专利名称：手动探针台结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种手动探针台结构。
背景技术：
DMOS (Double-diffused Metal Oxide Semiconductor,双扩散金属氧化物半导体场效应管)具有源、漏、栅等电极，但是漏端击穿电压高。DMOS主要有两种类型，分别为垂直双扩散金属氧化物半导体场效应管VDMOSFET (vertical double-diffused M0SFET)和横向双扩散金属氧化物半导体场效应管LDM0SFET(lateral double-dif fused M0SFET)。DMOS产品是由成百上千的单一结构的DMOS单元所组成的。这些单元的数目是根据一个芯片所需要的驱动能力所决定的，DMOS的性能直接决定了芯片的驱动能力和芯片面积。对于一个由多个基本单元结构组成的LDMOS产品，其中一个最主要的考察参数是导通电阻。对于LDMOS产品应尽可能减小导通电阻。当导通电阻很小时，产品就会提供一个很好的开关特性，因为小的导通电阻，会有较大的输出电流，从而可以具有更强的驱动能力。DMOS的主要技术指标有:导通电阻、阈值电压、击穿电压等。在功率应用中，由于DMOS技术采用垂直器件结构，因此具有很多优点，包括高电流驱动能力、低导通电阻和高击穿电压
坐寸ο探针台结构是主要应用于半导体行业以及光电行业的测试的设备。所述探针台结构从操作上来区分包括手动探针台结构、半自动探针台结构以及全自动探针台结构。所述探针台结构从功能上来区分包 括高温探针台结构、低温探针台结构、RF探针台结构、LCD平板探针台结构、霍尔效应探针台结构以及表面电阻率探针台结构。现有技术中一种手动探针台结构，其包括吸盘结构以及设于吸盘结构上方的若干探针。所述吸盘结构没有施加电压的功能。在一般半导体制程中，需要对DMOS产品进行全面测试验证，DMOS产品的正面可以通过手动探针台上的探针接导线进行测试验证，而DMOS产品的反面与吸盘结构接触，必须吸盘结构上通有电压才能对其进行测试验证，而一般现有技术中手动探针台结构中的吸盘结构无法加载电压，这样就无法对DMOS产品的反面进行测试验证。为了解决这一问题，现有技术中也有通过对手动探针台结构中吸盘结构的结构特征进行改造，使得改造后的吸盘结构能够具有施加电压的功能，但颠覆传统的吸盘结构的改造方式其改造成本比较高。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有改良结构的手动探针台结构，以克服上述缺陷。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种手动探针台结构，该手动探针台结构中的吸盘结构为一传统结构的吸盘，但是该吸盘结构具有施加电压的功能，有助于对DMOS产品进行全面测试验证。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
一种手动探针台结构，其包括吸盘结构以及设于吸盘结构上方的若干探针，所述手动探针台结构还设有主连接线以及与主连接线连接的插针，所述吸盘结构的边缘设有一个安装孔，所述插针插在安装孔内，所述主连接线的一端设有镊子夹头，所述镊子夹头夹持在插针上，所述主连接线的另一端与一电压载体连接。优选的，在上述手动探针台结构中，所述镊子夹头采用焊接的方式固定在主连接线的一端。优选的，在上述手动探针台结构中，所述手动探针台结构还包括环绕在镊子夹头与吸盘结构上以将主连接线的一端与吸盘结构稳固扎接在一起的扎线带。优选的，在上述手动探针台结构中，所述主连接线为三层屏蔽的电缆线。优选的，在上述手动探针台结构中，所述探针上接有导线，所述导线一端与所述探针连接，另一端与所述电压载体连接。从上述技术方案可以看出，本发明实施例的手动探针台结构通过在吸盘结构上设置一个安装孔以及插接在安装孔内的插针，仅利用一根主连接线将电压传递到吸盘结构上，使得吸盘结构具有施加电压的功能，结构简单且操作方便，且有助于对DMOS产品进行全面测试验证。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本发明的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本发明手动探针台结构的示意图。1、吸盘结构2、探针3、主连接线4、镊子夹头5、电压载体连接
