液压装置的制造方法、以及通过该制造方法制造的液压装置与流程

本发明涉及一种具备齿面相互啮合的一对齿轮的液压装置，更具体的是一种使用如下斜齿轮作为所述一对齿轮的液压装置的制造方法、以及通过该制造方法制造的液压装置，所述斜齿轮具有分别在齿尖及齿底包含圆弧部的齿形且在啮合部形成有从齿宽方向的一端部到另一端部连续的接触线。

背景技术：

众所周知，在所述液压装置中存在适当利用驱动电动机使一对齿轮旋转并通过该齿轮的旋转动作对作动液体加压而喷出该作动液体的液压泵，或导入预先经过加压的作动液体使所述齿轮旋转并将其旋转轴的旋转力用作动力的液压电动机等。

而且，作为以往的一般液压装置，已知有包含如下部分等的液压装置，即包含：a)一对齿轮，分别具有以从两端面分别向外方延伸的方式设置的旋转轴，且齿部相互啮合；b)主体，具有两端部开口且在内部以啮合的状态收纳有所述一对齿轮的液压室；c)一对轴承部件，在主体的液压室内分别配设在所述各齿轮的两侧，支撑所述各齿轮的旋转轴且使所述各齿轮的旋转轴旋转自如；d)一对盖体，分别液密状地固定设置在主体的两端面而密封所述液压室。

另外，在此种构成的液压装置中，在所述齿轮的旋转轴与支撑该旋转轴的所述轴承部件之间存在适度的间隙，同样地，在所述轴承部件与收纳该轴承部件的所述液压室之间也存在适度的间隙。因此，在液压装置的正常的使用状态下，当高压的作动液体作用于所述齿轮时，齿轮向低压侧移动所述间隙量，由此，低压侧的液压室内周面被该齿轮切削。此外，当高压的作动液体作用于齿轮时，包含所述旋转轴的齿轮、所述主体、所述轴承部件及所述盖体整体性地弹性变形，齿轮被压抵于低压侧的液压室内周面，通过此种弹性变形也可切削低压侧的液压室内周面。

在此情况下，被切削后的液压室内周面只要是恰当的表面粗糙度、即容许范围内的表面粗糙度就不存在问题，但在成为超过容许范围的表面粗糙度的情况下，除了产生噪音以外，还会因泄漏而产生机械效率及容积效率降低的问题。

因此，在该液压装置的领域中，以往惯用在组装后进行磨合运转，通过该磨合运转防止如上所述的问题。磨合运转的方法考虑各种方法，作为其基本的方法具有如图7所示的方法，在该方法中，采用如该图7所示那样一边使液压装置的高压侧的作动液体的压力在高压ph与低压pl之间呈锯刀状地增减，一边监视作用于齿轮的轴转矩的态样。

如果使用图7，对该磨合运转方法更详细地进行说明，那么首先使液压装置的高压侧的作动液体的压力在高压的ph1与低压的pl之间呈锯刀状地增减。当压力最初达到ph1时，将齿轮压抵于液压室的内周面的力变得最大，轴转矩也对应于此而上升，此时，利用齿轮的齿尖对液压室的内周面进行去除加工。因此，在作动液体的压力接下来达到ph1时，将齿轮压抵于液压室的内周面的力对应于最初的去除加工而降低，并且作用于该齿轮的轴转矩也降低，这样一来利用经降低的力对液压室的内周面进行去除加工。以此方式，通过使作动液体的压力呈锯刀状地增减，而慢慢地对液压室的内周面进行去除加工。

而且，如果作用于齿轮的轴转矩低于基准值，那么接下来将高压的压力ph设定为比压力ph1高特定压力的压力ph2，同样地一边使其呈锯刀状地增减一边监视作用于齿轮的轴转矩。当将压力从ph1提高到ph2时，与此相应地，将齿轮压抵于液压室的内周面的力上升，轴转矩也上升，液压室的内周面的去除加工增进该力上升的量，此后，通过使压力呈锯刀状地增减，以与所述同样的方式慢慢推进液压室的内周面的去除加工，轴转矩慢慢降低而成为低于基准值的状态。

此后同样地反复进行将高压的压力ph设定为高特定压力的压力并一边使其呈锯刀状地增减一边监视作用于齿轮的轴转矩的步骤(循环)，在成为轴转矩不超过基准值的状态时，视为已完成去除加工而结束磨合运转。

