专利名称：一种生产线设备的计时控制方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种生产线设备的计时控制方法及一种生产线设备的计时控制装置。
背景技术：
在目前生产的各个领域，为了满足设备维修和保养的需要、缩短设备的停机时间， 操作人员必须准确方便地了解当前设备零部件的使用情况，从而便于备件贮备和安排生 产。为保证设备的使用率和正常的生产，对设备零部件的使用寿命进行监控是十分重要的。由于设备零部件自身结构的不同，影响零部件使用寿命的因素也各不同。以半 导体刻蚀设备为例，影响其零部件使用寿命的因素主要有以下六种=Wafer Counter, Pin Counter, Time, SRF Hours, BRF Hours 禾口 TMP Hours。其中，Wafer Counter 用于统计 wafer (硅片)的总数；PinCoimter用于统计pin(针)的升降次数；Time是设备的使用时 间；SRFHours 用于表示源射频(Source Radio Frequency, SRF)的启辉时间；BRF Hours 用于表示下射频(Bias Radio Frequency, BRF)的启辉时间；TMP Hours用于表示分子泵 (Turbo Molecular Pump)正常工作的时间。可以理解的是，所述影响零部件使用寿命的因素实质上就是与零部件寿命相关的 信息源，也就是说，不同零部件的使用寿命将会直接与某一种或某几种信息源相关。例如， 对于典型的硅栅刻蚀工艺而言，当SRFHours达到预计寿命时，不同的石英件具有不同的 寿命，如石英窗(Quartzwindow)为2000RF小时，聚焦环(Focus ring)为300RF小时，即 石英窗和聚焦环的使用寿命与SRF Hours这个信息源相关；或如，波纹管(Bellow)与Pin Counter这个信息源相关。在实际中，信息源通常具有两种状态0N和0FF，这两种状态表 示影响零部件使用寿命的因素是否正在发挥作用。相应地，控制系统中一般会设定两个容 差来衡量零部件的使用情况，软容差(Soft Tolerance)和硬容差(Hard Tolerance) 0为对设备中不同零部件的寿命进行准确地记录，在具体应用中，一般会在生产线 设备的控制系统中针对各个零部件设置计时器，以对相应零部件的使用寿命进行计时。具 体可以参考图1所示的现有技术中一种生产线设备计时控制流程，包括如下步骤步骤101、在设备控制系统启动后，从指定目录文件中加载计时器信息；其中，所述计时器信息包括零部件的名称、信息源、计时器功能是否开启、计时器 当前值、软容差和硬容差等信息。步骤102、启动监控累加线程；将获取到的计时器信息分别赋值为程序中的变量，为计时器的累加做准备。步骤103、检测信息源状态，若为0N，则执行步骤104 ；若为0FF，则执行步骤105 ；步骤104、判断计时器的计时功能是否开启；若是，则执行步骤106 ；若否，则执行 步骤111 ；步骤105、保存当前计时器的信息至所述硬盘的指定目录文件，并执行步骤111 ；步骤106、计时器累加并更新计时器信息；
步骤107、判断计时器是否超过软容差，若是，则执行步骤108 ；否则执行步骤 109 ；步骤108、抛出PROBLEM报警，提示用户零部件即将达到使用寿命。步骤109、判断计时器是否超过硬容差，若是，则执行步骤110 ；否则执行步骤 111 ；步骤110、抛出ERROR报警，警告用户零部件已经达到使用寿命并应及时更换备 件；步骤111、延迟固定时间后，返回步骤103。这种现有的计时控制方法主要存在以下缺点1、在控制系统运行期间，启动的监控累加线程总是需要在延迟固定的时间内循环 监测信息源状态的变化，并根据该变化来决定计数器是否累加和更新信息。这种轮询机制 在一定程度上造成了系统资源的浪费，影响了系统性能；并且，采用这种延迟固定时间循 环监测的方案也很难保证实际中计时功能整体执行周期的精准性，从而影响计时器的准确 性。2、现有技术将计时器的累加更新和监控都放到同一个线程中运行，并在设计时便 将计时器及关联的信息源固化在系统中，增加了系统的耦合度、不便于系统的升级和维护。因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是如何能够创新地 提出一种生产线设备的计时控制机制，使得用户可以自行地定制计时器及关联的信息源， 同时保证计时周期的精准性，提高计时相关信息的准确性，并降低系统的耦合度，节约系统 资源，提高系统性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种生产线设备的计时控制方法及装置，使得 用户可以自行地定制计时器及关联的信息源，同时保证计时周期的精准性，提高计时相关 信息的准确性，并降低系统的耦合度，节约系统资源，提高系统性能。为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种生产线设备的计时控制方法， 包括读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息；启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的时间间隔 产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控制信息执 行计时更新操作。优选的，所述计时控制信息包括计时器信息及关联的计时信息源信息、计时器的 计数值，以及报警阈值；所述计时更新操作包括获得当前计时信息源的状态，若为开启，则通知订阅该计时信息源的计时器；获得所述计时器当前的功能状态，若为开启，则更新所述计时器的计数值；在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信息。优选的，所述计时更新操作还包括若当前计时信息源的状态为关闭，则判断当次计时周期的时间是否到达；
