接合装置的制作方法

专利名称：接合装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将电子部件等薄片部件安装至由玻璃、树脂及金属的基板 等构成的工件上的接合装置。
背景技术：
以往的将带有凸起电极的薄片部件以正面朝上的状态安装至作为工件的 基板上的接合装置可从薄片部件的上侧同时辨识薄片部件的对准记号、以及用 以识别基板上的安装位置的对准记号。具体说来，在吸附保持薄片部件的吸附 头部部分使用棱镜，使包含薄片部件和基板的两对准记号的两部件的像被棱镜
的斜面反射，投影至独立于吸附头部固定配置在吸附头部侧方的CCD摄像机上。 另外，在根据两对准记号的辨识结果校正相对于薄片部件的安装位置的错位 时，使保持基板的保持板向水平方向的纵横向移动，并绕薄片部件的中心轴旋 转(例如参照专利文献l)。
专利文献l: W02003/041478
发明公开
发明所要解决的技术问题
近年来，为提高大批量生产的效率，基板尺寸有扩大的趋势，需要进行高 密度安装的基板也是其中之一。以往的接合装置由使薄片保持吸附头部沿上下 方向移动的机构、以及使基板保持板沿水平方向及旋转方向移动的机构构成。 因此，在沿袭以往的结构来对应大型基板、利用薄片保持吸附头部将薄片部件 安装至基板全域时，需要2倍的基板安装区域、以及以基板的对角长度为旋转 区域的移动进程，因此会导致装置大型化。
为解决该问题，使吸附头部侧旋转的方法是有效的。然而，由于CCD摄像
机与棱镜的相对关系发生变化，薄片及基板的对准记号的形状会发生变化。另 外，即使对CCD摄像机与棱镜的相对关系进行校正，也会使得到的位置测定结 果恶化。
另外，为解决该问题，若使CCD摄像机与棱镜的相对关系一致地将CCD
摄像机单元安装至旋转轴，则会导致吸附头部的旋转轴(e轴)上承受的负荷
增加、或吸附头部周围需要较大的空间等问题，导致成本增加或大型化。 用于解决技术问题的技术方案
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种以简单的装置结构提高安装精 度的接合装置。
因此，为实现上述目的本发明具有以下结构。 即本发明的接合装置，用以将薄片部件安装到保持在工件保持构件的工件
上，其特征在于，包括吸附头部，该吸附头部包含呈箱状且至少侧面的一
部分和下面开口的框体及安装于所述框体的下面开口 、用以保持所述薄片
部件的透明的薄片保持构件；在所述吸附头部的框体侧面的开口内进退、 透过所述薄片保持构件而对被所述薄片保持构件保持的薄片部件和被所述 工件保持构件保持的工件的用以识别薄片部件安装部位的基准位置进行辨 识的辨识构件；使所述吸附头部绕保持所述薄片部件的该薄片部件的中心 纵轴旋转的第1驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地升 降的第2驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地水平移动 的第3驱动构件；以及根据所述辨识构件的辨识结果检测出所述薄片部件 和工件的基准位置之间的相对位置偏移，驱动控制所述第1驱动构件和第3 驱动构件以校正其位置偏移的控制构件。
若使用本发明的接合装置，通过驱动吸附头部使其绕薄片部件的中心纵 轴旋转，故无需使基板旋转。也就是说，无需确保考虑大于工件的纵横长 度的对角长度进行旋转的空间。其结果可使装置结构简单化。另外，辨识 构件在吸附头部的侧部开口进退，始终能够以一定角度及一定距离辨识薄 片部件和工件，因此不会因光学投影角度的变化等引起图像的变化(扭曲)。 由此，可正确地辨识薄片部件与工件的位置，以提高安装精度。
