方式来分别完成。
而且,虽然附图中未示出,但是,当所述缓冲臂2进行上/下移动时,为 了避免所述支撑架F1与所述各输送辊R之间产生干扰,切除了与此相对应的部 分支撑架。
所述支架4,包括上/下移动驱动单元6,其用于产生使所述缓冲臂2上/下 移动的动力。而作为一个例子,如图3示,所述支架4中间隔着所述输送装置F, 并分别以竖立状态设置。
所述上/下移动驱动单元6产生旋转动力或直线动力,以使所述缓冲臂2能
够进行上/下移动。
为此,本实施例中,如图3所示,在所述支架4内侧,垂直方向竖立的滚 珠螺杆S1的一端与电机M1轴相连接,并且输送头S2以螺合方式套接于所述滚 珠螺杆S1,当滚珠螺杆S1正向、反向旋转时,所述输送头S2通过螺纹上下移 动,从而使所述缓冲臂2进行上/下移动。
如图4所示,所述支架4的内侧设有通道L,以便引导所述输送头S2,使其 沿着所述通道L进行上/下移动。
以上说明了所述上/下移动驱动单元6使用了产生旋转力的电机Ml和滚珠 螺杆S1的例子,但本发明并不局限于此。
例如,虽然附图中未示出,也可以采用所述输送头S2与气缸的活塞杆相 连,并通过活塞杆的直线往返运动来进行上/下移动的结构。
另外,所述缓冲臂2,通过状态变换单元8改变其状态,并且固定在所述 支架4上。
为此,本实施例中,如图3及图4所示,所述输送头S2和所述缓冲臂2的连 接部是以铰接方式连接,并在该铰接部H中设置产生旋转力的驱动源M2,所述 缓冲臂2接收所述驱动源M2传递的旋转力,而以铰接部H为基准旋转。
所述驱动源M2可使用一般的步进电机、齿轮电机、摆动气缸等,并在铰
接部H上连接所述电机或气缸,以便通过铰接部H向所述缓冲臂2传递旋转力, 从而使所述缓冲臂2以铰接部H为基准,向垂直或水平方向改变其固定状态(如 图5所示)。
所述状态变换单元8,在移交或承接基板G时,按下述方式改变所述缓冲 臂2的固定状态,以便可以连续投入和输出基板G。
首先,如图6及图7所示,在投入所述基板G时,水平固定所述缓冲臂2。 这种水平状态可以使所述缓冲臂2装载基板并沿着所述支架4向下移动时,如 图8及图9所示,向所述输送辊R上面移交并投入放在所述缓冲臂上的基板G。
投入所述基板G后,如图10所示,以铰接部H为基准进行旋转,将所述缓 冲臂2改变为竖直状态。由于这种竖直状态,在已移交的基板G未离开移交位 置的状态下,如图11所示,所述缓冲臂可以进行向上移动,因此,如图12所 示,所述缓冲臂2可以接收另一基板G1,并可以连续进行为投入所述基板G1的 一系列上/下移动动作。
另外,虽然附图中未示出,在输出基板G时,所述缓冲臂2以水平状态固 定在所述输送辊R的下方。这种状态可以使所述缓冲臂2进行向上移动时,能 够承接置放于所述输送辊R上面的基板G,以便顺利输出所述基板G。
输出所述基板G后,使所述缓冲臂2以铰接部H为基准进行旋转,而将其改 变为竖立状态。由于这种竖直状态,当其他基板G进入所述输送辊R的基板G承 接位置上时,所述缓冲臂2也能够向下移动,从而可以连续进行为承接及输出 基板G的一系列上/下移动动作。
因此,如上所述,在进行投入或输出基板G的作业时,通过所述状态变换 单元8,所述缓冲臂2变为水平或竖直状态,并可以连续进行上/下移动动作, 从而可以连续投入或输出基板G。
另外,上述实施例说明及图示了所述缓冲臂2的状态经所述状态变换单元 8从水平变为垂直状态时,如图5所示,以铰接部H为基准,沿下侧旋转半径进 行旋转而变为垂直状态的例子,但是本发明并不局限于此。
例如,如图13所示,所述缓冲臂2也可以以铰接部H为基准,沿上侧旋转 半径,按附图中所示的方向旋转而变为竖直状态。为改变缓冲臂2状态的旋转, 只要是根据作业情况可以连续进行上/下移动动作的均可采用。
如图14所示,上述本发明实施例的基板输送装置可进一步包括间距调整
单元IO。
所述间距调整单元IO,可调整中间隔着所述输送装置F的两个支架4的间距。
为此,本实施例中,如图14所示,用于调整间距、两侧形成有右螺丝T1 和左螺丝T2的螺杆12,其与所述两个支架4相螺合,并通过螺杆12的正向、反 向旋转来调整所述两个支架4的间距。
用于调整间距的所述螺杆12,其一端与产生旋转力的电机14轴相连接, 并且接收从所述电机14传递的动力,而进行正向、反向旋转。