若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述计时更新操作还包括若所述计时器的功能状态为关闭，则判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述计时更新操作还包括在所述更新的计时器计数值未超出所述报警阈值时，判断当次计时周期的时间是 否到达；若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述的方法，还包括启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保存操作，所述文件保存操 作包括每隔一定时间保存所述计时信息文件。优选的，所述文件保存操作还包括依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信息文件的即时保存。优选的，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。优选的，所述的方法，还包括启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时器具有设定的文件备份周期； 所述文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信息文件进行备份。优选的，所述计时更新线程、计时监控线程和文件备份线程并行执行。优选的，所述计时信息文件依据其对应的零部件设置。优选的，所述报警阈值包括硬容差和软容差，所述报警信息包括第一报警信息和 第二报警信息；所述超出报警阈值时输出报警信息的步骤包括判断所述更新的计时器计数值是否超过软容差，若是，则输出第一报警信息；若否，则判断所述更新的计时器计数值是否超过硬容差，若是，则输出第二报警信 肩、o为解决上述技术问题，本发明实施例还公开了一种生产线设备的计时控制装置， 包括文件读取模块，用于读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信 息；第一线程控制模块，用于启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用 于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据 当前的计时控制信息执行计时更新操作。优选的，所述计时控制信息包括计时器信息及关联的计时信息源信息、计时器的 计数值，以及报警阈值；所述第一线程控制模块包括计时器通知子模块，用于在当前计时信息源的状态为开启时，通知订阅该计时信息源的计时器；计时器更新子模块，用于在所述计时器当前的功能状态为开启时，更新所述计时 器的计数值；报警子模块，用于在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信 肩、o优选的，所述第一线程控制模块还包括第一时间判断子模块，用于在当前计时信息源的状态为关闭时，判断当次计时周 期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述第一线程控制模块还包括第二时间判断子模块，用于在所述计时器的功能状态为关闭时，判断当次计时周 期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述第一线程控制模块还包括第三时间判断子模块，用于在所述更新的计时器计数值未超出所述报警阈值时， 判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待 子模块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。优选的，所述的装置，还包括第二线程控制模块，用于启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保 存操作，所述第二线程控制模块包括定时保存子模块，用于每隔一定时间保存所述计时信息文件。优选的，所述第二线程控制模块还包括即时保存子模块，用于依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信 息文件的即时保存。优选的，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。优选的，所述的装置，还包括第三线程控制模块，用于启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时器具 有设定的文件备份周期；所述文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信息文 件进行备份。优选的，所述计时更新线程、计时监控线程和文件备份线程并行执行。优选的，所述计时信息文件依据其对应的零部件设置。优选的，所述生产线设备为等离子体刻蚀设备，所述计时器信息包括石英窗 Quartz windowr的计时器信息、内衬Liner的计时器信息、喷嘴Nozzle的计时器信息和 /或调整支架GDP的计时器信息；所述计时器关联的计时信息源信息为源射频的启辉时间 SRF Hours。
与现有技术相比，本发明具有以下优点1、本发明通过在开启的计时更新线程中启动一个定时器(第一定时器)，根据该 定时器产生的恒定间隔的中断来有节奏地触发和管理各个零部件的计时更新操作，不仅保 证了计时周期的精准性，提高了计时相关信息的准确性，还有效减少了现有的轮询机制对 系统资源造成的浪费，降低了系统的耦合度；2、本发明通过开启计时监控线程，在该线程中执行间隔一定时间对计时信息文件 进行保存的操作，不仅可以避免频繁保存对系统造成的压力，节省系统的资源，提高系统的 性能，还能有效避免多种异常情况对计时相关信息的破坏。优选的是，所述计时监控线程还 可以依据用户修改计时控制信息的操作，如变更计时器与信息源的关联关系、重置软硬容 差值重置等操作，即时触发计时信息文件的保存，从而进一步保证计时信息文件的准确性。3、本发明还通过开启文件备份线程启动一个定时器(第二定时器)，依据该定时 器所设定的备份周期，自动将计时信息文件进行备份，以规避在计时信息文件损坏时，计时 信息丢失的潜在风险，使得相关操作人员在文件损坏的情况下，仍然可以了解零部件使用 寿命的近况。4、本发明中计时更新线程和计时监控线程；或者，计时更新线程、计时监控线程和 文件备份线程可以随生产线设备控制系统的启动而开启且并行执行；并且，本发明中各个 零部件计时器与其信息源的关联关系可以由相关操作人员根据实际生产需要自行定制，从 而进一步降低了系统的耦合度，便于系统的升级和维护。5、本发明中计时信息文件依据其对应的零部件设置，而不是如现有技术中对计时 信息的读取和保存都在同一个文件上进行，从而更有利于保证计时信息的准确性。