具体实施例方式DMOS (Double-diffused Metal Oxide Semiconductor,双扩散金属氧化物半导体场效应管)具有源、漏、栅等电极，但是漏端击穿电压高。DMOS主要有两种类型，垂直双扩散金属氧化物半导体场效应管VDMOSFET (vertical double-diffused M0SFET)和横向双扩散金属氧化物半导体场效应管 LDM0SFET (lateral double-dif fused M0SFET)。DMOS产品是由成百上千的单一结构的DMOS单元所组成的。这些单元的数目是根据一个芯片所需要的驱动能力所决定的，DMOS的性能直接决定了芯片的驱动能力和芯片面积。对于一个由多个基本单元结构组成的LDMOS产品，其中一个最主要的考察参数是导通电阻。对于LDMOS产品应尽可能减小导通电阻。当导通电阻很小时，产品就会提供一个很好的开关特性，因为小的导通电阻，会有较大的输出电流，从而可以具有更强的驱动能力。在功率应用中，由于DMOS技术采用垂直器件结构，因此具有很多优点，包括高电流驱动能力、低导通电阻和高击穿电压等。探针台结构是主要应用于半导体行业以及光电行业的测试的设备。所述探针台结构从操作上来区分包括手动探针台结构、半自动探针台结构以及全自动探针台结构。所述探针台结构从功能上来区分包括高温探针台结构、低温探针台结构、RF探针台结构、LCD平板探针台结构、霍尔效应探针台结构以及表面电阻率探针台结构。现有技术中一种手动探针台结构，其包括吸盘结构以及设于吸盘结构上方的若干探针。所述吸盘结构没有施加电压的功能。在一般半导体制程中，需要对DMOS产品进行全面测试验证，DMOS产品的正面可以通过手动探针台上的探针接导线进行测试验证，而DMOS产品的反面与吸盘结构接触，必须吸盘结构上通有电压才能对其进行测试验证，而一般现有技术中手动探针台结构中的吸盘结构无法加载电压，这样就无法对DMOS产品的反面进行测试验证。为了解决这一问题，现有技术中也有通过对手动探针台结构中吸盘结构的结构特征进行改造，使得改造后的吸盘结构能够具有施加电压的功能，但颠覆传统的吸盘结构的改造方式其改造成本比较高。本发明公开了 一种手动探针台结构，该手动探针台结构中的吸盘结构为一传统的吸盘结构，通过在该吸盘结构上设置一个安装孔并在该安装孔内插入一个插针，然后通过一根主连接线将插针与电压载体连接，最终将吸盘结构、插针、主连接线以及电压载体共同连接形成一条线路，使得该吸盘结构具有施加电压的功能，进而可以便于对DMOS产品的反面进行测试验证。下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。请参阅图1所示，所述手动探针台结构，其包括吸盘结构I以及设于吸盘结构I上方的若干探针2。所述手动探针台结构还包括主连接线3、与主连接线3连接的插针以及电压载体5。所述插针安装于吸盘结构I上。所述主连接线3的一端与插针连接,所述主连接线3的另一端与电压载体5连接。请继续参阅图1所示，所述吸盘结构I的边缘设有一个安装孔，所述插针插在安装孔内。所述主连接线3为一根整线。所述主连接线3与插针连接的一端还设有一个镊子夹头4，所述镊子夹头4用以夹持在插针上。所述吸盘结构1、插针、镊子夹头4以及电压载体5连接共同形成一条线路，实现对吸盘结构I施加电压。在实际操作中，是将主连接线3的一端剪掉，然后取下剪掉端内的插针装在吸盘结构I的安装孔内，然后在主连接线3被剪掉的一端上用烙铁焊接一个所述镊子夹头4，此种通过焊接的方式将镊子夹头4固定在主连接线3上的方式，操作简单且固定可靠。本发明通过一根主连接线3，通过对该主连接线3进行剪切加工，最终实现对吸盘结构I施加电压，结构简单，且成本低。由于主连接线3的一端焊接的镊子夹头4夹持在吸盘结构I上的插针上，在手动操作吸盘结构I移动的过程中，很容易扯到主连接线3，进而使得镊子夹头4脱离插针，使得电压无法施加到吸盘结构I上。