专利名称：：半导体基板的制造方法
技术领域：
：本发明涉及一种半导体基板的制造方法。更详细地，本发明涉及一种氧离子注入-蚀刻/研磨中止的贴合基板的制造方法，该方法使用基板电阻为1100mQ的晶片作为活性层侧的晶片，来改善Si02/Si的界面粗糙度。本发明的制造方法可以适用于SOI(SiliconOnInsulator)基板和DSB(DirectSiliconBonding)基板的任何一种。
背景技术：
：S01晶片与现有的硅晶片相比，具有在元件间的分离、降低元件和基板间的寄生电容，可以为三维结构方面的优越性。因此，可以在高速、低耗电量的LSI中使用。已知的SOI晶片的制造方法包括使形成氧化膜的2块硅晶片结合，之后，研削、研磨，形成SOI层(活性层)来贴合的方法。另外，该贴合方法还包括智能剥离(SmartCut)法(注册商标)。(专利文献12)在SOI晶片中，要求SOI层(活性层)的薄膜化和膜厚均匀。因此，开发出了新方法。该方法是将具有氧离子注入层的活性层用晶片和支撑层用晶片贴合后，进行热处理，以氧离子注入层作为Si02层，再从活性层用晶片侧到Si02层进行研削和研磨，之后，除去Si02层，可以使SOI层(活性层)薄膜化以及膜厚均匀(专利文献3)。氧离子注入层起到研磨中止层的作用。另外，近年来，随着装置的细微化和低耗电量化，形成BOX的氧化膜的膜厚变薄，进而，还开发出了例如没有BOX(氧化膜)而直接贴合的DSB(DirectSiliconBonding)基板。不通过氧化膜而直接贴合时，进行通常的洗净(SCI)后，将晶片之间贴合。专利文献1特开平9-116125号公报专利文献2特开2000-124092号公报专利文献3W02005/074033A1
发明内容但是，上述专利文献3中记载的使用上述研磨中止层贴合的方法具有以下问题。(1)作为研磨中止层的含有Si02相粒子层或者连续的Si02层与硅基板的界面粗糙度大，从而导致最终产品，即贴合晶片表面的粗糙度变大。(2)因此，制得S0I结构后，为了改善表面的粗糙度，作为附加的加工，必须要进行研磨处理或者IIO(TC下1小时的高温热处理。(3)进而，通过该附加的加工，而导致Top(活性层)层的面内均匀性差这样的品质问题。并且，对于(1)来说，不仅仅SOI基板是这样，即使是DSB基板，在使用研磨中止层进行贴合的方法时，也具有同样的问题。因此，本发明的目的在于提供一种制造最终产品贴合基板的方法，该方法是在使用蚀刻/研磨中止层的方法中，抑制作为蚀刻/研磨中止层的SiO,层和硅基板的界面粗糙度，以使表面的粗糙度小。贴合的基板包括SOI基板和DSB基板。作为目前的一种认识，己知的是作为注入离子的氧离子和周围的硅反应，成为起到后续工序中止层作用的Si02，但是如果加速该Si02反应，则可以改善Si02/Si的界面粗糙度。为了促进反应目前是必须长时间保持130(TC以上的超高温，不过也可以在贴合后进行超高温处理，与未贴合的状态下的超高温处理(=SIM0X)相比，没有促进Si02反应，没有改善粗糙度。相对于此，本发明人进行进一步的研究结果发现，使用基板电阻为l~100mQcm的基板，例如使用p+基板，与普通的p-基板(1Qcm以上)相比，促进了Si02的形成，改善了粗糙度，基于该认识，完成了本发明。本发明如下所述。一种制造贴合的晶片的方法，该方法包括在基板电阻为1100mQcm的活性层用晶片中注入氧离子，在前述活性层用晶片中形成氧离子注入层的工序；将前述活性层用晶片和支撑用晶片，通过或者不通过绝缘层进行贴合，形成贴合晶片的工序；将前述贴合的晶片热处理，强化贴合，而且将前述氧离子注入层作为含有Si02相粒子层或连续的Si02层(以下称为中止层)的工序；将前述强化贴合的贴合晶片从活性层用晶片的表面侧研削、研磨和/或蚀刻，在表面上露出前述中止层的工序；除去前述中止层的工序；和将除去中止层的贴合晶片在还原气氛下热处理，使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散的工序。根据本发明，通过使用了研磨中止层的贴合方法，可以制造表面粗糙度小的基板(例如，SOI基板和DSB基板)。图1是氧离子注入一蚀刻中止贴合一SOI工艺图2是氧离子注入一蚀刻中止的说明图。图3是AFM观察结果。具体实施例方式本发明的贴合晶片的制造方法包含以下工序。(1)在基板电阻为l~100mQcm的活性层用晶片中注入氧离子，在前述活性层用晶片中形成氧离子注入层的工序；(2)将前述活性层用晶片和支撑晶片贴合，通过或者不通过绝缘层，形成贴合晶片的工序；(3)将前述贴合的晶片热处理，强化贴合，而且将前述氧离子注入层作为含有Si02相粒子层或连续的Si02层(中止层)的工序；(4)将前述强化贴合的贴合晶片从活性层用晶片的表面侧研削、研磨和/或蚀刻，在表面使前述中止层露出的工序；(5)除去前述中止层的工序；和(6)将除去中止层的贴合晶片在还原气氛下热处理，使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散的工序。