磁盘用玻璃基板和磁盘的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及磁盘用玻璃基板和磁盘。
【背景技术】
[0002] 如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于 记录数据的硬盘装置（HDD :Hard Disk Drive)。特别是在笔记型个人计算机等以移动性为 前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的 面上略微悬浮的磁头对磁性层进行磁记录信息的记录或读取。作为该磁盘的基板，由于具 有比金属基板（铝基板）等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。
[0003] 另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直 磁记录方式，使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向，进行磁记录信息区域的 微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。在这种盘片基板中，优选按照磁性层 的磁化方向相对于基板面朝向大致垂直方向的方式，尽可能地使基板表面平坦，使磁性粒 子的生长方向统一为垂直方向。
[0004] 进一步，为了进一步增大存储容量，还进行了下述操作：通过使用搭载有 DFH(Dynamic Flying Height)机构的磁头来极度缩短距磁记录面的悬浮距离，从而降低 磁头的记录再生元件与磁盘的磁记录层之间的磁性间距，进一步提高信息的记录再现精度 (提高S/N比）。该情况下，为了长期稳定地进行利用磁头的磁记录信息的读写，要求尽可 能减小磁盘的基板的表面凹凸。
[0005] 磁盘记录有用于将磁头定位于数据轨道的伺服信息。以往，已知的是：若降低磁盘 的外周侧的端面（下文中也称为外周端面）的正圆度，则磁头的悬浮稳定，可良好地进行伺 服信息的读取，利用磁头进行的读写稳定。例如，在专利文献1记载的技术中，公开了外周 端面的正圆度为4 y m以下的磁盘用玻璃基板。若利用该玻璃基板，认为通过降低外周端面 的正圆度，从而LUL(load unload，装载卸载）试验耐久性提高。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本特开2008-217918号公报
【发明内容】
[0009] 发明要解决的课题
[0010] 然而，近年来已知采用了叠加写入（shingle write)方式的HDD，其按照相邻的轨 道部分重叠的方式进行记录。在叠加写入方式中，伴随相邻轨道上的记录的信号劣化极小， 因此可以飞跃性地提高轨道记录密度（下文中也称为TPI)，例如可以实现500kTPI (track per inch，每英寸磁道数）以上的极高的轨道记录密度。另外，关于使用与以往相比磁各向 异性高的磁性材料的EAMR(能量辅助磁记录）方式，也正在进行研宄。在适于EAMR方式 的磁盘中，由于能够降低磁性粒子的尺寸本身，因此能够提高BPI (bit per inch，每英寸位 数）和TPI，能够实现高记录密度。另一方面，通过TPI的提高，关于磁头对伺服信号的追随 性，与以往相比要求更为严格。
[0011] 例如采用叠加写入方式等而为500kTPI以上的HDD中，即使将磁盘的外周端面的 正圆度降低至1. 5 y m以下，在磁盘的外周侧的端部也会发生伺服信号的读取不稳定的现 象。特别是，与其内周侧的区域相比，磁盘的外周侧端部的最外周侧难以稳定读取。
[0012] 本发明的目的在于提供一种能够抑制磁盘的外周侧端部的伺服信号的读取错误 的磁盘用玻璃基板及磁盘。
[0013] 用于解决课题的方案
[0014] 本发明人为了消除磁盘的外周侧端部附近的伺服信号读取错误，首先考虑了排除 磁盘的内孔松动（力'<)所导致的影响。使磁盘的中心与轴的中心精密地对齐，组装 HDD。由此，内孔的影响消除，因而磁盘的外周端面的面内方向的摇动达到外周端面的正圆 度以下的大小。这样，虽然磁盘的内周侧的端面的正圆度、及内周端面与外周端面的同心度 不会产生影响，但未能改善伺服信号读取错误。
[0015] 以往，若降低磁盘的正圆度则颤动减小，因而认为在正圆度与颤动之间存在相关 性。但是，根据本发明人的研宄可知，即便使正圆度为1. 5 ym以下，颤动也不会减小，在正 圆度极小的情况下，在正圆度与颤动之间未发现相关性。其理由可如下考虑。即，以往是将 比玻璃基板的板厚更长的板状探针竖立在与玻璃基板的主表面垂直的方向并接触外周端 部，由此测定外周端部的正圆度。此时，探针在板厚方向上在向基板的外侧最为突出的位置 进行接触。因此，与外周端部的板厚方向的形状无关，作为正圆度测定基础的外周端部的轮 廓线反映了向基板外侧最为突出的形状。因此，在现有的正圆度的测定方法中，并未反映 外周端部的侧壁面的板厚方向上的三维形状。并且，在现有的正圆度的测定方法中，使磁盘 的外周端部的正圆度足够好的情况下，正圆度以外的其他原因对颤动所产生的影响相对较 大，由此认为在正圆度与颤动之间未发现相关性。