这样通过进行此种磨合运转，能够使主体的液压室内周面成为平滑的表面，并且使齿轮的齿尖外表面与液压室内周面之间的间隙变得极小，而使齿轮的齿尖外表面与液压室内周面密接，通过这样密接能够防止液体从该部分泄漏(leak)，其结果，能够防止产生所述噪音的问题、或机械效率及容积效率降低的问题。

另外，此种磨合运转以往是结合液压装置的特征而完成各种设计，作为其一例，提出有如下述专利文献1及2所揭示的液压装置等。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-161270号公报

专利文献2：日本专利特开2010-19099号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

另外，以往所述一对齿轮使用各种形状的齿轮，其中之一有如下形状的斜齿轮，即，具有分别在齿尖及齿底包含圆弧部的齿形，且在啮合部形成有从齿宽方向的一端部到另一端部连续的接触线。而且，在使用具有此种齿形的斜齿轮的液压装置中，当然也必须进行所述磨合运转。另外，使用此种形状的斜齿轮的液压装置的所述主体由铝合金构成，构成所述斜齿轮的至少齿部的部分由碳钢构成。

然而，该斜齿轮的齿面整体具有平滑的曲面，并且为了避免泄漏的问题或噪音的问题，通过磨削加工而精加工成其表面粗糙度rz为3μm以下的平滑面，因此，存在如下问题，即，利用该齿尖的去除加工性较差，当进行所述磨合运转时，难以将所述液压室的内周面的表面粗糙度控制在规定范围内，从而无法改善噪音的问题、或机械效率及容积效率降低的问题。

即，如果齿尖的去除加工性较差，换言之，齿尖与液压室内周面的接触阻力较大，那么在液压室内周面产生撕裂现象，因此认为表面粗糙度恶化。此外，认为当齿尖与液压室内周面的接触阻力较大时在该接触部中产生脱液，认为所述情况也辅助性地使表面粗糙度恶化。

为了略加改善此种问题，考虑通过慢慢提高磨合运转中的高压ph的设定压力而降低接触阻力，但即便如此，不仅无法根本解决表面粗糙度，反而由于必须更多地反复进行图7所示的使压力呈锯刀状地增减的循环，因而产生需要长时间磨合运转的另一问题。

本发明鉴于以上实际情况而完成，其目的在于提供一种磨合运转后的液压室内周面的表面粗糙度良好且能够以比以往短的时间进行磨合运转的液压装置的制造方法、以及液压装置。

解决问题的手段

用来解决所述问题的本发明涉及一种液压装置的制造方法、以及通过该制造方法制造的液压装置，该液压装置的制造方法制造液压装置，该液压装置具备：一对斜齿轮，分别具有以从两端面分别向外方延伸的方式设置的旋转轴，且齿部相互啮合，并且该齿部具有分别在齿尖及齿底包含圆弧部的齿形，在啮合部形成有从齿宽方向的一端部到另一端部连续的接触线；

主体，具有两端部开口且在内部以啮合的状态收纳有所述一对齿轮的液压室，该液压室具有所述各齿轮的齿尖外表面滑动接触的圆弧状的内周面；

一对轴承部件，在所述主体的液压室内分别配设在所述各齿轮的两侧，支撑所述各齿轮的旋转轴且使所述各齿轮的旋转轴旋转自如；以及

一对盖体，分别液密状地固定设置在所述主体的两端面而将所述液压室密封；并且

所述斜齿轮的至少所述齿部由碳钢构成，所述主体由铝合金构成，

该制造方法是在将所述主体、斜齿轮、轴承部件及盖体组装后，通过磨合运转，利用所述一对斜齿轮对所述主体的液压室内周面进行去除加工，

该液压装置的制造方法在所述磨合运转时，利用以所述齿尖的表面粗糙度rz成为5～20μm的范围内的方式进行了表面改质的所述斜齿轮，进行所述去除加工。

另外，所述表面粗糙度rz是jisb0601,2013(iso4287,amendment1(2009))中所规定的“最大高度粗糙度”。

本发明人等鉴于所述问题，发现如下情况，即，通过对斜齿轮的齿尖、即在磨合运转时表现去除加工的作用部的表面粗糙度rz以成为5～20μm的范围内的方式进行改质，获得适度的去除加工性。另一方面，如上所述，在使用所述形状的斜齿轮的液压装置的情况下，以往为了避免泄漏问题或噪音问题，通过磨削加工将斜齿轮的齿面整体精加工成表面粗糙度rz为3μm以下的平滑面。然而，根据通过本发明人等的努力研究获得的见解，可以明确如下情况，即，通过将达成去除作用的齿尖的表面粗糙度rz改质为5μm以上，获得良好的去除加工性，且只要该齿尖的表面粗糙度rz为20μm以下，就不会产生泄漏或噪音问题。

