10c、10d、1e0更准确地，在真空泵3的入口 8和出口 9之间，级间通道将前一泵浦级的出口连接至后一泵浦级的入口。
[0053]清洗装置11配置成将诸如氮气的清洗气体注入泵浦级10a、10b、10c、10d、1e。清洗装置11包括分配器，该分配器也称作“竖笛式件”并且包括与真空泵3所包括的泵浦级一样多的分支，从而将清洗气体从气源14分配至五个泵浦级10a、10b、10c、10d、1e的每个。从清洗装置11的注射通常在沿着泵浦级10a、10b、10c、10d、10e分布的多个点处通过通向相关联的泵浦级的排气装置的喷嘴执行。在第一和最终泵浦级10a、10e中，清洗气体例如与真空泵3的轴承齐平地注射。清洗气体的流速例如介于35和10slm之间(即，介于 58333Pa.1/s 和 166666Pa.1/s 之间)。
[0054]清洗气体使来自加工室2的气体能被稀释，特别是为了保证定子和转子之间以及干式主真空泵3的转子叶片之间的工作间隙的一致性。
[0055]真空泵3的止回阀13允许气体被迫沿泵浦方向(见图1中的箭头F)从加工室2向排气导管12流动，并且由此防止泵浦入真空泵3中的气体返回。在工作中，通过将气体压缩并将其通过止回阀13传送至排气导管12，真空泵3将加工室2泵浦成低压。当真空泵3的出口压力比排气压力低时，止回阀13关闭。由此防止大气返回到出口 9中。
[0056]第一含阀装置5插置在干式主真空泵3的清洗装置11和气源14之间，该第一含阀装置5连接至该气源14。
[0057]控制装置可以是装备有程序的计算机、微控制器或控制器，该程序的任务是控制该泵浦设备的元件，从而执行该方法的步骤。该控制装置配置成在加工室处于极限真空工作时，至少部分地关闭第一含阀装置5。
[0058]根据第一示例，第一含阀装置5在关闭位置完全切断气源14和清洗装置11之间的气流，由此切断向至少一个泵浦级10a、10b、10c、1cUlOe的清洗装置11的气体供应。
[0059]根据另一示例，第一含阀装置5在几乎关闭的位置显著地减少向至少一个泵浦级10a、10b、10c、1cUlOe的清洗装置11的气体供应14。因此，向清洗装置11供应的气体供应14的流速一即约35至10slm—在极限真空工作中减小至介于20和200sccm之间(即，介于33和333Pa.1/s之间)的流速。
[0060]因此，相对于稀释加工气体所需的清洗气体流，第一含阀装置5允许经过的清洗气体的余流可以忽略。由气源14固定不变地传送的清洗气体的该余流给予清洗装置11中的气体一个流向，从而防止来自加工室2的潜在的腐蚀性气体残留物在清洗装置11中聚集。
[0061]第一含阀装置5例如包括至少一个电磁阀5a，该至少一个电磁阀插置于干式主真空泵3的清洗装置11和气源14之间。
[0062]用于控制电磁阀5a的装置例如可以通过电气连接至其电源得到。电磁阀5a的电源例如经由第一导线7a连接至加工室2的开关。当加工室2处于极限真空工作时，开关被打开，并且切断向电磁阀5a的电能供应，导致该电磁阀5a关闭，从而减少或完全切断向干式主真空泵3的清洗装置11的气体供应。
[0063]当然可以设想用于控制电磁阀5a的装置的其它实施例，例如可以电气连接和控制电磁阀5a的气压源。
[0064]在图1中的第一实施例中，第一含阀装置5布置在连接干式主真空泵3的所有分支的、清洗装置11的分配器的公用管线上。由此同时减少或切断向所有泵浦级10a、10b、10c、1cU 1e的气体供应14。
[0065]在图2所示的另一实施例中，第一含阀装置5配置成选择性地为泵浦级10a、10b、1cUOdUOe供应清洗气体。例如，第一含阀装置5包括与清洗装置11所包括的分支一样多的电磁阀5a，各电磁阀5a布置在清洗装置11的各分支中，从而选择性地同时减少或切断向一个或多个泵浦级10a、10b、10c、1cU1e的气体供应14。
[0066]控制装置例如配置成至少部分地关闭第一含阀装置5的与除了第一泵浦级1a之外的泵浦级10b、10c、10d、10e相关联的那些电磁阀5a，并且在加工室2处于极限真空工作时，打开第一泵浦级1a的第一含阀装置5的电磁阀5a。因此减少或切断流向除了第一泵浦级1a之外的泵浦级10b、10c、10d、10e的清洗气体，而保留通过低压泵浦级1a的清洗气体流。该清洗气流允许保证对真空泵3的泵浦级的最小保护。
