专利名称：基板收纳容器的制作方法
基板收纳容器抟术区域本发明涉及基板收纳容器，用于在保管、输送等时对多个如半导体晶片或圆形的石英玻璃基板等那样的薄圆盘状基板进行收纳。
背景技术：
在基板收纳容器上一般设置有容器主体，用于以并列地排列的状态收纳多个如半导体晶片等那样的圆盘状的基板。在该容器主体上，形成有用于取送圆盘状基板的基板取送开ロ。而且，用于封闭基板取送开ロ的盖体以从外侧拆装自如地安装在基板取送开口上的方式设置。为了在容器主体内将圆盘状基板保持在不会晃动的状态，而在从容器主体内的基 板取送开ロ观察的里侧的区域内，配置有里侧保持部，在盖体的内壁部上设置有盖侧保持器。但是，盖侧保持器若不处于盖体安装在容器主体的基板取送开口上的状态，就不能成为对圆盘状基板进行保持的状态。因此，在未安装有盖体的状态时，在基板取送开ロ的附近区域设置有用于载置圆盘状基板的基板临时载置片。在圆盘状基板成为被盖侧保持器保持的状态时，成为从基板临时载置片悬置的状态(例如，专利文献I)。专利文献I :日本特表2003-522078图10等近年，以生产性的提升或成本降低为目的，半导体晶片等的大直径化在不断发展。在半导体晶片的情况下，现在其直径为300mm是主流，但是可以预想在不远的将来可能会变为450mm。当在基板收纳容器上施加有振动或者冲击等时，收纳在其内部的圆盘状基板上会发生弯曲。这样的圆盘状基板的弯曲量，伴随着圆盘状基板被大直径化而显著扩大。这是因为不能将圆盘状基板的厚度与直径相对应地增厚。因此，当在基板收纳容器上施加有振动或者冲击而使其弯曲时，在基板收纳容器内保持在以从基板临时载置片悬置的状态下的圆盘状基板，有可能与基板临时载置片接触(或者冲击)，而在基板收纳容器内发生损伤、污损。
发明内容
本发明的目的是提供ー种基板收纳容器，即使所收纳的圆盘状基板因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片接触的担心，并且也能够安全地收纳被大直径化的圆盘状基板。为了达成上述的目的，本发明的基板收纳容器，其具有容器主体，用于以并列排列的状态收纳多个圆盘状基板；基板取送开ロ，为了在所述容器主体中取送所述圆盘状基板，而形成在所述容器主体上；盖体，为了封闭所述基板取送开ロ，而拆装自如地从外侧安装在所述基板取送开口上；里侧保持部，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，将所述各圆盘状基板的外缘部定位保持；盖侧保持器，设置在所述盖体的内壁部上，且以将所述各圆盘状基板向所述里侧保持部侧推入的方式定位保持；和基板临时载置片，用于在所述盖体没有被安装在所述基板取送开口上的状态时，在所述基板取送开ロ的附近区域载置所述圆盘状基板，其特征在干，所述基板收纳容器设置有基板载置部，用于在所述圆盘状基板没有被所述盖侧保持器推入的状态时，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，载置所述圆盘状基板的外缘部附近；和基板返回机构，用于在被所述盖侧保持器推入的所述圆盘状基板成为不被所述盖侧保持器推入的状态时，使所述圆盘状基板返回至不被所述里侧保持部定位保持的位置上，设定所述基板临时载置片的位置，使得在所述盖体从所述基板取送开ロ被取下，且所述圆盘状基板不被所述里侧保持部定位保持的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板相互重叠，另外，在所述盖体安装到所述基板取送开口上，且所述圆盘状基板推入至被所述里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板变得不重叠。此外，也可以为，所述基板返回机构是抵接于所述圆盘状基板的外周面上的弹簧状部件，也可以为，所述基板载置部与抵接于所述圆盘状基板上的所述弹簧状部件的抵接面相邻，并与所述弹簧状部件形成为一体。而且，也可以为，所述弹簧状部件以从所述里侧保持部的端部延伸的状态设置。 