另外，辨识构件最好包括用以辨识薄片部件和工件的两基准位置的CCD 摄像机、以及设置于CCD摄像机的进退方向的前侧、将薄片部件和工件的基准 位置投影在CCD摄像机上的投影构件。
若使用该结构，在接收薄片部件后，在安装时无需使辨识构件退避，因此 可縮短动作时间。
另外，最好具有2台所述CCD摄像机，使投影构件将薄片部件和工件的 基准位置分别投影在2台CCD摄像机上。此时，可采用以下结构。投影构件包 括映射出薄片部件和工件的两基准位置的l对第l反光镜、以及将映射在第 1反光镜上的基准位置的像反射并投影在CCD摄像机上的1对第2反光镜。
而且，在薄片部件和工件的两基准位置是设置在各自的角部的2处的对准 记号时，最好将一方的两角部的所述对准记号映射在一方的第1反光镜上，利 用第2反光镜反射并投影在一方的CCD摄像机上，将另一方的两角部的对准记 号映射在另一方的第1反光镜上，利用第2反光镜反射并投影在另一方的CCD 摄像机上。
若使用该结构，可利用单独的投影构件分别辨识薄片部件和工件，因此即 使在吸附头部的狭窄的开口内，也能以宽阔的视野正确地辨识两部件的基准位 置。例如，在存在有多个远离薄片部件的基准位置(对准记号)时，可通过l 次处理来辨识全部的对准记号。另外，可将在以正面朝上状态安装的薄片部件 上形成的凸起构成薄片部件的基准位置。
另外，为了实现装置的简化，最好使吸附头部在将薄片部件安装至基板的 作用位置与其上方的待机位置间升降，或使吸附头部相对于基板面水平移动， 又或者使上述两种结构组合。
另外，第2驱动构件最好是致动器，包括在气缸内滑行移动的活塞以及从 该活塞的前端延伸出的推杆，活塞可在气缸内绕轴心旋转。另外，最好利用连 杆机构使第2驱动构件的气缸的推杆与第1驱动构件连结，将该第2驱动构件 的驱动力变换为第1驱动构件的旋转力。
也就是说，若使用该结构，第2驱动构件的活塞推杆的旋转力通过连杆机 构间接传递至第l驱动构件，因此在吸附头部具有第1驱动构件时，可简化吸
附头部侧的结构。也就是说，由于可使吸附头部侧的结构轻量化，因此，例如 在使吸附头部侧升降时可容易地进行升降调整，且不会对薄片部件过度加压。
另外，最好使推杆的外周面上具有导向器，且连杆机构包括2根连结杆、 以及与2根连结杆的弯曲动作联动地使两连结杆的连节部分滑行，以使两连结 杆的长度成为一定的伸縮导向器。
而且，最好具有固定于与推杆侧连结的连结杆的前端的刻度板，且还 包括用以检测与连结杆的旋转联动的刻度板的旋转角度的检测构件；以及 根据检测构件的检测结果对吸附头部进行定位的控制构件。
若使用该结构，可提高吸附头部的位置对准精度。
另外，本发明的控制构件中，最好预先使控制构件利用具有与薄片部件 的安装位置相关联的刻度板的主基板，求得辨识构件所辨识出的各安装位 置的位置情报与所述第1至第3驱动构件所具有的驱动轴的相关关系并存 储，在将薄片部件安装至工件时，利用相关关系驱动控制各驱动构件以抵 消各驱动构件的驱动轴的错位。
若使用该结构，可提高薄片部件安装至工件时的安装精度。
发明效果
本发明的接合装置通过驱动吸附头部使其绕薄片部件的中心纵轴旋转， 故无需使基板旋转，因此无需确保供大于薄片部件的工件旋转的空间。其 结果可使装置结构简单化。另外，辨识构件在吸附头部的侧部开口进退， 始终能够以一定角度及一定距离辨识薄片部件和工件，因此不会因光学投 影角度的变化等引起图像的变化(扭曲)。由此，可正确地辨识薄片部件 和工件的位置，以提高安装精度。


