力气体注入，在图4c中则控制仅向喷射器4b的最后级中的注入。
[0089]当加工室2处于极限真空工作时，控制装置至少部分地关闭第一含阀装置5，并打开第二含阀装置6以使喷射器4b与排气导管12流体连通。
[0090]减少或切断经过干式主真空泵3的清洗装置的气流和减小干式主真空泵3的出口压力9允许减小加工室2中的极限压力的阈值。
[0091]另外，使用喷射器4b作为辅助泵浦装置4允许经由动力气体的膨胀而不使用移动部分一从而不消耗电能，并以不涉及磨损或维护的方式一不是例如隔膜泵或活塞泵的情况一减小干式主真空泵3的出口 9处的压力。
[0092]另外，喷射器具有非常紧凑的优点，从而泵浦装置能够保持小体积。同样地，喷射器很好地抵抗腐蚀性气体的腐蚀或侵蚀，因此使得泵浦设备非常可靠。另外，喷射器是廉价的。
[0093]为减少能耗，可以仅在加工室2处于极限真空工作时起动喷射器4b。
[0094]这可以通过向喷射器4b的用于注射动力气体的装置供应来自干式主真空泵3的清洗装置11的气体来明智地实现。因此，压缩的一通常压缩到介于2和3巴之间一清洗气体一该清洗气体事实上不再被用于供应干式主真空泵3的清洗装置11 一的可用性被用于为喷射器4b供应动力气体。
[0095]为此，第一含阀装置5也连接至喷射器4b的用于注射动力气体的装置，并且第一含阀装置5配置成将干式主真空泵3的清洗装置11的气源14转换至喷射器4b的用于注射动力气体的装置。
[0096]例如，第一含阀装置5包括两个二通电磁阀。第一电磁阀包括连接至干式主真空泵3的清洗装置11的第一端口和连接至气源14的第二端口。第二电磁阀包括连接至喷射器4b的用于注射动力气体的装置的第一端口和连接至气源14的第二端口。
[0097]用于控制第一含阀装置5的装置例如可通过电气连接其电磁阀得到。
[0098]在第二实施例中，第一含阀装置5包括诸如三通电磁阀的三通阀5b、连接至干式主真空泵3的清洗装置11的第一端口、连接至气源14的第二端口、连接至喷射器4b的用于注射动力气体的装置的第三端口。因此，简化了从干式主真空泵3至喷射器4b的用于注射动力气体的装置的气源14的切换控制。
[0099]第二含阀装置6可以包括在喷射器4b起动时自动打开的校准的止回阀6a。控制装置配置成在加工室2处于极限真空工作时起动喷射器4b，即将动力气体注入至少一个进气喷嘴18a、18b、18c中。
[0100]可选择地，第二含阀装置6可以包括电磁阀6b (图3)。
[0101]另外，第二含阀装置6可以配置成在接收到指示加工室2处于极限真空工作的信号时打开，并且在预设时间段一例如约3秒之后关闭。用于注射动力气体的装置因此被控制成基于来自加工室2的指示其处于极限真空工作的信号注射非常短时间段的动力气体。特别地，如果泵浦管线处于极限真空工作，并且不被供应新气流，则由喷射器4b的起动引起的压力减小可以无限期地持续。将动力气体短时间地偶然供应至喷射器4b允许进一步优化氮气损耗。
[0102]因此，当第二含阀装置6关闭时，没有动力气体被注射，阀21关闭，并且隔离喷射器4b的导管22的内部空间。
[0103]当加工室2处于极限真空工作时，控制装置至少部分地关闭第一含阀装置5，并切换向喷射器4b的一个或更多入口 18a、18b、18c的清洗气体供应。
[0104]相关联的阀21打开，以允许动力气体渗入喷射器4b中，因此在与排气导管12连通的导管22中产生压降，从而使真空泵3的出口压力9降低。
[0105]因此，该泵浦设备I允许容易且廉价地得到用于基材的低压加工的低极限真空压力和令人满意的泵浦速度。
【主权项】
1.泵浦设备，该泵浦设备旨在连接至加工室(2)，该泵浦设备包括: -干式主真空泵(3)，该干式主真空泵具有: 〇入口⑶和出口(9)， 〇布置在入口 (8)和出口 (9)之间的至少一个泵浦级(10a、10b、10c、10d、1e)， 〇清洗装置(11)，该清洗装置配置成将清洗气体注入所述泵浦级(10a、10b、10c、10d、1e)中， 〇连接至出口(9)的排气导管(12)，和 O布置在排气导管(12)中的止回阀(13); -喷射器(4b)，该喷射器安装在绕过该止回阀(13)的管线上，该喷射器(4b)包括: O具有吸气孔(16)、排气孔(17)和至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)的导管(22)，和 O用于注射动力气体的装置，它用于控制动力气体向至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)中的注入；和 -第一含阀装置(5)，该第一含阀装置连接至该干式主真空泵(3)的清洗装置(11)，并且旨在与气源(14)连接， 其特征在于，连接至清洗装置(11)的该第一含阀装置(5)还与该用于注射动力气体的装置相连，并且配置成至少部分地切换从干式主真空泵(3)的清洗装置(11)到该喷射器(4b)的用于注射动力气体的装置的气体供应(14)。