而且，也可以为，所述里侧保持部与所述基板载置部相邻且设置为一体，在该情况下，也可以为，在所述里侧保持部与所述基板载置部之间形成有孔，所述弹簧状部件的前端部分从所述孔通过而抵接到所述圆盘状基板的外周面上。而且，也可以为，所述基板返回机构是通过重力将所述圆盘状基板向斜下方引导的斜面。在该情况下，也可以为，所述里侧保持部与所述基板载置部将所述斜面置于其间地连续一体形成，并且也可以为，所述斜面是在所述里侧保持部上形成V槽的两面之中的一方的面。发明的效果根据本发明，设定基板临时载置片的位置，使得在盖体安装在基板取送开口上，且圆盘状基板推入至被里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于圆盘状基板的面垂直的方向上观察，基板临时载置片与圆盘状基板变得不重叠，由此，即使圆盘状基板被大直径化，也没有收纳在容器主体内的圆盘状基板因振动或者冲击等而与基板临时载置片接触的担心，从而能够更安全地收纳如半导体晶片或者石英玻璃基板等那样的圆盘状基板。
图I是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的外观立体图。图2是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的俯视剖视图。图3是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，支承基板的部件的单体立体图。图4是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，未安装有盖体的状态的复合侧剖视图。
图5是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的复合侧剖视图。图6是在本发明的第一实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图7是在本发明的第二实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图8是在本发明的第二实施例的基板收纳容器中，支持基板的部件的单体立体图。图9是表示图7中IX-IX截面的剖视图。图10是表示图7中X-X截面的剖视图。 图11是在本发明的第三实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的俯视剖视图。图12是表示图11中XII-XII截面的剖视图。图13是在本发明的第三实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图14是表示图13中XIV-XIV截面的剖视图。
具体实施例方式
以下，參照附图对本发明的实施方式进行说明。图I是本发明的第一实施例的基板收纳容器的立体图，图2是其俯视剖视图。I是容器主体，用于以并列地排列的状态对形成为薄圆盘状的多个圆盘状基板W进行收纳。容器主体I在圆盘状基板被取送时，使各圆盘状基板W配置在以水平的朝向被收纳的状态下。在容器主体I内，以使多个圆盘状基板W在相互之间隔开间隙的方式，在面与面相对的方向上收纳有多个。但是在图I中，图示了只在容器主体I内的最下层位置上收纳有一张圆盘状基板W的状态。另外，虽然在该实施例中的圆盘状基板W是半导体晶片，但是本发明也适用圆形的石英玻璃基板等。在容器主体I的四个侧面之中的一个侧面上，形成有用于取送圆盘状基板W的基板取送开ロ 2。而且，用于封闭该基板取送开ロ 2的盖体20，以从外侧拆装自如地安装在基板取送开ロ 2上的方式设置。另外，在盖体20上设有，用于将基板取送开ロ 2与盖体20的外缘部之间密封的具有弹性的密封部件，及用于锁定盖体20的锁定机构等，但省略了关于这些部件的说明。在从容器主体I内的基板取送开ロ 2观察的里侧的区域中，配置有里侧保持部3，用于将各圆盘状基板W的外缘部定位保持在容器主体I内。