图1是一种半导体刻蚀设备硬件系统的结构示意图；图2是本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例1的步骤流程图；图3是本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例2的步骤流程图；图4是本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例3的步骤流程图；图5是本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例4的步骤流程图；图6是本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例1的结构框图；图7是本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例2的结构框图；图8是本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例3的结构框图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实 施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如多处理器系统、服 务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序 单元。一般地，程序单元包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组 件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序单元可以 位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。参考图2，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例1的步骤流程 图，具体可以包括以下步骤步骤201、读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息；步骤202、启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的 时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控 制信息执行计时更新操作。对于生产线设备一般均配置有相应的控制系统以控制生产线设备的运行，为监控 生产线设备中各个零部件的使用情况，通常会针对各个零部件配置计时器，各个计时器计 时的依据直接与一种或几种信息源相关。在本发明实施例中，各个零部件计时器与其信息 源的关联关系可以由相关操作人员根据实际生产需要自行定制，写入计时信息文件中，而 无需在设计时固化在系统中，从而降低系统的耦合度，便于系统的升级和维护。为尽可能真实地反映零部件的使用寿命，在本发明的一种优选实施例中，对于进 行计时控制所需的与计时器相关的信息(在本发明实施例中称之为计时控制信息)，可以 依据其所对应的零部件，单独保存在一份文件中(在本发明实施例中称之为计时信息文 件)。而不是采用现有技术中将所有零部件的计时控制信息都在同一个文件中的方式，从而 降低文件频繁读写带来的出错概率，以及，避免出现在文件异常损坏时，相关操作人员完全 无法获知计时控制信息的情形。在具体实现中，随着控制系统的启动，会触发生产线设备中相应零部件的计时信 息文件的读取操作，在获得计时信息文件中记录的计时控制信息后，如零部件名称、计时器 信息及其关联的计时信息源信息、计时器的计数值、计时器的报警阈值等，启动计时更新线 程，在该线程中设置有一个定时器(第一定时器)，该定时器用于按照固定的时间间隔产生 计时周期控制信号，在计时更新线程中，将在该定时器设定的一个计时周期内完成一次计 时更新的操作。现有技术中计时器累加更新的时间受到控制系统和硬件的影响，所以现有技术尽 管在设计中延迟固定时间，但计时器累加更新的时间和延迟的固定时间的总时间不固定， 即循环监控的时间会产生变化，进而导致计时周期不够精确。而本发明的计时周期由一个 独立定时器来实现，通过这种定时器产生的恒定间隔的中断，来有节奏地触发和管理各个 零部件的计时更新操作，相对于现有技术中采用的延迟固定时间的轮询机制而言，本发明 不仅保证了计时周期的精准性，提高了计时控制信息的准确性，还有效减少了轮询机制对 系统资源造成的浪费，节约了系统资源，提高了系统性能，并降低了系统的耦合度。参考图3，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例2的步骤流程 图，具体可以包括以下步骤步骤301、读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息，所述计时 控制信息包括计时器信息及关联的计时信息源信息、计时器的计数值，以及，作为报警阈 值的软容差和硬容差；步骤302、启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的 时间间隔产生计时周期控制信号；
步骤303、获得当前计时信息源的状态，若为开启(0N)，则执行步骤304 ；若为关闭 (OFF)，则执行步骤311 ；在实际中，计时信息源状态用于表示影响零部件使用寿命的因素是否正在发挥作 用。因为在实际使用中，零部件不是时时处于使用中。通常，当零部件关闭或低于设定的衡 量值时，信息源状态表示为OFF ；当零部件启动或达到设定的衡量值时，信息源状态表示为