图1是实施例的压接系统的立体图。 图2是表示安装单元的概略结构的主视图。 图3是表示连杆机构的结构的俯视图。 图4是表示辨识部的概略结构的侧视图。
图5是表示投影部的概略结构的俯视图。
图6是表示投影在CCD摄像机上的图像的图。
(符号说明)
w 基板3安装单元
11薄片部件14基板保持台
15 可动板17吸附头部
18 水平驱动机构19升降驱动机构
20 旋转驱动机构22吸附部
29A、 29B 控制部37CCD摄像机
39a第1反射镜39b第2反射镜
具体实施例方式
以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。另外，本实施例中，以 将带凸起的电子部件作为薄片部件安装至基板的情况为例进行说明。另外，
表示了其它薄片部件例如ic芯片、半导体片、光元件、表面安装部件、晶
片等无关种类和大小地与基板接合的一侧的全部形态。
另外，表示了基板例如树脂基板、玻璃基板、薄膜基板、金属基板(例 如铜基板)等与薄片部件接合的一侧的全部形态。
图1是本实施例的压接系统的立体图。
本实施例的薄片安装装置大致分为装置基台1、配设在该装置基台1 的前侧(图1的左端)的基板供给单元2、配设在装置基台1的里侧的安装 单元3、配设在安装单元3左边的薄片部件供给单元4。
基板供给单元2是上部具有可上下开闭摆动的开闭门5的箱状，内部
具有用以载置作为工件的基板W的载置板6;以及将载置于该载置板6
的基板W从表面吸附保持并搬运至下述的安装单元3侧的可动板15上的基 板保持台14的搬运机构7。
载置板6的表面以规定间隔立设有可插入形成在基板W上的定位孔的 定位栓8。
搬运机构7具有可吸附基板W的表面的吸附板9，使该吸附板9可沿 载置板6的上方和基板保持台14的上方的1轴(Y)方向移动，且可在载 置板6和基板保持台14的相对位置升降(沿Z轴方向)。另外，吸附板9 通过未图示的配管与泵连通连接。
安装单元3如图1至图4所示，包括对被搬运机构7搬运的基板W 进行保持的保持部10;将薄片部件11吸附保持并安装至基板W的压接单元
12;以及用以辨识预先设置在基板W和薄片部件11上的对准记号的辨识部13。
保持部10包括基板保持台14和可动板15，该基板保持台14将表面 被搬运机构7的吸附板9吸附保持并搬运过来的基板W以水平姿势吸附保 持；可动板15可使基板保持台14沿水平1轴(Y)方向移动。可动板15 通过使未图示的马达正逆旋转驱动，可沿导轨16螺杆进给而前后移动。另 外，保持部IO也可以是直线板。另外，基板保持台14的下部内藏有未图 示的加热器，可从里面对基板W进行加热。
压接单元12包括将薄片部件H吸附保持的吸附头部17;使吸附头 部17沿水平1轴(X)方向移动的水平驱动机构18;使吸附头部17沿上下 (Z)方向移动的升降驱动机构19;使吸附头部17绕Z轴(e )方向旋转 的旋转驱动机构20;以及在吸附头部17的开口内进退的CCD摄像机37。 另外，水平驱动机构18相当于本发明的第3驱动构件，升降驱动机构19 相当于本发明的第2驱动构件，旋转驱动机构20相当于本发明的第1驱动 构件，CCD摄像机37相当于辨识构件。
吸附头部17安装在升降驱动机构19的下端，该升降驱动机构19固定 在可动台25上，该可动台25利用水平驱动机构18可沿立设于装置基台1 的框架23的导轨24移动。吸附头部17包括倒放的凹字状的框体21;以 及安装在框体下部的开口的由透明的玻璃板构成的吸附部22。吸附部22 形成有使形成于下面中央的开口与形成于侧部的开口连通的流路，并通过 未图示的泵和软管连通连接。也就是说，通过泵的动作使下面开口作为吸 附孔来吸附保持薄片部件11。另外，也可在吸附部22的下面再安装与薄片200680016241.9