为此，本发明还设计了一个环绕在镊子夹头与吸盘结构上的扎线带，通过扎线带将主连接线3的一端与吸盘结构I固定在一起，使得镊子夹头4与插针夹持稳定。本发明实施手动探针台结构中的主连接线3为三层屏蔽的电缆线。因为在对DMOS产品进行全面测试验证的过程中，需要的电压很小，采用三层屏蔽的电缆线可以减小干扰，保证测试验证的准确度。所述探针2上接有导线，所述导线一端与所述探针2连接，另一端与所述电压载体5连接。如此设置，可以实现对DMOS产品正面的测试验证，结构简单，测试方便可靠。本发明实施例的手动探针台结构通过在吸盘结构I上设置一个安装孔以及插接在安装孔内的插针，只需要在普通的吸盘结构I上连接一根主连接线3就能实现对吸盘结构I进行电压施加，结构简单，成本低，且操作方便，有助于对DMOS产品进行全面测试验证，满足DMOS产品手动验证需求。本发明手动探针台结构通过在吸盘结构I上设置一个安装孔接插针来保证良好的导电性，结构简单，加工方便，且导电稳定。本发明手动探针台结构在实际操作中，是将主连接线3的一端剪掉，然后取下剪掉端内的插针装在吸盘结构I的安装孔内，然后再在主连接线3被剪掉的一端用烙铁焊接上一个镊子夹头4，通过对一根整的主连接线3进行剪切加工后，即可完成吸盘结构I电压的施加，结构简单，且成本低，并且通过焊接的方式将镊子夹头4固定在主连接线3上，操作简单，固定可靠。本发明手动探针台结构通过设置一个环绕在镊子夹头与吸盘结构上的扎线带，通过扎线带将主连接线3的一端与吸盘结构I固定在一起，使得镊子夹头4与插针夹持稳定。本发明手动探针台结构因为在对DMOS产品进行全面测试验证的过程中，需要的电压很小，通过将主连接线3采用三层屏蔽的电缆线，减小了干扰，保证测试验证的准确度。本发明手动探针台结构通过在所述探针2上接导线，所述导线一端与所述探针2连接，另一端与所述电压载体5连接。如此设置，实现对DMOS产品正面的测试验证，结构简单，测试方便可靠。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求
1.一种手动探针台结构，其包括吸盘结构(I)以及设于吸盘结构(I)上方的若干探针(2)，其特征在于:所述手动探针台结构还设有主连接线(3)以及与主连接线(3)连接的插针，所述吸盘结构(I)的边缘设有一个安装孔，所述插针插在安装孔内，所述主连接线(3)的一端设有镊子夹头(4)，所述镊子夹头(4)夹持在插针上，所述主连接线(3)的另一端与一电压载体(5)连接。
2.根据权利要求1所述手动探针台结构，其特征在于:所述镊子夹头(4)采用焊接的方式固定在所述主连接线(3)的一端。
3.根据权利要求1所述手动探针台结构，其特征在于:还包括环绕在所述镊子夹头(4)与所述吸盘结构(I)上以将所述主连接线(3)的一端与所述吸盘结构(I)稳固扎接在一起的扎线带。
4.根据权利要求1所述手动探针台结构，其特征在于:所述主连接线(3)为一根整线。
5.根据权利要求1所述手动探针台结构，其特征在于:所述主连接线(3)为三层屏蔽的电缆线。
6.根据权利要求1所述手动探针台结构，其特征在于:所述探针(2)上接有导线，所述导线一端与所述探针(2)连接，另一端与所述电压载体(5)连接。
全文摘要
本发明公开了一种手动探针台结构，其包括吸盘结构以及设于吸盘结构上方的若干探针，所述手动探针台结构还设有主连接线以及与主连接线连接的插针，所述吸盘结构的边缘设有一个安装孔，所述插针插在安装孔内，所述主连接线的一端设有镊子夹头，所述镊子夹头夹持在插针上，所述主连接线的另一端与一电压载体连接。本发明实施例的手动探针台结构通过在吸盘结构上设置一个安装孔以及插接在安装孔内的插针，仅利用一根主连接线将电压传递到吸盘结构上，使得吸盘结构具有施加电压的功能，结构简单且操作方便，且有助于对DMOS产品进行全面测试验证。
文档编号G01R1/04GK103091514SQ20111033235
公开日2013年5月8日 申请日期2011年10月27日 优先权日2011年10月27日
发明者吉仁文 申请人:无锡华润上华科技有限公司