ON0
步骤304、通知订阅该计时信息源的计时器；步骤305、获得所述计时器当前的功能状态，若为开启，则执行步骤306 ；若为关 闭，则执行步骤311 ；步骤306、更新所述计时器的计数值；例如，依据从文件中读取的计时器计数值进行累加。步骤307、判断所述更新的计时器计数值是否超过软容差，若是，则执行步骤308 ； 若否，则执行步骤311 ；步骤308、输出第一报警信息；在实际中，所述第一报警信息可以为PROBLEM报警信息，以提示用户零部件即将 达到使用寿命。步骤309、判断所述更新的计时器计数值是否超过硬容差，若是，则执行步骤310 ； 若否，则执行步骤311 ；步骤310、输出第二报警信息；在实际中，所述第二报警信息可以为ERROR报警，警告用户零部件已经达到使用 寿命并应及时更换备件。此时，用户可以使用备件将已达到使用寿命的零部件替换，重置计时器使其重新 开始计时；或者，可以选择继续使用已经达到使用寿命的零部件，将计时器功能暂停，暂时 不再使用计时器的计时功能。步骤311、判断当次计时周期的时间是否到达，若是，则执行步骤312 ；若否，则返 回继续等待至当次计时周期的时间到达。步骤312、等待下一次计时周期的触发，然后返回至步骤303。在具体实现中，当生产线设备的控制系统启动后，首先从指定的计时信息文件中 加载计时控制信息，在本实施例中，所述计时控制信息包括计时器信息及关联的计时信息 源信息、计时器的计数值，以及作为报警阈值的软容差和硬容差等，其中，计时器信息可以 包括计时器的功能状态，计时信息源信息可以包括计时信息源的状态。在实际中，所述计时 控制信息还可以进一步包括零部件的名称等。然后，将读取到的计时控制信息分别赋值为 程序中的变量。在这种情况下，所述计时器的功能状态、计时信息源的状态及计时器的计数 值在每次变化或更新时，会自动反映在相应的变量中，即上述信息并不需要系统每次读取 才能获得。在第一定时器的计时周期控制过程中，会根据当前信息源的状态变量来决定是否 打开事件触发器，即定时器的计时周期控制可以和计时信息源的状态变量相结合，组成事 件触发器，从而实现以事件(委托)的方式通知已经订阅信息来源的计时器。具体而言，如 果当前计时信息源的状态为0N，则打开事件触发器，通知所有已经订阅此信息来源的计时器，继而在事件的回调函数中对这些计时器进行累加和信息的更新。如果当前计时信息源 的状态为OFF，则不开启事件触发器，继续等待下一次第一定时器的计时周期触发信号。参考图4，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例3的步骤流程 图，具体可以包括以下步骤步骤41、读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息，所述计时控 制信息包括计时器信息及关联的计时信息源信息、计时器的计数值，以及，报警阈值；步骤42a、启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的 时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控 制信息执行计时更新操作，具体可以包括以下子步骤子步骤421、获得当前计时信息源的状态，若为开启，则通知订阅该计时信息源的 计时器；子步骤422、获得所述计时器当前的功能状态，若为开启，则更新所述计时器的计 数值；子步骤423、在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信息。步骤42b、启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保存操作，具体可 以包括以下子步骤子步骤424、每隔一定时间保存所述计时信息文件；子步骤425、依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信息文件的即 时保存。其中，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。本实施例调整了对于计时信息文件保存的时机，在实际中，计时监控线程会每隔 一段时间对计时信息文件进行保存(定时保存)，从而避免频繁保存对系统造成的压力；并 且，计时监控线程还可以监测计时控制信息被用户修改的情况，如修改计时器与信息来源 的关联关系、软硬容差值的重置等，一旦发现上述信息发生变化，则直接以事件的方式通知 系统进行计时信息文件的保存(即时保存)。从而进一步保证计时信息文件的准确性。参考图5，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制方法实施例4的步骤流程 图，具体可以包括以下步骤步骤51、读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息，所述计时控 制信息包括计时器信息及关联的计时信息源信息、计时器的计数值，以及，软容差和硬容 差；步骤52a、启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的 时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控 制信息执行计时更新操作；其中，所述计时更新操作可以包括子步骤al、获得当前计时信息源的状态，若为开启(0N)，则执行子步骤a2 ；若为关 闭(OFF)，则执行子步骤a9;子步骤a2、通知订阅该计时信息源的计时器；子步骤a3、获得所述计时器当前的功能状态，若为开启，则执行子步骤a4;若为关 闭，则执行子步骤a9;