说明书第7/ll页
部件11的形状相对应的由透明的玻璃板等构成的配件。另外，吸附部22 相当于本发明的薄片保持构件。
水平驱动机构18通过使马达Ml正逆旋转驱动，使可动台25沿导轨 24在水平(X)方向往复移动。另外，水平驱动机构18也可以是直线板。
升降驱动机构19是由气缸26、在气缸26内移动的活塞27、以及从该 活塞27的前端延伸出的推杆28构成的致动器。该活塞27及推杆28在气 缸内绕轴心自由旋转。而且，在气缸26内与活塞27间的压力室中，形成 有供给流体或排气的流路，来自泵的气体供给及排气可利用控制部29A控 制内压。另外，控制部29A及下述控制部29B相当于本发明的控制构件。
升降驱动机构19的图2中的左侧以马达M2的旋转轴向下的状态安装 有构成旋转驱动机构20的马达M2。马达M2的旋转轴上设有通过推杆导向 器G与致动器的推杆28连结的连杆机构32。
连杆机构32如图3所示，在2根连结杆33a、 33b的连结部具有伸縮 导向器34。 一方的连结杆33a的前端与马达M2连结，另一方的连结杆33b 的前端与致动器地推杆28的推杆导向器G连结。也就是说，随着马达M2 的正逆转驱动，两连结杆33a、 33b左右摆动，旋转动力被传递至推杆28 使活塞27在气缸内旋转。另外，在连结杆33a、 33b摆动时，伸縮导向器 34随着马达M2的旋转轴与推杆28间的距离变化而伸縮。另外，连结杆33b 利用推杆导向器G可不跟随推杆28进退地维持一定高度。
另外，连结杆33b上安装有扇状的刻度板35，利用邻近配置在该刻度 板侧面的由存储器构成的编码器36来进行读取。即通过读取活塞27的旋 转角度并将其结果发送至控制部29B，来读取吸附头部17绕Z轴的旋转角 度。另外，编码器36相当于本发明的检测构件，控制部29B相当于控制构 件。
辨识部13如图4至图6所示，由2个CCD摄像机37和投影部38构成， 投影部38位于各CCD摄像机37的前端，用以捕捉被吸附头部17吸附保持 的薄片部件11的对准记号R2和基板W的对准记号Rl并将其投影在CCD摄 像机37上。
投影部38由第1反射镜39a和第2反射镜39b构成，该第1反射镜 39a映照出位于下方的薄片部件11的对准记号，映照在该第1反射镜39a 上的对准记号映射在该第2反射镜39b上，并投影在处于90度后方的CCD 摄像机37上。
投影部38如图4所示，通过马达M3的正逆转驱动可沿设置于可动台 25的下面的导轨40进退移动。也就是说，使投影部在吸附头部17的开口 内进退。
薄片部件供给单元4如图l所示，包括用以载置薄片部件11的载置
板41，该薄片部件11被保持在对半导体片进行切割加工后的环状框架上， 或被排列在薄片托盘中；将薄片部件11吸附保持并搬运的薄片部件搬运机 构42;以及接受搬运来的薄片部件11、并转交给吸附头部17的中继部和 滑行板43。
薄片部件搬运机构42包括可在沿装置基台1的Y方向延伸的导轨 44上前后移动的可动框架45;可沿朝向该可动框架45的前面的导轨46向 水平(Y)方向移动的可动台47，而且，该可动台47上上下可动地配置有 可吸附保持薄片部件11的吸附头48。也就是说，载置在载置板41上的规 定位置的薄片部件11被吸附头48吸附保持，被交付至中继部50，然后被 交付至滑行板43
滑行板43可沿立设于装置基台1的框架的水平(Y)方向移动，以接 收被薄片部件搬运机构42搬运至中继部50的薄片部件11。也就是说，滑 行板43将薄片部件11搬运至可被吸附头部17吸附的位置。