如图2所示，里侧保持部3从基板取送开ロ 2观察，在中心线X(相对于基板取送开ロ 2垂直的方向上的容器主体I的中心线)的右侧与左侧隔开间隔地设置有一対。后述说明里侧保持部3。3’是容器主体I内的最深处的配置在中心线X位置附近的后保持器。后保持器3’具有将圆盘状基板W以向着基板取送开ロ 2侧弹压的方式保持的功能。但是，在本发明中，由于无论后保持器3’配置与否都没有关系，所以在后述的说明中不包含后保持器3’。另ー方面，在盖体20的内壁部上设置有公知的盖侧保持器21，用于将各圆盘状基板的外缘部以从基板取送开ロ 2侧向里侧保持部3侧分别弾性地推压的方式定位保持。在盖侧保持器21中，在盖体20安装在容器主体I的基板取送开ロ 2上时抵接在各圆盘状基板W的外周部上的V槽状的部分，具有通过有弹性、即易于弹性变形的支持部件22而支持的结构，并且该部分设置在中心线X位置的附近。在容器主体I内的基板取送开ロ 2的附近区域、即从中心线X离开的位置(也就是说，容器主体I的左右侧壁的附近位置)上设置有基板临时载置片4，用于在盖体20没有安装在基板取送开ロ 2上的状态时，载置圆盘状基板W的外缘部。如图3所示，里侧保持部3与基板临时载置片4以在其之间夹着连结部5的状态，作为ー个塑料部件通过一体成形而形成。里侧保持部3形成为V字状的槽，该V字状的槽以距圆盘状基板W的中心远的ー侧为底。由此，各圆盘状基板W从基板取送开ロ 2侧，通过盖侧保持器21向里侧保持部3 侧推入，外周的棱线部分成为推入到里侧保持部3的V字状槽部内的状态，由此，成为定位保持在该位置上的状态(參照图5)。另外，在图3中，图示有用于在容器主体I内只对ー个圆盘状基板W的左半部(也就是说，从基板取送开ロ 2侧观察的左半部)进行支承的部件，但是在容器主体I内，同样的部件以在垂直方向上层叠的状态且左右对称地配置有多对。基板临时载置片4是从容器主体I的侧壁侧向内侧突出的搁板状的部件，在基板取送开ロ 2上未安装有盖体20的状态(也就是说，圆盘状基板W没有被盖侧保持器21推入至里侧的状态)的时候，圆盘状基板W的外缘部成为载置在基板临时载置片4的突出端附近的状态。6是基板载置部，用于在圆盘状基板W没有被盖侧保持器21推入的状态时，在从容器主体I内的基板取送开ロ 2观察的里侧的区域中将圆盘状基板W的外缘部附近载置。基板载置部6形成为截面形状小的L字状，在其水平面部分上载置有圆盘状基板W。该基板载置部6形成在从里侧保持部3的端部进ー步沿圆盘状基板W的圆周方向延伸的弹簧状部件7的前端部分上。弹簧状部件7与里侧保持部3、基板临时载置片4以及连结部5通过一体成形而形成，且具有弾性。而且，弹簧状部件7的前端的从基板载置部6垂直地立起的垂直面成为，抵接于圆盘状基板W的外周面上的抵接面8。该结果为，若在盖体20没有安装在基板取送开ロ 2上的状态下，载置在基板临时载置片4和基板载置部6上的圆盘状基板W，通过安装有盖体20而从基板取送开ロ 2侧被盖侧保持器21推入的话，则圆盘状基板W的外缘部，ー边在载置于基板载置部6上的状态下使弹簧状部件7发生弹性变形，ー边向里侧移动，从而嵌入到里侧保持部3的V字槽部中而成为定位保持的状态。而且，若被盖侧保持器21从基板取送开ロ 2侧推入的圆盘状基板W，通过盖体20被取下而成为不被盖侧保持器21推入的状态的话，则通过返回至弹性变形前的形状的弹簧状部件7，而使圆盘状基板W向着基板取送开ロ 2侧被推回，从而使圆盘状基板W返回到不被里侧保持部3定位保持的位置。图4是在容器主体I的基板取送开ロ 2上未安装有盖体20的状态的侧剖视简略表示图。在图4中，使适合于说明的适当的多个部分的截面形状进行组合而作为一个图来表不。