另外,所述两个支架4,可设置在直线滑动导轨等常用的导轨16上,以便 在调整间距时,使其在地面上容易移动。
具有上述结构的间距调整单元IO,在进行移交和承接基板G的作业时,可 根据基板G大小和形状来调整所述两个支架4的间距而使其变窄或变宽,从而 易于将所述支架4上的缓冲臂2的放置位置变为水平方向。
上面说明及图示了通过具有右螺丝T1和左螺丝T2的用于调整间距的螺杆 12来调整所述两个支架4的间距的例子,但是本发明并不局限于此。
例如,虽然附图中未示出,但是,可在所述各支架4上连接气缸的活塞杆, 并通过活塞杆的直线往返运动来调整所述两个支架4的间距而使其变窄或变 宽。
如上所述,根据本发明实施例的基板输送装置,可连续进行向输送线移 交基板或与此相反从输送线承接基板的缓冲臂的上/下移动动作,因此,不仅 大幅縮短了基板的移交或承接操作后产生的等待时间,而且可以提高基板输 送效率从而能够提高工作效率和生产效率。
权利要求
1.一种基板输送装置,其特征在于包括基板输送单元,其配置有隔开设置的多个输送辊,并且在所述输送辊上面以水平或倾斜的状态输送基板;缓冲臂,其上面可放置基板,且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板;支架,其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元,并固定所述缓冲臂,使所述缓冲臂可在能够移交或承接基板的状态下移动;状态变换单元,其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架,并且产生旋转力,使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。
2. 根据权利要求l所述的基板输送装置,其特征在于 所述状态变换单元,在移交或承接基板时,使所述缓冲臂以相互平行状态位于所述输送辊的上方或下方;将基板移交或承接之后,再将所述缓冲臂的状态改变为垂直状态,以便 使之能够脱离所述输送辊的上方或下方。
3. 根据权利要求l所述的基板输送装置,其特征在于所述状态变换单元,将步进电动机、齿轮电动机、旋转气缸中的任意一 种作为驱动源。
4. 根据权利要求l所述的基板输送装置,其特征在于所述上/下移动驱动单元,将连接在电机轴的螺杆或气缸所产生的动力传 递给所述缓冲臂,以使所述缓冲臂进行上/下运动。
5. 根据权利要求l所述的基板输送装置,其特征在于所述状态变换单元,以铰接部为基准,沿上侧或下侧的旋转半径,旋转 所述缓冲臂而改变其状态。
6. 根据权利要求l所述的基板输送装置,其特征在于 进一步包括用于调整所述两个支架之间距离的间距调整单元, 而所述间距调整单元,通过产生并传递动力而使所述两个支架之间的距离变窄或变宽。
7. 根据权利要求6所述的基板输送装置,其特征在于所述间距调整单元,将连接于电机轴的螺杆或气缸中的任意一种作为驱 动源。
全文摘要
本发明提供了一种在制造平板显示器用基板的各工序的输送线中,可连续投入及输出基板的基板输送装置。所述基板输送装置包括基板输送单元,其配置有相隔一定距离的多个输送辊,并且在所述输送辊上面以水平或倾斜状态输送基板;缓冲臂,其上面可放置基板,并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板;支架,其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元,并且用于固定所述缓冲臂,使所述缓冲臂移动到可以移交或承接基板的状态;以及状态变换单元,其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架,并且产生旋转力,使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。
文档编号B65G49/06GK101339316SQ200710123230
公开日2009年1月7日 申请日期2007年7月2日 优先权日2007年7月2日
发明者李硕周 申请人:显示器生产服务株式会社
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