接下来，参照图1至图6对具有上述结构的接合装置的动作进行说明。 另外，本实施例说明了从环状框架的里面对通过胶带保持在其中央的半导 体片进行切割加工、将多个呈凸起电极位于表面的状态、即正面朝上状态 的薄片部件ll安装到片状的树脂基板上的情况。此时，在从环状框架吸附 保持薄片部件11时，薄片部件11的背面转印有热固性粘合剂。
首先，在载置于基板供给单元2的载置板6前，将刻有与基板W的安 装部位相关联的基准刻度的主基板载置于载置板并利用销9进行位置对准。
然后，利用搬运机构7搬运主基板，将其载置于安装单元3的基板保持台
14，同时使安装单元3及辨识部13动作，从被送入吸附头部17的开口内 的投影部38依次映射出主基板上的基准刻度，并从CCD摄像机将其图像数 据取入，通过CCD摄像机37、基板保持台14等的各驱动轴(X、 Y、 Z)的 坐标和根据图像数据求得的各驱动轴(X、 Y、 Z)的坐标来求得CCD摄像机 37与各轴的相关关系，并作为相关函数存储在装置本体中。
接下来，对作为安装对象的基板W进行安装薄片部件11的处理。首先， 在薄片部件供给单元4的载置板41上设置用以保持被切割加工后的半导体 片的环状的框架。然后，使基板供给单元2的开闭门5开放，将基板W对 位后载放在载置板6上，然后使开闭门5关闭。使开闭门5关闭后，吸附 板9进行动作，在基板W的相对位置下降，从表面吸附保持基板W并搬运 至基板保持台14。
吸附板移动至基板保持台14的上方后，吸附板9下降，使基板W的背 面与基板保持台14抵接，然后解除吸附板侧的吸附。解除吸附后的吸附板 9返回待机位置。在吸附板的吸附被解除的同时，使基板保持台14的吸附 动作以吸附保持基板W。
将该基板W搬运至基板保持台14的同时，将薄片部件11从薄片部件 供给单元4交付给安装单元3的吸附头部17。具体说来，使装设有吸附头 48的可动框架45及可动台47沿水平(X、 Y)方向移动，将规定的薄片部 件11以正面朝上状态吸附保持。吸附保持有薄片部件11的吸附头48利用 可动台47向图中的右端移动并将薄片部件11交付给中继部50，因此中继 部50将薄片部件11交付至滑动板43上。
接收到薄片部件11的可动台47沿导轨移动至向吸附头部17交付薄片 部件11的位置。
利用可动台25的移动将薄片部件11沿导轨24移动至安装的位置。吸 附头部17将被滑动板43搬运至安装位置的薄片部件11吸附保持。
预先位于吸附头部17的开口内的投影部38如图6所示，将标注于基 板W的对准记号Rl、以及位于薄片部件11的对角位置的2个凸起R2作为
对准记号，映照在构成左右一对的第l及第2反射镜39a、 39b上，使基板 W的图中右侧的对准记号Rl投影在一方的CCD摄像机37上，使基板W的图 中左侧的对准记号Rl投影在另一方的CCD摄像机37上。
然后，使薄片部件11的图中右侧的对准记号R2投影在一方的CCD摄 像机37上，使薄片部件11的图中左侧的对准记号R2投影在另一方的CCD 摄像机37上。
控制部29B将通过CCD摄像机37取得的两对准记号与预先存储的基准 位置相比较。在比较结果为发生位置偏差时，利用借助主基板所取得的相 关函数算出校正值。
另外，控制部29B根据该校正值，使可动板15沿水平(Y)方向移动， 使可动台沿水平(X)方向移动，且使吸附头部17绕Z轴旋转(0 )，以 进行对准。
在完成对准后，使致动器动作使得吸附头部17下降，将薄片部件11 推压至基板W的安装部位。此时，利用控制部29A使气缸的压力室的压力 保持一定，因此薄片部件ll被施加既定的推压力。另外，在推压的同时， 内藏于基板保持台14的加热器对薄片部件11的背面的粘合剂进行加热， 以促进聚合反应。然后， 一旦粘合剂的聚合反应完成，吸附头部17返回上 方的待机位置。聚合反应完成后，薄片部件11固定于基板W。
