技术总结
本发明公开了一种基于光镊介质微球的超分辨三维形貌测量方法，以介质微球为核心，采用光镊原理阵列化操控多个介质微球，灵活控制其三维空间位置，获得最佳成像效果。与此同时，通过DMD投影正弦光栅条纹对介质微球成像空间进行编码，利用其光场分布特性，解算受待测结构调制的介质微球编码图像，实现横向图形矫正以及纵向高度重建。该方法能够在远场区域，通过面成像方式，实现特征尺寸100nm以下的微纳器件三维形貌测量，同时具有高灵活性、高分辨力、并行、快速测量等优点。
技术研发人员：刘锡;唐燕;谢仲业;杨可君;赵立新;胡松
受保护的技术使用者：中国科学院光电技术研究所
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2018.11.30