子步骤a4、更新所述计时器的计数值；子步骤a5、判断所述更新的计时器计数值是否超过软容差，若是，则执行子步骤 a6 ；若否，则执行子步骤a7;子步骤a6、输出第一报警信息；子步骤a7、判断所述更新的计时器计数值是否超过硬容差，若是，则执行子步骤 a8 ；若否，则执行子步骤a9;子步骤a8、输出第二报警信息；子步骤a9、判断当次计时周期的时间是否到达，若是，则执行子步骤alO ；若否，则 返回继续等待至当次计时周期的时间到达。子步骤alO、等待下一次计时周期的触发，然后返回至子步骤al。步骤52b、启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保存操作；其中，所述文件保存操作可以包括子步骤bl、每隔一定时间保存所述计时信息文件；子步骤b2、依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信息文件的即 时保存。步骤52c、启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时器具有设定的文件 备份周期；所述文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信息文件进行备份。其中，所述计时更新线程、计时监控线程和文件备份线程并行执行。本实施例进一步增加了计时信息文件的备份功能，即通过启动一个文件备份线 程，触发一个第二定时器，实现每隔固定的备份周期，如1天，自动将计时信息文件进行备 份。以规避在计时信息文件损坏时，计时信息丢失的潜在风险，使得相关操作人员在文件损 坏的情况下，仍然可以了解零部件使用寿命的近况。为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下提供一种本发明在半导体刻蚀设备 上的实际应用示例对于典型的硅栅刻蚀工艺而言，以典型的SRF Hours信息源为例，与此信息源相关 的零部件有石英窗(Quartz window)、内衬(Liner)、喷嘴(Nozzle)和调整支架(OTP)的等。 而各零部件的使用寿命又各不相同。在实际应用中，对于各个零部件，即石英窗、内衬、喷嘴 和调整支架用户可以根据需要配置和定义对应的计时器。当设备控制软件启动时，各个计 时器的计时更新线程、计时监控线程和文件备份线程都随设备软件的启动而启动，SRF则会 根据相应工艺的要求而打开。在计时更新线程启动时，第一定时器触发一次计时周期开始，在该次计时周期内， 系统会根据SRF的开启状态通知相应各零部件的计时器，即石英窗、内衬、喷嘴和调整支架 的计时器，然后根据计时器当前的功能状态是否开启来决定是否更新记录各零部件寿命的 数据，并在更新的计时器计数值后即检查计数值是否超过预置的报警阈值时，若超过报警 阈值则抛出报警信息。在实际中，设备软件会为每个零部件的计时器配置一个计时信息文件，即在本例 中，会配置石英窗、内衬、喷嘴和调整支架的计时信息文件，在启动计时监控线程时，基于预 设的时间间隔，就会自动保存所述计时信息文件。不同的生产线设备有不同的信息源，零部 件与信息源的关联关系也不尽相同。
如果用户对某个零部件的计时控制信息发起了修改，那么所述计时监控线程还会 即时保存当前的计时信息文件。即在本例中，用户修改阈值、改变计时器当前的功能状态、 重新定义信息源的关联关系如将聚焦环与SRF的关联关系改为与BRF的关联关系等情况。在文件备份线程启动后，第二定时器会循环触发文件备份周期的开始，以按照该 文件备份周期对所述计时信息文件进行备份。对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但 是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某 些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描 述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和单元并不一定是本发明所必须的。参考图6，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例1的结构框图， 具体可以包括以下模块文件读取模块601，用于读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信 息；第一线程控制模块602，用于启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时 器用于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内 依据当前的计时控制信息执行计时更新操作。 在本发明的一种优选实施例中，所述计时控制信息可以包括计时器信息及关联 的计时信息源信息、计时器的计数值，以及，报警阈值；在这种情况下，所述第一线程控制模 块可以包括以下子模块计时器通知子模块，用于在当前计时信息源的状态为开启时，通知订阅该计时信 息源的计时器；计时器更新子模块，用于在所述计时器当前的功能状态为开启时，更新所述计时 器的计数值；报警子模块，用于在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信 肩、o更为优选的是，所述第一线程控制模块还可以包括以下子模块第一时间判断子模块，用于在当前计时信息源的状态为关闭时，判断当次计时周 期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。更为优选的是，所述第一线程控制模块还可以包括以下子模块第二时间判断子模块，用于在所述计时器的功能状态为关闭时，判断当次计时周 期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。更为优选的是，所述第一线程控制模块还可以包括以下子模块第三时间判断子模块，用于在所述更新的计时器计数值未超出所述报警阈值时， 判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待 子模块；