这样，在盖体20从基板取送开ロ 2被取下且圆盘状基板W的外缘部载置在基板载置部6上的状态时，如图2所示，从相对于圆盘状基板W的面垂直的方向上观察，基板临时载置片4与圆盘状基板W重叠。其结果是，如图4所示，各圆盘状基板W的外缘部成为如下的状态在基板取送开ロ 2侧载置在基板临时载置片4上，在里侧没有嵌入到里侧保持部3的V槽中，而载置在基板载置部6上。在盖体20安装在基板取送开ロ 2上时，如图5所简略表示地，圆盘状基板W嵌入到盖侧保持器21与里侧保持部3的各V槽中，而被推入至成为被定位保持的状态的位置，如图6所示，从相对于圆盘状基板W的面垂直的方向上观察，基板临时载置片4与圆盘状基板W变为不重叠。容器主体I内的基板临时载置片4的位置以那样的方式设定。由此，在基板取送开ロ 2上安装有盖体20的状态下，即使收纳在容器主体I内的圆盘状基板W因振动或冲击等发生弯曲，也没有与基板临时载置片4接触的担心，即使是被 大直径化了的圆盘状基板也能够安全地进行收纳。而且，在盖体20从基板取送开ロ 2上被取下吋，圆盘状基板W通过弹簧状部件7稍微返回至基板取送开ロ 2侧，而成为与基板临时载置片4重叠的状态，从而如图2所示地成为载置于基板临时载置片4与基板载置部6上的状态。图7是在本发明的第二实施例的基板收纳容器中，安装有盖体20的状态的俯视剖视图。在该实施例中，里侧保持部3与基板载置部6邻接，通过与基板临时载置片4 一井地一体成形而被设置成一体。图8是表示该部件的立体图。另外，在该实施例中，弹簧状部件7作为独立的部件而形成，并且其基部固定在连结部5的背面部分上。而且，在里侧保持部3与基板载置部6之间形成有孔9，弹簧状部件7的前端部分从孔9通过而抵接在圆盘状基板W的外周面上。未设置有后保持器(也可以设置)。图9与图10图示了图7中的IX-IX截面与X-X截面，与第一实施例同样地，基板载置部6为了载置圆盘状基板W，而具有与圆盘状基板W的下表面一致的平面，里侧保持部3具有用于将圆盘状基板W定位固定的V槽。其他的结构与第一实施例相同，如图7所示，在容器主体I的基板取送开ロ 2上安装有盖体20的状态下，圆盘状基板W被推入至里侧，从相对于圆盘状基板W的面垂直的方向上观察，成为基板临时载置片4与圆盘状基板W不重叠的状态。而且，当盖体20从基板取送开ロ 2被取下吋，圆盘状基板W通过弹簧状部件7稍微返回至基板取送开ロ 2侧，而成为与基板临时载置片4重叠的状态，与如图2所示的第一实施例的情况同样地，成为载置于基板临时载置片4与基板载置部6上的状态。图11与图13是在本发明的第三实施例的基板收纳容器中，未安装有盖体20的状态、与安装有盖体20的状态的俯视剖视图。在该实施例中，V槽状的里侧保持部3与水平面状的基板载置部6连续地形成为一体。作为基板返回机构没有设置弹簧类部件，如图示了 XII-XII截面与XIV-XIV截面的图12与图14所示，在里侧保持部3中形成V槽的两个斜面之中的下侧的斜面10成为基板返回机构，用于通过重力将圆盘状基板W向斜下方的基板载置部6引导。由此，也可以说，里侧保持部3与基板载置部6，将基板返回机构即斜面10置于其间地连续一体形成。
即使在这样构成的实施例中，在容器主体I的基板取送开ロ 2上未安装有盖体20时，如图11与图12所示，各圆盘状基板的外缘部在基板取送开ロ 2侧上载置在基板临时载置片4上，在里侧没有嵌入到里侧保持部3的V槽内，而形成为载置在基板载置部6上的状态。而且，在盖体20安装在基板取送开ロ 2上时，如图13、图14所示，圆盘状基板W嵌入到里侧保持部3的V槽中，而被盖侧保持器21推入至被定位保持的位置，从相对于圆盘状基板W的面垂直的方向上观察，基板临时载置片4与圆盘状基板W变得不重叠。该结果为，即使收纳在容器主体I内的圆盘状基板W因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片4接触的担心，即使是被大直径化了的圆盘状基板也能够安全地进行收纳。而且，在盖体20从基板取送开ロ 2被取下时，圆盘状基板W由重力从斜面10滑落，并如图12所示地返回至载置在基板载置部6上的状态，圆盘状基板W成为与基板临时载置片4重叠的状态，并且成为载置于基板临时载置片4与基板载置部6上的状态。 附图标记说明I容器主体2基板取送开ロ3里侧保持部4基板临时载置片6基板载置部7弹簧状部件(基板返回机构)8抵接面9 孔10斜面(基板返回机构)20 盖体21盖体保持器W圆盘状基板。