这样一来，根据本发明，能够使磨合运转时的斜齿轮齿尖的去除加工性提高，因而该磨合运转后的液压室内周面的表面粗糙度良好，能够避免因磨合运转而产生噪音或机械效率及容积效率降低的问题，此外，能够缩短磨合运转所需时间。

另外，更优选为，对所述齿尖以其表面粗糙度rz成为5～15μm的范围内的方式进行表面改质。

此外，优选为，对所述斜齿轮的至少以其轴线为中心隔着其齿尖棱线的-1.25度～1.25度的角度范围的齿尖区域进行表面改质。该齿尖区域是达成去除加工作用的部分，因此，优选为至少对该齿尖区域进行改质。当然，也可以对其他区域进行改质，但由于存在噪音变大的倾向，因而优选为视需要对适当的区域进行改质。

另外，所谓改质是指为了改善去除加工性而使表面粗糙度从原先的状态变化，改质方法并不受任何限定，优选为，通过对表面赋予无数个条痕而进行改质。作为此种赋予条痕的方法的一例，可以列举使用金属刷擦过齿尖表面的方法。通过赋予条痕，能够谋求良好地改善去除加工性。

此外，所述条痕优选为，其主要形成方向成为与齿尖棱线交叉的方向，或者，形成在无指向性的随机方向上。这样一来，该条痕达成储液的作用，而防止齿轮的齿尖与液压室内周面的接触部上的脱液，从而获得更良好的去除加工性。

发明的效果

如以上所说明那样，根据本发明，由于能够使磨合运转时的斜齿轮齿尖的去除加工性提高，因而该磨合运转后的液压室内周面的表面粗糙度良好，能够避免因磨合运转产生噪音或机械效率及容积效率降低的问题，此外，能够比以往缩短磨合运转所需时间。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的油压泵及磨合运转装置的剖面图。

图2是沿图1中的箭头a-a方向观察的剖面图。

图3是沿图2中的箭头b-b方向观察的剖面图。

图4是用来说明本实施方式中对齿尖的表面进行改质的区域的说明图。

图5是用来说明本发明的效果的说明图。

图6是用来说明本发明的效果的图表。

图7是用来说明基本的磨合运转方法的说明图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边对本发明的具体实施方式进行说明。

图1表示本发明的一实施方式的油压泵及磨合运转装置，对油压泵以剖面进行图示。此外，图2是图1所示的油压泵的沿箭头a-a方向观察的剖面图，图3同样是图2所示的油压泵的沿箭头b-b方向观察的剖面图。

[油压泵的基本构成]

首先，对本例的油压泵1的基本构成进行说明。如图1～图3所示，该油压泵1包含在内部形成有液压室4的外壳2、分别配设在所述液压室4内的一对齿轮20、25、一对轴承部件30、35、及一对侧板40、45等。

所述外壳2包含：主体3，由铝合金构成，从一端面朝向另一端面形成着具有剖面形状成为大致8字形的空间的所述液压室4；前盖7，介隔密封件10液密状地固定在该主体3的所述一端面(前端面)；以及末端盖8，介隔密封件11液密状地固定在主体3的另一端面(后端面)；利用所述前盖7及末端盖8将所述液压室4封闭。另外，所述液压室4例如通过镗削加工来加工，一般而言，其表面粗糙度rz为6～12μm。此外，前盖7及末端盖8的材质可以是与主体相同的铝合金，也可以是其他材料。

所述齿轮20具有以从其两端面分别向外方延伸的方式设置的旋转轴21、22，同样地，所述齿轮25具有以从其两端面分别向外方延伸的方式设置的旋转轴26、27。这些齿轮20、25是齿部相互啮合的斜齿轮，该齿部具有分别在齿尖及齿底包含圆弧部的齿形，并且具有在啮合部形成有从齿宽方向的一端部到另一端部连续的接触线的齿形，在相互啮合的状态下插入到所述液压室4内，液压室4以该齿轮20、25的啮合部为界被分成高压侧与低压侧的两部分。另外，本例的齿轮20的齿部成为右旋，齿轮25的齿部成为左旋。