第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发；第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。参考图7，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例2的结构框图，具体可以包括以下模块文件读取模块701，用于读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信 息；第一线程控制模块702，用于启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时 器用于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内 依据当前的计时控制信息执行计时更新操作。第二线程控制模块703，用于启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件 保存操作，所述第二线程控制模块可以包括定时保存子模块，用于每隔一定时间保存所述计时信息文件。在本发明的一种优选实施例中，所述第二线程控制模块还可以包括即时保存子模块，用于依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信 息文件的即时保存。在本实施例中，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。参考图8，示出了本发明的一种生产线设备的计时控制装置实施例3的结构框图， 具体可以包括以下模块文件读取模块801，用于读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信 息；第一线程控制模块802，用于启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时 器用于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内 依据当前的计时控制信息执行计时更新操作。第二线程控制模块803，用于启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件 保存操作。第三线程控制模块804，用于启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时 器具有设定的文件备份周期；所述文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信 息文件进行备份。在本实施例中，所述计时更新线程、计时监控线程和文件备份线程并行执行。
在本发明实施例中，所述计时信息文件可以依据其对应的零部件设置。由于本发明的装置实施例基本相应于前述方法实施例，故上述装置实施例中的描 述未详尽之处，可以参见前述方法实施例中的相关说明，在此就不赘述了。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与 其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将 一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作 之间存在任何这种实际的关系或者顺序。以上对本发明所提供的一种生产线设备的计时控制方法及一种生产线设备的计 时控制装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的 一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所 述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
一种生产线设备的计时控制方法，其特征在于，包括读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息；启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控制信息执行计时更新操作。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计时控制信息包括计时器信息及关联 的计时信息源信息、计时器的计数值，以及报警阈值；所述计时更新操作包括获得当前计时信息源的状态，若为开启，则通知订阅该计时信息源的计时器； 获得所述计时器当前的功能状态，若为开启，则更新所述计时器的计数值； 在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信息。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述计时更新操作还包括 若当前计时信息源的状态为关闭，则判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述计时更新操作还包括 若所述计时器的功能状态为关闭，则判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。
5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述计时更新操作还包括在所述更新的计时器计数值未超出所述报警阈值时，判断当次计时周期的时间是否到达；若是，则等待下一次计时周期的触发；若否，则继续等待当次计时周期的时间到达。
6.如权利要求1、2、3、4或5所述的方法，其特征在于，还包括启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保存操作，所述文件保存操作包括每隔一定时间保存所述计时信息文件。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述文件保存操作还包括依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信息文件的即时保存。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。