权利要求
1.ー种基板收纳容器，其具有容器主体，用于以并列排列的状态收纳多个圆盘状基板；基板取送开ロ，为了向所述容器主体中取送所述圆盘状基板而形成在所述容器主体上；盖体，为了封闭所述基板取送开ロ而拆装自如地从外侧安装在所述基板取送开口上；里侧保持部，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，将所述各圆盘状基板的外缘部定位保持；盖侧保持器，设置在所述盖体的内壁部上，且以将所述各圆盘状基板向所述里侧保持部侧推入的方式定位保持；和基板临时载置片，用于在所述盖体没有被安装在所述基板取送开口上的状态时，在所述基板取送开ロ的附近区域载置所述圆盘状基板，其特征在于，所述基板收纳容器设置有 基板载置部，用于在所述圆盘状基板没有被所述盖侧保持器推入的状态时，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，载置所述圆盘状基板的外缘部附近；和 基板返回机构，用于在被所述盖侧保持器推入的所述圆盘状基板成为不被所述盖侧保持器推入的状态时，使所述圆盘状基板返回至不被所述里侧保持部定位保持的位置上， 设定所述基板临时载置片的位置，使得在所述盖体从所述基板取送开ロ被取下，且所 述圆盘状基板不被所述里侧保持部定位保持的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板相互重叠，在所述盖体安装到所述基板取送开口上，且所述圆盘状基板推入至被所述里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板变得不重置。
2.根据权利要求I所述的基板收纳容器，其特征在于，所述基板返回机构是抵接于所述圆盘状基板的外周面上的弹簧状部件。
3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在干，所述基板载置部与抵接于所述圆盘状基板上的所述弹簧状部件的抵接面相邻，并与所述弹簧状部件形成为一体。
4.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述弹簧状部件以从所述里侧保持部的端部延伸的状态设置。
5.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在干，所述里侧保持部与所述基板载置部相邻且设置为一体。
6.根据权利要求5所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述里侧保持部与所述基板载置部之间形成有孔，所述弹簧状部件的前端部分从所述孔通过而与所述圆盘状基板的外周面抵接。
7.根据权利要求I所述的基板收纳容器，其特征在于，所述基板返回机构是通过重力将所述圆盘状基板向斜下方引导的斜面。
8.根据权利要求7所述的基板收纳容器，其特征在干，所述里侧保持部与所述基板载置部将所述斜面置于其间地连续一体形成。
9.根据权利要求7所述的基板收纳容器，其特征在干，所述斜面是在所述里侧保持部上形成V槽的两面之中的一方的面。
全文摘要
本发明提供一种基板收纳容器。设定基板临时载置片(4)的位置，使得在盖体(20)安装在容器主体(1)的基板取送开口(2)上，且圆盘状基板(W)推入至被里侧保持部(3)定位保持的位置上的状态时，在相对于圆盘状基板(W)的面垂直的方向上观察，基板临时载置片(4)与圆盘状基板(W)变得不重叠。由此，即使收纳在容器主体(1)内的圆盘状基板(W)因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片(4)接触的担心，即使是被大直径化的圆盘状基板(W)也能够安全地进行收纳。
文档编号B65D85/86GK102858653SQ20108006607
公开日2013年1月2日 申请日期2010年5月24日 优先权日2010年5月24日
发明者永岛刚 申请人:未来儿株式会社