[0016] 因此，本发明人除了关注正圆度之类的磁盘的面内方向的参数外，还关注磁盘的 板厚方向的形状。首先，调查了磁盘的外周侧端部的板厚的偏差，但偏差极小，未发现问题。 于是，对其他的各种形状参数进行了深入研宄，结果首次发现，在磁盘的外周端面中，侧壁 面（在与主表面正交的方向延伸的面）的板厚方向的斜率及凹凸会对磁盘的最外周部的颤 动产生影响，因而对伺服信号的读取产生影响。即，通过极度减小磁盘的外周端面的正圆 度，才发现了外周端面的板厚方向的形状会对颤动产生影响。
[0017] 本发明的磁盘用玻璃基板为具备一对主表面、形成于外周侧端部的侧壁面、以及 介于上述侧壁面与主表面之间的倒角面的磁盘用玻璃基板，其特征在于，上述侧壁面的正 圆度为1. 5 ym以下，包括上述中心位置在内的、在板厚方向上不同的多个位置的侧壁面的 多个轮廓线的内切圆和外切圆的半径之差为5 ym以下。
[0018] 本发明的磁盘用玻璃基板优选的是，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向 相距200 ym的两点位置处的圆周方向的轮廓线，将由这些轮廓线分别求出的两个最小二 乘圆的中心间的中点作为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置 分别取得圆周方向的轮廓线，在由这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，将由一个倒角 面求出的中心作为中心B，将由另一个倒角面求出的中心作为中心C时，中点A和中心B间 的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1 y m以下。
[0019] 本发明的磁盘用玻璃基板适合用于板厚为0. 5mm以下的情况。
[0020] 本发明的磁盘适合用于在上述的磁盘用玻璃基板的主表面上形成了磁性层的情 况。
【附图说明】
[0021] 图1A是本实施方式的磁盘用玻璃基板的俯视图。
[0022] 图1B是本实施方式的磁盘用玻璃基板的板厚方向的截面图。
[0023] 图2是说明本实施方式的磁盘用玻璃基板的侧壁面的圆筒度的测定方法的图。
[0024] 图3是说明本实施方式的磁盘用玻璃基板的侧壁面的圆筒度的测定方法的图。
[0025] 图4是说明本实施方式的磁盘用玻璃基板的外周端面的形状评价值的测定方法 的图。
[0026] 图5是说明本实施方式的磁盘用玻璃基板的外周端面的形状评价值的测定方法 的图。
[0027] 图6A是说明本实施方式的磁盘用玻璃基板的端面磨削加工的图。
[0028] 图6B是示出图6A的Y-Y截面的图。
[0029] 图7A是说明在本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造时进行的使用MRF的端面研 磨的图。
[0030] 图7B是说明在本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造时进行的使用MRF的端面研 磨的图。
[0031] 图7C是说明在本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造时进行的使用MRF的端面研 磨的图。
[0032] 图8是说明在本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造时进行的使用MRF的端面研磨 的图。
【具体实施方式】
[0033] 下面，对本实施方式的磁盘用玻璃基板进行详细说明。
[0034][磁盘用玻璃基板]
[0035] 作为本实施方式中的磁盘用玻璃基板的材料，可以使用铝硅酸盐玻璃、碱石灰玻 璃、硼硅酸盐玻璃等。尤其是从可以实施化学强化并且可以制作主表面平坦度和基板强度 优异的磁盘用玻璃基板这些方面考虑，可以优选使用铝硅酸盐玻璃。若为无定形的铝硅酸 盐玻璃则进一步优选。
[0036] 对本实施方式的磁盘用玻璃基板的组成不作限定，但本实施方式的玻璃基板优 选为由如下组成构成的无定形的铝硅酸盐玻璃：换算成氧化物基准，以摩尔％表示，含有 50%~75%的Si0 2;l%~15%的A1 203;合计为5%~35%的选自Li 20、似20和1(20中的至 少1种成分；合计为〇 %~20 %的选自MgO、CaO、SrO、BaO和ZnO中的至少1种成分；以及 合计为0%~10%的选自21