9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时器具有设定的文件备份周期；所述 文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信息文件进行备份。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述计时更新线程、计时监控线程和文件 备份线程并行执行。
11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计时信息文件依据其对应的零部件设置。
12.如权利要求2或5所述的方法，其特征在于，所述报警阈值包括硬容差和软容差，所 述报警信息包括第一报警信息和第二报警信息；所述超出报警阈值时输出报警信息的步骤 包括判断所述更新的计时器计数值是否超过软容差，若是，则输出第一报警信息； 若否，则判断所述更新的计时器计数值是否超过硬容差，若是，则输出第二报警信息。
13.—种生产线设备的计时控制装置，其特征在于，包括文件读取模块，用于读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息； 第一线程控制模块，用于启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按 照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前 的计时控制信息执行计时更新操作。
14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述计时控制信息包括计时器信息及关 联的计时信息源信息、计时器的计数值，以及报警阈值；所述第一线程控制模块包括计时器通知子模块，用于在当前计时信息源的状态为开启时，通知订阅该计时信息源 的计时器；计时器更新子模块，用于在所述计时器当前的功能状态为开启时，更新所述计时器的 计数值；报警子模块，用于在所述更新的计时器计数值超出所述报警阈值时，输出报警信息。
15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述第一线程控制模块还包括第一时间判断子模块，用于在当前计时信息源的状态为关闭时，判断当次计时周期的 时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块； 第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发； 第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。
16.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述第一线程控制模块还包括第二时间判断子模块，用于在所述计时器的功能状态为关闭时，判断当次计时周期的 时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模块； 第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发； 第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。
17.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述第一线程控制模块还包括第三时间判断子模块，用于在所述更新的计时器计数值未超出所述报警阈值时，判断 当次计时周期的时间是否到达；若是，则触发第一等待子模块；若否，则触发第二等待子模 块；第一等待子模块，用于等待下一次计时周期的触发； 第二等待子模块，用于继续等待当次计时周期的时间到达。
18.如权利要求13、14、15、16或17所述的装置，其特征在于，还包括第二线程控制模块，用于启动计时监控线程，所述计时监控线程用于执行文件保存操 作，所述第二线程控制模块包括定时保存子模块，用于每隔一定时间保存所述计时信息文件。
19.如权利要求18所述的装置，其特征在于，所述第二线程控制模块还包括即时保存子模块，用于依据用户对计时控制信息的修改操作，触发对所述计时信息文 件的即时保存。
20.如权利要求19所述的装置，其特征在于，所述计时更新线程和计时监控线程并行执行。
21.如权利要求18所述的装置，其特征在于，还包括第三线程控制模块，用于启动文件备份线程，触发第二定时器，所述第二定时器具有设 定的文件备份周期；所述文件备份线程用于按照所述文件备份周期对所述计时信息文件进 行备份。
22.如权利要求21所述的装置，其特征在于，所述计时更新线程、计时监控线程和文件 备份线程并行执行。
23.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述计时信息文件依据其对应的零部件设置。
24.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述生产线设备为等离子体刻蚀设备，所 述计时器信息包括石英窗Quartz windowr的计时器信息、内衬Liner的计时器信息、喷嘴 Nozzle的计时器信息和/或调整支架GDP的计时器信息；所述计时器关联的计时信息源信 息为源射频的启辉时间SRF Hours。
全文摘要
本发明公开了一种生产线设备的计时控制方法，包括读取计时信息文件，所述计时信息文件记录有计时控制信息；启动计时更新线程，触发第一定时器，所述第一定时器用于按照固定的时间间隔产生计时周期控制信号；所述计时更新线程用于在计时周期内依据当前的计时控制信息执行计时更新操作。本发明可以使得用户可以自行地定制计时器及关联的信息源，同时保证计时周期的精准性，提高计时相关信息的准确性，并降低系统的耦合度，节约系统资源，提高系统性能。
文档编号G05B19/418GK101866171SQ20101016130
公开日2010年10月20日 申请日期2010年4月28日 优先权日2010年4月28日
发明者高建强 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司