2.根据权利要求1所述的泵浦设备，其特征在于，该泵浦设备包括第二含阀装置(6)和控制装置，该第二含阀装置在喷射器(4b)上游安装在绕过止回阀(13)的管线上，该控制装置配置成根据加工室(2)的工作状态控制第一和第二含阀装置(5、6)。
3.根据前述权利要求之一所述的泵浦设备，其特征在于，第一含阀装置(5)包括三通电磁阀(5b) ο
4.根据前述权利要求之一所述的泵浦设备，其特征在于，该喷射器(4b)是多级喷射器。
5.根据前述权利要求之一所述的泵浦设备，其特征在于，该第一含阀装置(5)包括能由该控制装置控制的至少一个电磁阀(5a、5b)。
6.根据权利要求5所述的泵浦设备，其中，该干式主真空泵(3)包括多个泵浦级(10a、10b、10C、10d、10e)，该清洗装置(11)包括多个分支，所述多个分支用于将清洗气体分配至各泵浦级(10a、10b、10c、1cUlOe)，该第一含阀装置(5)包括多个电磁阀(5a)，每个电磁阀(5a)布置在相应的分支中。
7.根据权利要求2和6所述的泵浦设备，其特征在于，该控制装置配置成至少部分地关闭第一含阀装置(5)的与除了第一泵浦级(1a)之外的泵浦级(10b、10c、1cUlOe)相关联的那些电磁阀(5a)，并且在加工室(2)处于极限真空工作时打开第一泵浦级(1a)的第一含阀装置(5)的电磁阀(5a)。
8.根据前述权利要求之一并且结合权利要求2所述的泵浦设备，其特征在于，第二含阀装置(6)包括能由该控制装置控制的电磁阀(6b)。
9.根据权利要求5至8之一所述的泵浦设备，其特征在于，电磁阀(5a、5b、6b)的电源连接至加工室(2)的开关。
10.根据权利要求1至7之一并且结合权利要求2所述的泵浦设备，其特征在于，第二含阀装置(6)包括在喷射器(4b)起动时打开的、校准的止回阀(6a)。
11.泵浦方法，用于经由根据前述权利要求之一所述的并连接至加工室的泵浦设备(I)来泵浦加工室，其特征在于，通过在加工室(2)处于极限真空工作时起动喷射器(4b)来减少向干式主真空泵(3)的清洗装置(11)的气体供应以及降低与该干式主真空泵(3)的出口(9)相连的排气导管(12)中的压力，喷射器(4b)的用于注射动力气体的装置被供应有来自干式主真空泵(3)的清洗装置(11)的气体。
12.根据权利要求11所述的泵浦方法，其特征在于，仅当加工室(2)处于极限真空工作时起动喷射器(4b)。
13.根据权利要求11或12所述的泵浦方法，其特征在于，当加工室(2)处于极限真空工作时，清洗装置(11)的气体供应(14)的流速介于20和200sccm之间。
【专利摘要】本发明涉及一种旨在连接加工室(2)的泵浦设备，它包括干式主真空泵(3)、安装成被该真空泵(3)上的止回阀(13)绕过的辅助泵浦装置(14)、连接到用于清洗该干式主真空泵(13)的装置(11)上并且旨在连接气源(14)的第一阀装置(5)、安装成被辅助泵浦装置(4)上游的止回阀(13)绕过的第二阀装置(6)以及控制装置，该控制装置构造成基于加工室(2)的工作状态控制该第一和第二阀装置(5，6)，以便当加工室(2)处于极限真空工作状态时使第一阀装置(5)至少部分地关闭并使第二阀装置(6)打开。本发明还涉及用于通过这种泵浦设备(1)泵浦加工室(2)的方法。
【IPC分类】F04F5-00, F04C23-00, F04C29-00, F04B37-14, F04C28-02, F04F1-00, F04C25-02
【公开号】CN104541061
【申请号】CN201380037929
【发明人】B·赛格特
【申请人】阿迪克森真空产品公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2013年7月15日
【公告号】EP2875240A2, US20150170938, WO2014012896A2, WO2014012896A3