此外，齿轮20的旋转轴21的端部形成为锥形，进而在其前端形成着螺纹部21a，该部通过形成在所述前盖7的贯通孔7a伸出到外侧，该旋转轴21的外周面与贯通孔7a的内周面之间通过油封件9密封。另外，该旋转轴21适当地与驱动电动机连结，从该驱动电动机传递动力，由此，齿轮20作为驱动齿轮发挥功能，齿轮25作为从动齿轮发挥功能。这些齿轮20、25由碳钢构成，其齿部在进行淬火加工后进行磨削加工，齿面的表面粗糙度rz被精加工为0.8～3μm。

所述侧板40由具备两个贯通孔41、42且剖面形状成为大致8字形的板状的部件构成，以在该贯通孔41、42分别插通着所述齿轮20、25的旋转轴21、26的状态配设在该齿轮20、25的前侧。同样地，所述侧板45由具备两个贯通孔46、47且剖面形状成为大致8字形的板状的部件构成，以在该贯通孔46、47分别插通着所述齿轮20、25的旋转轴22、27的状态配设在该齿轮20、25的后侧。这样一来，侧板40、45分别成为抵接在齿轮20、25的包含齿部的整个端面的状态。该侧板40、45由黄铜构成，其两表面通过磨削加工而将表面粗糙度rz精加工为0.8～3μm。

所述轴承部件30是由具备两个支撑孔31、32且剖面形状成为大致8字形的部件构成的金属轴承，以在支撑孔31、32分别插通着齿轮20、25的旋转轴21、26的状态配设在所述侧板40的前侧，支撑该旋转轴21、26且使该旋转轴21、26旋转自如。同样地，所述轴承部件35是由具备两个支撑孔36、37且剖面形状成为大致8字形的部件构成的金属轴承，以在支撑孔36、37分别插通着齿轮20、25的旋转轴22、27的状态配设在所述侧板45的后侧，支撑该旋转轴22、27且使该旋转轴22、27旋转自如。轴承部件30、35整体的材质并无特别限定，但支撑孔31、32、36、37必须至少在内周面被覆着轴承材料，或者被压入管状的轴承材料。

此外，在轴承部件30与侧板40之间，配设着从侧面观察的形状为类似阿拉伯数字“3”的形状的具有弹性的区划密封件50，同样地，在轴承部件35与侧板45之间同样配设着从侧面观察的形状为类似阿拉伯数字“3”的形状的具有弹性的区划密封件51。该区划密封件50将轴承部件30与侧板40之间的间隙区划成高压侧与低压侧，区划密封件51将轴承部件35与侧板45之间的间隙区划成高压侧与低压侧，适当经由流路将所述液压室4的高压侧的作动油引导到高压侧的各间隙，侧板50、51被该高压的作动油分别压抵于齿轮20、25的端面，由此防止高压侧的作动油向低压侧泄漏。

如图2及图3所示，在所述主体3，在其一侧面形成着连通至所述液压室4的低压侧的取入孔(取入流路)5，并且在与此相对的另一侧面同样形成着连通至所述液压室4的高压侧的喷出孔(喷出流路)6。而且，这些取入孔5及喷出孔6以各自的轴线通过所述一对齿轮20、25的轴心间的中心的方式设置。

这样一来，根据具备以上基本构成的油压泵1，适当通过配管将贮存着作动油的贮槽的该作动油与油压泵1的取入孔5连接，并且适当通过配管将喷出孔6与负载部适当连接，此后，当使齿轮20向图1及2中的箭头所示方向旋转时，与其啮合的齿轮25从动旋转，由所述液压室4内的内周面3a与各齿轮20、25的齿部夹着的空间的作动油通过各齿轮20、25的旋转被向喷出孔6侧移送，从而以齿轮20、25的啮合部为界，喷出孔6侧成为高压侧，取入孔5侧成为低压侧。而且，对变成低压的取入孔5从所述贮槽通过所述配管供给作动油，并从变成高压的喷出孔6将高压的作动油喷出到所述负载部。

[磨合运转的态样]

其次，对将所述油压泵1的各构成零件、即主体3、前盖7、末端盖8、齿轮20、25、轴承部件30、35及侧板40、45加工成所述规格后，将这些零件组装并进行磨合运转的其最终调整进行说明。