在对基板W上的所有薄片部件11的安装部位进行了这一系列的动作 后，吸附板9进行动作，向基板保持台14移动，将安装有薄片部件ll的 基板W吸附保持并搬运至基板供给单元2的载置板6。若将该基板从基板供 给单元2取出，则将薄片部件11安装至基板W的一系列处理结束。
上述本实施例的接合装置中，使吸附头部17绕轴心旋转，因此无需使 大于薄片部件11的基板W旋转。换句话说，由于吸附头部17的旋转半径 小于正方形或矩形的基板W的旋转半径，因此可使装置小型化。另外，使 投影部在吸附头部17的开口内进退以辨识基板W与薄片部件11的对准记 号，因此可使光学上的摄像条件保持一定，而且，可将从反射镜至CCD摄 像机37保持一定距离的图像投影至CCD摄像机。其结果是，不会受到随投
影角度变化的棱镜等的投影像的变化的影响，因此投影在CCD摄像机37上 的对准记号不发生变形，可正确地被辨识，从而防止安装错误。
另外，为了在投影部个别辨识基板W和薄片部件11的对准记号，使第 1及第2反射镜39a、 39b与CCD摄像机37个别配置，因此可根据每个CCD 摄像机37的图像数据，平行地进行定位处理。也就是说，通过对定位处理 进行平行处理，可提高安装速度。另外，此时，在基板W和薄片部件11的 对准记号的距离较远时，能有效地发挥功能。
另外，连杆机构32利用导向推杆中心的同心圆上的角度检测用的刻度 板35和编码器36，可不受连杆机构32的劣化所造成的损失误差等影响地 进行高精度的旋转控制。另外，由于仅使吸附头部17的部分旋转，可使旋 转机构小型化且轻量化。
另外，本发明并不限定于上述实施例，可进行如下变形。
(1) 上述实施例中，仅使可动板15沿水平(Y)方向移动，然而也可 使其沿X方向移动。此时，与使基板W旋转相比，可使移动半径减小。
(2) 上述实施例中，为了在投影部个别辨识基板W和薄片部件11的 对准记号，使第1及第2反射镜39a、 39b与CCD摄像机37个别配置，然 而也可采用单一的结构。另外，在采用单一的结构时，最好是薄片部件ll 较小，且基板W和对准记号较接近的情况。
(3) 本发明的薄片安装装置包含用以装设薄片的单纯的装配装置、及
具有加热加压工序的接合装置等各种形态的装置。
(4) 实施例中，将薄片2以正面朝上状态收纳在薄片托盘中，然而本 发明并不限定于此，也可在将晶片切割的状态下，将其正面朝上地来供给。
(5) 辨识构件并不限定为CCD摄像机37，也可使用CM0S或摄像管。
产业上的利用可能性
综上所述，本发明适用于将电子部件等薄片部件安装至由玻璃或树脂 基板等构成的工件上。
权利要求
1、一种接合装置，用以将薄片部件安装到保持在工件保持构件的工件上，其特征在于，包括吸附头部，该吸附头部包含呈箱状且至少侧面的一部分和下面开口的框体以及安装于所述框体的下面开口用以保持所述薄片部件的透明的薄片保持构件；在所述吸附头部的框体侧面的开口内进退、透过所述薄片保持构件而对被所述薄片保持构件保持的薄片部件和被所述工件保持构件保持的工件的用以识别薄片部件安装部位的基准位置进行辨识的辨识构件；使所述吸附头部绕保持所述薄片部件的该薄片部件的中心纵轴旋转的第1驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地升降的第2驱动构件；使所述吸附头部和所述工件保持构件相对地水平移动的第3驱动构件；以及根据所述辨识构件的辨识结果检测出所述薄片部件和工件的基准位置之间的相对位置偏移、并驱动控制所述第1驱动构件和第3驱动构件以校正其位置偏移的控制构件。
