信息记录介质用玻璃基板的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及信息记录介质用玻璃基板的制造方法，尤其涉及作为信息记录介质的 一部分而被搭载在硬盘驱动器（HDD :Hard Disk Drive)等信息记录装置中的信息记录介质 用玻璃基板的制造方法。
【背景技术】
[0002] 硬盘驱动器等搭载了信息记录介质的信息记录装置的使用用途和使用环境逐年 扩大。对于信息记录装置的大容量化、耐冲击性以及耐热性等的要求也存在逐年升高的倾 向。与该倾向相伴，对于用于信息记录介质的制造的信息记录介质用玻璃基板（也简称作 玻璃基板。）也要求了各种条件。
[0003] 例如，随着对于信息记录装置的大容量化（例如，在1张2. 5英寸的记录介质中记 录容量为500GB (单面250GB)、面记录密度为600Gbit/in2以上的记录密度），信息记录介 质的bit面积缩小。其结果是，即使玻璃基板中产生的微小的缺陷也会成为信息记录介质 的读取不良的原因。作为缺陷，可以举出凸状突起、夹杂物、凹状的裂纹缺陷（或者凹坑缺 陷）。虽然通过比较性检查等容易发现凸状突起，但是，很难发现裂纹缺陷。
[0004] 近年来，以应对裂纹缺陷为目的，在磨削工序中使用金刚石片变为主流（参考日 本特开2009-99249号公报（专利文献1))。使用该金刚石片进行的磨削工序有利于除去裂 纹缺陷。但是，也存在用于磨削加工的条件设定的难度高的问题。
[0005] 玻璃基板的制造方法大致可以举出：用片材制造玻璃基板的片材法；以及通过成 型设备将熔融的玻璃冲压成圆盘状来制造玻璃基板的直接冲压法等。
[0006] 片材法中，在由被称作片材的板玻璃制造玻璃基板时，在经过粗糙化工序之后，进 行使用金刚石片的磨削工序。
[0007] 另一方面，直接冲压法中虽然需要用于通过单片式制造玻璃基板的时间，但是，能 够进行以各种玻璃组成的制造，因此，近年来再度受到关注。通过直接冲压法制造的玻璃 基板由于表面已经是粗糙的，因此，无需进行粗糙化工序，而是进行使用金刚石片的磨削工 序。
[0008] 现有技术文献
[0009] 专利文献
[0010] 专利文献1 :日本特开2009-99249号公报
【发明内容】
[0011] 发明所要解决的课题
[0012] 这几年来，受到信息记录介质的存储容量的高密度化的影响，即使在采用了直接 冲压法的信息记录介质用玻璃基板的制造方法中，在进行磨削工序之前也需要粗糙化工 序。这是由于，随着存储容量的高密度化，需要更高硬度的基板。
[0013] 具体而言，如果玻璃基板的硬度低，则由于很细微的原因就会在玻璃基板上附着 微小的损伤，该损伤会变成缺陷。因此，使用高硬度的玻璃基板。但是，若对高硬度的玻璃 基板不进行粗糙化工序，而是使用金刚石片进行磨削工序，与将表面粗糙化时相比，需要在 研磨时提高压力，会使玻璃基板的表面产生新的裂纹。因此，即使在使用直接冲压法制造玻 璃基板时，在进行磨削工序之前也需要粗糙化工序。
[0014] 作为通过以往的浮式法进行的粗糙化工序，可以举出使用药液进行的冻结工序、 和通过平面研磨机使用游离磨粒的粗磨削工序等。
[0015] 如上所述，即使在使用直接冲压法制造玻璃基板时，在进行磨削工序之前也需要 粗糙化工序，但是，在将上述粗糙化工序直接应用于直接冲压法中的情况下，将产生以下的 问题。
[0016] 在应用了使用药液进行的冻结工序的情况下，通过蚀刻使玻璃基板的表面粗糙 化，但是，药液会进入到原本就存在的损伤或者裂纹中，损伤或者裂纹变深，由此，其结果造 成磨削量的增加和长时间化。
[0017] 在应用了通过平面研磨机使用游离磨粒的粗磨削工序的情况下，由于来自研磨机 的加压，导致玻璃基板上产生新的裂纹。
[0018] 本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种信息记录介质用玻 璃基板的制造方法，即使在使用了高硬度的玻璃基板的情况下，也能够在磨削工序的前一 工序中实现适当的粗糙化工序。
[0019] 用于解决课题的手段
[0020] 基于本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法包括如下工序：第1磨削工 序，从喷嘴向通过直接冲压法得到的玻璃基板的主表面喷射多个粒子，由此对上述玻璃基 板的上述主表面进行磨削；以及第2磨削工序，对于经过上述第1磨削工序后的上述玻璃基 板，借助固定砂轮对上述玻璃基板的上述主表面进行磨削，其中，该固定砂轮以平均粒径为 2 μ m?10 μ m的金刚石粒子为主要成分。
[0021] 上述第1磨削工序包括如下工序；向上述主表面喷射上述粒子来进行上述主表面 的磨削，使得上述主表面的平均算术粗糙度Ra 1维持在1 μπι?5 μπι的范围，进而，使得将 截止值设定为2. 5 μ m?80 μ m的情况下的平均算术粗糙度1^12在0. Ιμπι?Ι.Ομηι的范 围内。