首先，进行如下作业，即，对已经加工成所述规格的齿轮20、25的齿尖表面以其表面粗糙度rz成为5～20μm的方式进行改质。具体而言，将齿轮20、25安装在车床等的主轴使其绕轴中心旋转，且将金属刷等压抵而擦过该旋转的齿尖，由此，对该齿尖表面赋予无数个条痕而对其表面进行改质。这样一来，赋予与齿尖棱线交叉的方向的条痕。

另外，如图4所示，表面改质的区域优选为设为以齿轮20、25的轴线20a、25a为中心介隔其齿尖棱线20b、25b的至少-1.25度～1.25度的角度范围的区域。该齿尖区域是达成去除加工作用的部分，因此，优选为至少对该齿尖区域进行改质。当然，也可以对其他区域进行改质，但由于存在噪音变大的倾向，因而优选为视需要对适当的区域进行改质。

接下来，将主体3、前盖7、末端盖8、轴承部件30、35、侧板40、45及表面改质后的齿轮20、25如图1～3所示那样进行组装，在组装后使用磨合运转装置60进行磨合运转。

磨合运转装置60包含：转矩检测器63；驱动电动机61，经由该转矩检测器63连结在所述旋转轴21；压力计62，连接在所述主体3的喷出孔6而检测从该喷出孔6喷出的作动油的压力；以及控制装置64，基于由转矩检测器63检测出的轴转矩、及由所述压力计62检测出的压力，控制所述驱动电动机61的动作。

具体的磨合运转是在适当通过配管将贮存着作动油的贮槽的该作动油与油压泵1的取入孔5连接并且将用来使作动油返回到所述贮槽的回送管连接到喷出孔6后，在利用所述控制装置64的控制下，将驱动电动机61驱动而使油压泵1如图7所示那样动作，由此进行磨合运转。

即，控制装置64一边监视由所述压力计62检测出的压力、及由转矩检测器63检测出的轴转矩，一面将驱动电动机61驱动而使齿轮20、25旋转，并且使其旋转速度慢慢增加。由此，开始如下油压泵1的泵动作，即，将作动油从所述贮槽供给到取入孔5，另一方面，将经过加压的作动油从喷出孔6喷出并使其回流到所述贮槽；伴随着齿轮20、25的旋转速度的增加，从喷出孔6喷出的作动油的压力从初始值的pl慢慢上升。

当从喷出孔6喷出的作动油的压力、即由压力计62检测出的压力上升时，齿轮20、25被向取入孔5侧推压而压抵于液压室4的内周面3a，由转矩检测器63检测出的轴转矩也与此相应地上升，此时，利用齿轮20、25的齿尖对液压室4的内周面3a进行去除加工。

而且，控制装置64当由压力计62检测出的压力达到最初的设定压力ph1时，使驱动电动机61停止而使喷出孔6的作动油的压力降低到初始值pl。此后，控制装置64一边监视由所述压力计62检测出的压力、及由转矩检测器63检测出的轴转矩一边控制驱动电动机61，使喷出孔6侧的作动油压力在高压的ph1与低压的pl之间呈锯刀状地增减。

这样一来，通过使喷出孔6侧的作动油压力在高压的ph1与低压的pl之间呈锯刀状地增减，利用齿轮20、25的齿尖慢慢地对液压室4的内周面3a进行去除加工，在喷出孔6侧的作动油压力达到ph1时，由转矩检测器63检测出的轴转矩也慢慢降低，变得低于预先设定的基准值。

这样一来，在喷出孔6侧的作动油压力达到ph1时，如果由转矩检测器63检测出的轴转矩、即作用于齿轮20、25的轴转矩低于基准值，那么控制装置64将高压的压力设定为比压力ph1高特定压力的压力ph2，同样一边使其呈锯刀状地增减，一边监视由转矩检测器63检测出的轴转矩。当将压力从ph1提高到ph2时，与此相应地，将齿轮压抵于液压室的内周面的力上升，轴转矩也上升，液压室4的内周面3a的去除加工增进该力上升量，此后，通过使喷出孔6侧的作动油压力呈锯刀状地增减，以与所述同样的方式，慢慢推进液压室4的内周面3a的去除加工，作用于齿轮20、25的轴转矩慢慢降低而成为低于基准值的状态。

控制装置64此后同样地反复进行将高压的压力ph设定为高特定压力的压力phn一边使其呈锯刀状地增减一边监视作用于齿轮的轴转矩的步骤(循环)，在通过该循环轴转矩成为不超过基准值的状态时，视为已完成去除加工而结束磨合运转。