2、 如权利要求l所述的接合装置，其特征在于，所述辨识构件包括用以辨识所述薄片部件和所述工件的两基准位置的 CCD摄像机；以及设置于所述CCD摄像机的进退方向的前侧、将所述薄片部件和所述工件 的基准位置投影在CCD摄像机上的投影构件。
3、 如权利要求2所述的接合装置，其特征在于， 具有2台所述CCD摄像机，所述投影构件将所述薄片部件和所述工件的基准位置分别投影在所述2 台CCD摄像机上。
4、 如权利要求3所述的接合装置，其特征在于，所述投影构件包括映射出所述薄片部件和所述工件的两基准位置的1对第l反光镜；以及将映射在所述第1反光镜上的基准位置的像反射并投影在所述CCD摄像机上的1对第2反光镜。
5、 如权利要求4所述的接合装置，其特征在于，所述薄片部件和所述工件的两基准位置是设置在各自角部的2处对准记号，将一方的两角部的所述对准记号映射在一方的第1反光镜上，并利用第2 反光镜反射并投影在一方的CCD摄像机上，将另一方的两角部的对准记号映射 在另一方的第1反光镜上，并利用第2反光镜反射并投影在另一方的CCD摄像机上。
6、 如权利要求l所述的接合装置，其特征在于，所述薄片部件的基准位置是在以正面朝上的状态安装的薄片部件上形成的凸起。
7、 如权利要求l所述的接合装置，其特征在于，所述第2驱动构件使所述吸附头部在将薄片部件安装至基板的作用位置与其上方的待机位置间升降。
8、 如权利要求l所述的接合装置，其特征在于，所述第3驱动构件使所述吸附头部相对于所述基板面作水平移动。
9、 如权利要求1所述的接合装置，其特征在于， 所述薄片保持构件上形成有吸附所述薄片的吸附孔。
10、 如权利要求1所述的接合装置，其特征在于，所述第2驱动构件是致动器，包括在气缸内滑行移动的活塞以及从该活塞 的前端延伸出的推杆，所述活塞可在气缸内绕轴心旋转，利用连杆机构使所述第2驱动构件的气缸的推杆与所述第1驱动构件连 结，并将该第2驱动构件的驱动力变换为所述第1驱动构件的旋转力。
11、 如权利要求IO所述的接合装置，其特征在于， 所述推杆的外周面上具有导向器， 所述连杆机构包括2根连结杆；以及与所述2根连结杆的弯曲动作联动地使两连结杆的连节部分滑行、以使两 连结杆的长度成为一定的伸縮导向器。
12、 如权利要求10所述的接合装置，其特征在于，具有固定于与所述推杆侧连结的连结杆的前端的刻度板，且还包括用以检测与所述连结杆的旋转联动的刻度板的旋转角度的 检测构件；以及根据所述检测构件的检测结果对所述吸附头部进行定位的控制构件。
13、 如权利要求l所述的接合装置，其特征在于，所述控制构件利用具有与薄片部件的安装位置相关联的刻度板的主基 板，预先求得辨识构件所辨识出的各安装位置的位置情报与所述第1至第3 驱动构件所具有的驱动轴的相关关系并存储，在将薄片部件安装至所述工件时，利用相关关系驱动控制各驱动构件 以抵消各驱动构件的驱动轴的错位。
全文摘要
使凹形状的框体倒转并在框体的下部开口安装透明吸附部来构成吸附头部，将具有2块反射镜的投影部从该吸附头部的侧部开口向前端送入。然后，将被吸附部吸附保持的薄片部件的表面所形成的起到对准记号作用的凸起电极、以及标注在基板表面的对准记号映射在投影部的两反射镜上。映射在该两反射镜上的两对准记号被投影在与吸附头部分离地配置在侧方侧的CCD摄像机上。
文档编号H01L21/52GK101176197SQ20068001624
公开日2008年5月7日 申请日期2006年5月25日 优先权日2005年5月31日
发明者新井义之, 晴孝志 申请人:东丽工程株式会社