[0022] 在另一方式中，上述主表面的维氏硬度在610kg/mm2以上。
[0023] 在另一方式中，上述粒子的最大粒子直径为50 μ m?150 μ m。
[0024] 在另一方式中，上述粒子的喷射压力为0,1MPa?IMPa。
[0025] 发明效果
[0026] 根据本发明，可以提供一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，即使在使用了 高硬度的玻璃基板的情况下，也能够在磨削工序的前一工序中实现适当的粗糙化工序。
【附图说明】
[0027] 图1是示出具备通过使用实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而 制造出的玻璃基板的信息记录装置的立体图。
[0028] 图2是示出通过使用实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造 出的玻璃基板的立体图。
[0029] 图3是沿着图2中的III-III线的方向观察的剖视图。
[0030] 图4是示出作为信息记录介质具备通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板 的制造方法而制造出的玻璃基板的信息记录介质的立体图。
[0031] 图5是沿着图4中的V - V線线的方向观察的剖视图。
[0032] 图6是示出实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的各工序的流程 图。
[0033] 图7是示出实施方式中的在对玻璃基板进行的喷砂工序中使用的喷砂装置的结 构的示意图。
[0034] 图8是示出实施方式中的对玻璃基板进行的喷砂工序的实施情况的示意图。
[0035] 图9是示出在实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的粗研磨工序 中使用的双面研磨机的立体图。
[0036] 图10是示出实施例1?4和比较例1、2的评价结果的图。
【具体实施方式】
[0037] 下面，参考附图，对基于本发明的实施方式和各实施例进行说明。在实施方式和各 实施例的说明中，在提及个数、量等的情况下，除了特别记载的情况外，本发明的范围并不 一定限定于该个数、量等。在实施方式和各实施例的说明中，存在这样的情况：对于同一部 件和相应部件标记相同的参考标号，且不反复进行重复的说明。
[0038] 在说明书中，裂纹是存在于玻璃表面的、用眼（或者光学显微镜）无法观察到的微 小的损伤、凹陷。也被称作格里菲斯微裂纹（Griffith flaw)
[0039] 玻璃的破坏是由如下原因引起的：在向玻璃表面施加了拉伸应力时，应力集中在 裂纹的末端部，裂纹发展。裂纹的大小为几十nm至几十μπι。如对玻璃进行处理则自然会 产生裂纹，在玻璃坯料的状态下裂纹就已经存在。
[0040] 若该裂纹一旦深入到玻璃中，之后即使是通过研磨工序等对表面进行了磨削的情 况下，裂纹也会由于研磨加工中的压力而发展（生长），因此，很难完全去除。因此，一边在 磨削工序中除去已有的裂纹，一边如何抑制新的裂纹的产生变得重要。
[0041] (信息记录装置30)
[0042] 首先，参照图1，对信息记录装置30进行说明。图1是示出信息记录装置30的立 体图。信息记录装置30具有通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板（以下，简单称作 玻璃基板）的制造方法而制造出的玻璃基板1来作为信息记录介质10。
[0043] 具体而言，信息记录装置30具有：信息记录介质10、壳体20、磁头滑块21、悬架 22、臂23、垂直轴24、音圈25、音圈电机26、钳夹部件27和固定螺钉28。在壳体20的上表 面上，设置有主轴电机（未图示）。
[0044] 磁盘等信息记录介质10通过钳夹部件27和固定螺钉28以能够旋转的方式固定 于上述主轴电机。信息记录介质10被该主轴电机驱动而以例如几千rpm的转速旋转。信 息记录介质10是通过在玻璃基板1上形成压缩应力层12 (参考图5)以及磁记录层14 (参 照图4和图5)而制造出的，详细情况将参照图4和图5在后面描述。
[0045] 臂23被安装为能够绕垂直轴24摆动。在臂23的末端安装有形成为板簧（单侧 固定梁）状的悬架22。在悬架22的末端，以夹着信息记录介质10的方式安装有磁头滑块 21〇
[0046] 在臂23的与磁头滑块21相反的一侧，安装有音圈25。音圈25被在壳体20上设 置的磁体（未图不）夹持着。由音圈25和该磁体构成了音圈电机26。
[0047] 向音圈25提供规定的电流。臂23借助由流过音圈25的电流和上述磁体的磁场 产生的电磁力的作用，绕垂直轴24摆动。通过臂23的摆动，悬架22和磁头滑块21也沿箭 头ARl方向摆动。磁头滑块21沿信息记录介质10的半径方向在信息记录介质10的表面 上和背面上往复移动。设置在磁头滑块21上的磁头（未图示）进行寻道动作