这样一来，在本例中，对齿轮20、25的齿尖、即在磨合运转时表现去除加工的作用部的表面粗糙度rz以成为5～20μm的范围内的方式进行改质，因而获得良好的去除加工性，与齿尖的表面粗糙度rz为3μm以内的以往相比，能够使所述液压室4的内周面3a成为平滑的表面，并且使齿轮20、25的齿尖外表面与液压室4的内周面3a之间的间隙变得极小，使齿轮20、25的齿尖外表面与液压室4的内周面3a密接，这样通过密接，能够防止液体从该部分泄漏(leak)，其结果，能够防止产生所述噪音的问题或机械效率及容积效率降低的问题，从而能够以比以往短的时间完成磨合运转。

另外，以往由于为了防止因去除加工导致液压室4的内周面3a粗糙而将高压的压力ph慢慢提高，所以必须将磨合运转时的反复循环设定为多个循环，磨合运转所需时间需要150分钟左右，但如本例这样，通过对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为5～20μm的方式进行改质，能够实现良好的去除加工性，从而以90分钟左右完成磨合运转。这样一来，根据本发明，能够将磨合运转时间削减4成左右，从而能够谋求其效率化。

而且，根据本例，不仅能够以所述方式进行有效率的磨合运转，还能够获得具有即便与以往相比也不逊色的同等安静性的油压泵1。在图5及图6中，在与比较例的比较中，表示实施例的油压泵的安静性。图5表示利用噪音计测定使实施例1及2、以及比较例1及2的油压泵以其喷出孔6侧的作动油压力成为1mpa、10mpa、14mpa的方式分别运转时的噪音所得的结果，图6是将所述结果图表化所得的图。

实施例1的油压泵是对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为5μm的方式进行改质，实施例2的油压泵是对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为20μm的方式进行改质，以90分钟左右完成所述磨合运转。另一方面，比较例1的油压泵是对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为25μm的方式进行改质，此后，以90分钟左右完成所述磨合运转，比较例2的油压泵是以往的油压泵，不进行齿轮20、25的齿尖的表面改质，此外，以与以往相同的条件进行磨合运转，磨合运转需要大约150分钟左右。

由图5及图6可知，对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为5～20μm的范围内的方式进行改质的实施例1及2的油压泵，均具有与以往的油压泵(比较例2)同等以下的安静性。另一方面，对齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为25μm的方式进行改质的比较例1的油压泵，与以往的油压泵(比较例2)、以及实施例1及2的油压泵相比噪音变得特别大。

如以上那样，通过本例的制造方法制造的油压泵1的液压室4的内周面3a的表面粗糙度良好，能够缩短磨合运转所需时间，并且在磨合运转后，也不会产生噪音或机械效率及容积效率降低的问题。

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明可以采取的具体的态样并不受其任何限定。

例如，更优选为，对所述齿轮20、25的齿尖以其表面粗糙度rz成为5～15μm的范围内的方式进行表面改质。

此外，在上例中，对所述齿轮20、25的至少以其轴线20a、25a为中心介隔其齿尖棱线20b、25b的-1.25度～1.25度的角度范围的齿尖区域进行表面改质，当然，包含对其他区域进行改质的态样，但由于存在噪音变大的倾向，因而优选为视需要对适当的区域进行改质。

此外，表面改质的方法包括各种方法，例如也可以通过使用金属刷以外的工具的加工、或微粒喷丸等进行改质。

此外，在通过赋予条痕而进行表面改质的情况下，该条痕也可以形成在无指向性的随机方向上。

此外，在上例中，例示了油压泵作为液压装置，当然并不限于此，也包括油压电动机等利用液压的其他装置。此外，在上例中，例示了在齿轮20、25与轴承部件30、35之间设置着侧板40、45及区划密封件50、51的情况，也可以是不具有侧板40、45或区划密封件50、51的液压装置。

此外，在上例中，对齿轮20使用右旋的斜齿轮，对齿轮25使用左旋的斜齿轮，当然并不限于此，也可以对齿轮20使用左旋的斜齿轮，对齿轮25使用右旋的斜齿轮。

工业上的可利用性

本发明可以较佳地应用在液压装置的领域。

附图标记说明

1油压泵

2外壳

3主体

3a内周面

4液压室

5取入孔

6喷出孔

7前盖

8末端盖

20、25(螺旋)齿轮

21、22、26、27旋转轴

30、35轴承部件

40、45侧板

60磨合运转装置

61驱动电动机

62压力计

63转矩检测器

64控制装置