(1)形成氧离子注入层的工序作为活性层用晶片可以使用基板电阻为l~100mQcm的硅晶片。基板电阻为1100mQcm的硅晶片例如可以是p型晶片，更具体地，作为导电性成分可以是含有硼的晶片。基板电阻不足lmQcm的硅晶片，由于结晶增加困难，所以在本发明中，使用基板电阻为lmQcm以上的硅晶片。如果基板电阻超过lOOmQcm，则几乎没有发现促进Si02反应而产生的改善表面粗糙度的效果，所以基板电阻的上限为100Qcm。活性层用晶片的基板电阻从改善表面粗糙度的效果的观点来考虑，优选120mQcra的范围。氧离子可以通过常规方法注入活性层用晶片。氧离子注入条件合适的选择是氧离子注入层从前述活性层用晶片的贴合用表面形成2001000nrn的深度。(2)形成贴合晶片的工序将前述活性层用晶片和支撑用晶片，通过或不通过绝缘层贴合，形成贴合的晶片。具体地，支撑用晶片具有绝缘层(例如，Si02层)，通过该绝缘层，将前述活性层用晶片和支撑用晶片贴合。由此，作为最终产品得到SOI基板。另外，支撑用晶片没有绝缘层，也可以将前述活性层用晶片和支撑用晶片直接贴合。由此，作为最终产品得到DSB基板。(3)形成强化贴合+Si02层的工序将前述贴合晶片热处理，强化贴合，而且将前述氧离子注入层作为SiO,层。强化贴合，且使氧离子注入层作为中止层的工序中的热处理，可以在1000~1300'C的温度下进行。该热处理的气氛没有特别的限定，可以在含氧气的氧化气氛或氩气等惰性气体等气氛下进行，而且合适的时间是1~10小时的范围。在表面露出中止层的工序中，为了防止对贴合晶片的内面损伤或蚀刻产生的粗糙，优选在氧气氛下进行，形成Si02膜作为保护膜。膜厚优选为200nm以上。另外，为了促进中止层的形成，可以在贴合前，在1000120(TC下热处理1小时以上。通过上述热处理，以及通过改变氧离子注入量，可以形成厚度1003000nm范围的含有Si02相粒子层或连续的Si02层。(4)中止层露出表面的工序将强化贴合且形成含有Si02相粒子层或连续的Si02层(中止层)的贴合晶片，从活性层用晶片的表面侧研削、研磨和/或蚀刻，使前述中止层露出表面。该中止层露出表面的工序可以包括例如将前述贴合晶片从活性层用晶片的表面侧研削，接着，再将研削面研磨和/或蚀刻。该工序中，中止层起到研削中止层的功能。研磨可以使用Si和Si02的研磨速率比大，例如不含砂粒的碱性溶液进行。研磨速率比越大越好，速率比优选为10以上，更优选为100以上。蚀刻可以使用例如仅能蚀刻Si的KOH溶液进行。但是，在Si02相粒子不连续的存在于Si中的中止层时，蚀刻液难以渗入Si02粒子间，所以在使用蚀刻时，中止层优选为连续的Si02层。(5)除去前述中止层的工序使中止层露出表面后，除去露出的中止层。可以通过例如HF处理除去中止层。HF处理可以通过例如在稀释为1%的HF溶液中浸渍5分钟(批式洗涤机)而完全除去。在Si02相粒子不连续存在于Si中的中止层时，可以在氧化气氛下热处理，改变为连续的Si02层后，通过HF处理除去。(6)扩散导电性成分的工序除去中止层的贴合晶片在还原气氛下热处理，使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散。作为如上所述的活性层用晶片，使用基板电阻为1~100mQcm的硅晶片，该硅晶片可以是P型晶片。更具体地说，作为导电性成分是含有硼的晶片。在该工序中，例如使作为导电性成分的硼扩散。在使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散工序中的热处理，可以在1000120(TC的温度范围内进行。热处理时间只要是使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散充分的时间即可，可以为例如10分钟10小时的范围。形成装置的活性层用晶片(Top)层一般广泛使用p—，为了与其对应，在制成SOI或DSB基板后，以氩气在氢气等还原气氛中热处理，使活性层用晶片层中存在的硼减少向外部扩散。用本发明的方法的活性层晶片(Top)层的厚度可以根据氧离子注入机的加速电压决定。普通市售的氧离子注入机的加速电压为max.200keV，Top层的厚度max约为500mn。为了使该深度的硼向外部扩散，适合在105CTC以上保持1小时以上。实施例以下，通过实施例对本发明进行更详细地说明。实施例1根据以下顺序，制成S0I结构的贴合晶片。(1)准备300mm的支撑用晶片。300ram的支撑用晶片是基板电阻为10~20Qcm的p型晶片(100)，具有1000。C下氧气气氛中热处理5小时形成的BOX层(1500A)。(2)准备300mm的活性层用晶片(Top基板)。