[0067]该控制装置还配置成在加工室2处于极限真空工作时打开第二含阀装置6。
[0068]如可在图1和2中看出的，泵浦设备I的辅助泵浦装置4安装在绕过真空泵3的止回阀13的管线上。
[0069]第二含阀装置6在辅助泵浦装置4的上游并且与该辅助泵浦装置4串联地安装在绕过止回阀13的管线上。
[0070]当加工室2没有处于极限真空工作时，第二含阀装置6关闭，使辅助泵浦装置4的入口与排气导管12隔离，并且第一含阀装置5打开，气体被供应至用于清洗泵浦级10a、10b、10c、1d 和 1e 的装置。
[0071]响应于加工室2处于极限真空工作的信号，第二含阀装置6打开，第一含阀装置5至少部分地关闭，从而切断或减少向干式主真空泵3的清洗装置11的气体供应，并使辅助泵浦装置4与排气导管12流体连通。
[0072]经过干式主真空泵3的泵浦级的清洗气体的流速的减小和干式主真空泵3的出口9处的压力的减小允许得到干式主真空泵3的入口 8处的非常低的吸气压力，以及因此加工室2中的非常低的极限真空压力。由此可以使加工室2中的极限压力减小十倍。
[0073]另外，为了减少电能消耗，可以仅在加工室2处于极限真空工作时起动辅助泵浦装置4。
[0074]根据图1中所示的第一实施例，第二含阀装置6包括校准的止回阀6a，该止回阀6a在辅助泵浦装置4起动时打开。控制装置配置成在加工室2处于极限真空工作时起动辅助泵浦装置4。
[0075]辅助泵浦装置4例如一旦被供电就起动。该辅助泵浦装置4的电源因此例如经由第二电线7b连接至加工室2的信号发生装置。
[0076]辅助泵浦装置4例如是膜式泵4a。
[0077]止回阀6a在关闭时使辅助泵浦装置4的入口与排气导管12隔离。响应于加工室2达到极限真空工作的事实，一电子开关被打开，导致辅助泵浦装置4被供电并因此起动。止回阀6a当辅助泵浦装置4起动时自动打开，在止回阀6a下游产生的真空使得该止回阀6a打开。
[0078]第一含阀装置6的控制装置因此是不需要电气连接至加工室2的自动装置。
[0079]在图3的实施例中，第二含阀装置6的控制装置包括电磁阀6b。
[0080]该控制装置配置成在加工室2处于极限真空工作时打开第二含阀装置6的电磁阀6b，由此使辅助泵浦装置4与排气导管12连通。
[0081]例如，电磁阀6b的电源经由第三电线7c连接至加工室2的信号发生装置。因此，加工室2的信号发生装置的开关的打开允许电磁阀6b被供电，以导致该电磁阀6b打开。
[0082]在图3所示的第三实施例中，辅助泵浦装置4包括喷射器4b。
[0083]喷射器4b包括导管22和动力气体注射装置。
[0084]如图4a、4b和4c中更清晰地示出的，导管22包括吸气孔16、排气孔17和通向导管22的内部空间的至少一个进气喷嘴18a、18b、18c。吸气孔16和排气孔17分别经由第一和第二通道19、20(图3)连接至排气导管12。用于注射动力气体的装置配置成控制加压动力气体以高速向至少一个进气喷嘴18a、18b、18c中的注入。
[0085]在所示示例中，喷射器4b是多级喷射器，即，该喷射器4b包括多个进气喷嘴18a、18b、18c，这些进气喷嘴在吸气孔16和排气孔17之间沿着导管22分布，并且限定多个级。喷射器4b例如包括三个级，每个级由两个相互面对的进气喷嘴18a、18b、18c限定。进气喷嘴18a、18b、18c例如沿着导管22规则地成对分布。根据所需的压力和流速，动力气体被注入喷射器4b的零个、一个或一个以上级中。通过动力气体注入同时激活多个级使得可增加喷射器4b的泵浦率。喷射器4b还包括诸如枢转阀的阀21，该阀与各进气喷嘴18a、18b、18c相关联，从而在没有注射动力气体时堵塞所述进气喷嘴。
[0086]喷射器是一种基于文丘里效应运行的泵浦装置:由于流体动力学，通过流体横截面的收缩使得气态粒子或液体加速，并且在通道颈部处产生吸力。通过使压缩气体经过进气喷嘴18a、18b、18c，在各级中产生吸力。
[0087]用于注射动力气体的装置包括动力气体分配网15，该动力气体分配网15用于选择性地将动力气体注入各进气喷嘴18a、18b、18c中。用于注射动力气体的装置可以选择性地控制动力气体向零个、一个或多个喷射器级4b中的注入。
[0088]在图4a的示例中，用于注射动力气体的装置控制动力气体向所有喷射器级4b中的注入，而在图4b中，用于注射气体的装置控制仅向喷射器4b的最后两级中的动