Apm皮带速度实时监控装置及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及履带式作业模式下，履带速度的实时监控装置及方法。
【背景技术】
[0002]APM (履带式作业模式)的工作原理如图1所示，马达高速转动，通过转轴带动变速箱，变速箱把马达的速度转化为工艺需求的速度，再通过齿轮带动履带(皮带)运转。
[0003]在这种作业模式下，皮带的速度是通过监控马达的转速来监控的，即默认马达转速就是皮带速度。这种监控方法的缺点是:1)多重转换后，马达速度不能有效代表皮带速度；2)以小带大，通过转轴带动变速箱，而转轴由于长期磨损，很容易出现打滑，当转轴打滑时，马达速度不变，但是最后传递给皮带的速度却变慢了，导致皮带速度异常而机器探测不到的问题，从而直接影响到成膜的厚度。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题之一是提供一种APM皮带速度实时监控装置，它可以实时有效地监控皮带速度。
[0005]为解决上述技术问题，本发明的APM皮带速度实时监控装置，包括金属滚轮，安装在皮带下方，并和皮带直接接触，接触面长度在2厘米以上。
[0006]本发明要解决的技术问题之二是提供用上述装置实时监控APM皮带速度的方法。
[0007]为解决上述技术问题，本发明的APM皮带速度实时监控方法，步骤包括:
[0008]I)在皮带下方安装金属滚轮和皮带直接接触；
[0009]2 )皮带运转,带动滚轮反向同步转动；
[0010]3)监测滚轮的转速，将滚轮转速转化为皮带速度。
[0011]本发明通过在皮带下方加装滚轮，与皮带形成反向同步运动系统，利用滚轮的转速，监控皮带的速度，避免了多重转换和以小带大的问题，实现了 APM皮带速度的实时、有效监控。
【附图说明】
[0012]图1是现有APM的工作原理示意图。
[0013]图2是本发明实时监控APM皮带速度的工作原理示意图。
[0014]图3是本发明实施例的APM皮带速度实时监控装置结构图。
[0015]图4是图3装置的背面(A)和正面(B)结构图。
【具体实施方式】
[0016]为对本发明的技术内容、特点与功效有更具体的了解，现结合附图，详述如下:
[0017]本发明采用接触式滚轮方法实时监控APM的皮带速度，其工作原理如图2所示，皮带下方加装一个金属滚轮(必须用金属材质，以防止烫伤滚轮表面)，滚轮和皮带直接接触(接触面长度必须在2厘米以上，以确保滚轮无打滑)，且滚轮和皮带之间保持一定压力。
[0018]皮带运转时，皮带带动滚轮向与皮带相反的方向同步转动，两者形成一个实时相对运动系统，皮带实际速度实时传递给滚轮。由于是以大带小，滚轮不会出现磨损打滑现象，滚轮的转速可以代表皮带的速度，因此，通过监测滚轮的转速就可以实时监控皮带的速度了。
[0019]以下对本发明实施例的APM皮带速度实时监控装置的结构做一详细的说明。
[0020]请参阅图3-4所示，该APM皮带速度实时监控装置主要包括基座、滚轮和计速装置坐寸ο
[0021]1.基座。基座分为上、下两节。下节起安装稳固作用，通过连接弯头将基座固定在皮带下方开阔处的设备金属框体上(打孔安装稳固螺丝)。上节由两部分组成，第一部分由铁质框体与压簧组成，作用是通过压簧提供的弹压力，使得固定在连接面板上的滚轮与皮带正面接触产生反向同步运动；第二部分是连接面板，作用是连接基座与滚轮和滚轮的计速装置。
[0022]2.滚轮。滚轮是一个直径为10厘米的滚轴，滚轴的材质与皮带材质相符，均为铁镍合金。滚轮通过连接面板固定在基座上，并与水平位置的皮带呈向下倾斜45度角接触，如图4 (B)所示，以使滚轮产生反向同步运动。
[0023]3.计速装置。计速装置通过连接面板固定在基座上。计速装置外部有一个圆盘，圆盘边缘设计有缺口，该圆盘通过皮带与滚轮相连，实现与滚轮的同步运动；计速装置内置有速度计算模块，用于将圆盘转动速度转化为皮带速度。计速装置的工作原理是:滚轮转动，带动计速装置的圆盘转动，圆盘边缘前后有激光发射源和接收源，激光的光线通过圆盘设计缺口计为圆盘转动一圈，计速装置内置的速度计算模块将圆盘转动速度转化为皮带的速度(单位为inch / min)。
【主权项】
1.APM皮带速度实时监控装置，其特征在于，包括金属滚轮，安装在皮带下方，并和皮带直接接触，接触面长度在2厘米以上。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括基座，安装在皮带下方，所述基座包括框体、压簧和连接面板，所述框体和压簧用于弹压滚轮与皮带正面接触产生反向同步运动，所述连接面板用于将滚轮连接在基座上。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，还包括计速装置，所述计速装置带有一个圆盘，圆盘边缘设计有缺口，圆盘边缘前后设置有激光发射源和接收源，该圆盘通过另一条皮带与滚轮相连并同步运动；所述计速装置还内置有速度计算模块，用于将圆盘转动速度转化为皮带速度。
4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述滚轮与皮带呈45度角接触。
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述滚轮与皮带呈45度角接触。
6.APM皮带速度实时监控方法，其特征在于，步骤包括: 1)在皮带下方安装金属滚轮和皮带直接接触； 2)皮带运转，带动滚轮反向同步转动； 3)监测滚轮的转速，将滚轮转速转化为皮带速度。
【专利摘要】本发明公开了一种APM皮带速度实时监控装置，该装置主要包括金属滚轮，安装在皮带下方，并和皮带直接接触，接触面长度在两厘米以上。本发明还公开了基于上述装置实时监控APM皮带速度的方法。本发明通过在皮带下方加装滚轮，与皮带形成反向同步运动系统，利用滚轮的转速，监控皮带的速度，避免了多重转换和以小带大的问题，实现了APM皮带速度的实时、有效监控。
【IPC分类】G01P3-36
【公开号】CN104678121
【申请号】CN201310641632
【发明人】周俊, 严玮, 程望阳
【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年12月3日