300mm的活性层用晶片是基板电阻为0.00110Qcm范围(详见表l)的p型晶片(100),具有氧离子注入层。氧离子注入层在加速电压180keV，倾注量2el7cnT2，基板温度10050(TC的条件下形成。(3)上述支撑用晶片和活性层用晶片SCI洗净后，贴合。(4)贴合后，在120(TC下进行1小时贴合强化热处理(-氧气氛)。(5)从活性层晶片的表面起研削、研磨基板，使剩余厚度约为10um。(6)研削、研磨后，进一步在Si02层停止，使用不含沙粒的碱性研磨液研磨。并且，该研磨也可以替换为用碱性溶液蚀刻。(7)接着，通过HF溶液(25%浓度)除去Si02层。(8)接着，将贴合的晶片在1000120(TC下保持1小时(氩气气氛)，进行外部扩散处理。(9)所得的贴合晶片评价如下。通过AFM进行粗糙度评价((7)之后评价)的评价结果如表l所示。通过SIMS测定活性层用晶片(T叩层)中的硼浓度((8)之后评价(一部分))，评价结果如表2所示。实施例2通过以下顺序制造DSB结构的贴合晶片。(1)准备300mm的支撑用晶片。300鹏的支撑用晶片是基板电阻为1020Qcm的p型晶片(100)。(2)准备300mm的活性层用晶片(T叩基板)。300mm的活性层用晶片是基板电阻为0.00110Qcm范围(详见表l)的p型晶片(100)，具有氧离子注入层。氧离子注入层在加速电压180keV，倾注量2el7cm—2，基板温度10050(TC的条件下形成。(3)(9)与实施例1同样地实施。评价结果如表1所示。表l电阻和粗糙度的关系<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>工业实用性本发明的制造方法可以适用于SOI(SiliconOnInsulator)基板和DSB(DirectSiliconBonding)基板的任何一种。权利要求1.一种贴合晶片的制造方法，该方法包括在基板电阻为1～100mΩcm的活性层用晶片中注入氧离子，在前述活性层用晶片中形成氧离子注入层的工序；将前述活性层用晶片和支撑用晶片，通过或者不通过绝缘层贴合，形成贴合晶片的工序；将前述贴合晶片热处理，强化贴合，而且使前述氧离子注入层作为含有SiO2相粒子层或连续的SiO2层的工序；将前述强化贴合的贴合晶片从活性层用晶片的表面一侧研削、研磨和/或蚀刻，使前述中止层露出表面的工序；除去前述中止层的工序；和将除去中止层的贴合晶片在还原气氛下热处理，使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散的工序。2.根据权利要求l所记载的制造方法，其中前述活性层用晶片是P型晶片。3.根据权利要求2所记载的制造方法，其中前述p型晶片含有硼作为导电性成分。4.根据权利要求13中任一项所记载的制造方法，其中氧离子注入层是从前述活性层用晶片的贴合用表面起形成2001000nm的深度。5.根据权利要求14中任一项所记载的制造方法，其中前述支撑用晶片具有绝缘层，通过该绝缘层使前述活性层用晶片和支撑用晶片贴合。6.根据权利要求14中任一项所记载的制造方法，其中前述支撑用晶片没有绝缘层，而使前述活性层用晶片和支撑用晶片直接贴合。7.根据权利要求16中任一项所记载的制造方法，其中将前述强化贴合，且使氧离子注入层作为含有Si(X'相粒子层或连续的Si02层的工序中的热处理，在1000130(TC的范围内的温度下进行。8.根据权利要求17中任一项所记载的制造方法，其中使前述中止层露出表面的工序包括将前述强化贴合的贴合晶片从活性层用晶片的表面一侧研削，然后，再将研削面研磨和/或蚀刻。9.根据权利要求18中任一项所记载的制造方法，其中使前述活性层用晶片中含有的导电性成分扩散的工序中的热处理，是在1000120(TC的温度范围内进行的。全文摘要本发明提供一种制造最终产品贴合基板的方法，该方法是在使用研磨中止层的贴合方法中，抑制作为研磨中止层的SiO<sub>2</sub>层和硅基板的界面粗糙度，以使表面的粗糙度小。一种贴合的晶片的制造方法，该方法包括在基板电阻为1～100mΩcm的活性层用晶片中注入氧离子，在前述活性层用晶片中形成氧离子注入层的工序；使前述活性层用晶片和支撑用晶片通过或不通过绝缘层贴合，形成贴合晶片的工序；将前述贴合的晶片热处理，强化贴合，而且使前述氧离子注入层作为含有SiO<sub>2</sub>层的工序；将前述强化贴合的贴合晶片从活性层用晶片的表面侧研削、研磨和/或蚀刻，使前述中止层露出表面的工序；除去前述SiO<sub>2</sub>层的工序；以及将贴合晶片在还原气氛下热处理，使活性层用晶片中含有的导电性成分扩散的工序。文档编号H01L21/02GK101320684SQ20081008950公开日2008年12月10日申请日期2008年4月3日优先权日2007年4月3日发明者森本信之,远藤昭彦申请人:胜高股份有限公司