有机电致发光装置及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种有机电致发光装置及其制备方法。该有机电致发光装置包括依次层叠结合的衬底层、阳极层、有机功能层和阴极层，所述有机功能层包括依次层叠结合的电子注入层、电子传输层和在外加电源驱动下发光的发光层，所述电子注入层与阴极层层叠结合，其中，所述电子注入层含有质量比为1:0.2～2的无机锂化合物与有机锂化合物的混合物。其制备方法包括获取衬底、制备阳极层、制备有机功能层和制备阴极层等步骤。本发明有机电致发光装置电子注入效率高，较低了启动电压，提高了其发光效率。其制备方法工艺简单，条件易控，产品合格率高，有效提高了生产效率，适于产业化生产。
【专利说明】有机电致发光装置及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明属于电光源【技术领域】，具体的说是涉及有机电致发光装置及其制备方法。【背景技术】
[0002]有机电致发光(Organic Light Emission Diode,以下简称0LED)具有亮度高、材料选择范围宽、全固化主动发光等特性，同时拥有高清晰、广视角，以及响应速度快等优势，是一种极具潜力的显示技术和光源，符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势，以及绿色照明技术的要求，是目前国内外众多研究者的关注重点。
[0003]有机电致发光器件是载流子注入型发光器件，在阳极和阴极加上工作电压后，空穴从阳极，电子从阴极分别注入到工作器件的有机材料层中，两种载流子在有机发光材料中形成空穴-电子对发光，然后光从电极一侧发出。
[0004]到目前为止，尽管全世界各国的科研人员通过选择合适的有机材料和合理的器件结构设计，已使器件性能的各项指标得到了很大的提升，但是目前由于驱动发光器件的电流较大，发光效率低，器件寿命低，为了实现有机电致发光器件的实用化，人们急于寻找一种驱动电流小，发光效率高的发光器件结构。
[0005]为了提高该器件的发光效率，现有器件中的电子注入层所选的材料进行了改进，如单独采用无机物电子注入材料或者单独采用有机电子注入材料，但是该材料的电子注入层存在稳定性不高，与电子传输层界面的界面势垒较高，导致了电子注入效率较低，从而导致OLED的发光效率低，所需的驱动电压较高，降低了其工作寿命。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于克服现有技术的上述不足，提供一种启动电压低，能有效提高电子注入效率的有机电致发光装置。
[0007]本发明的另一目的在于提供一种条件易控，产品合格率高的有机电致发光装置制备方法。
[0008]为了实现上述发明目的，本发明的技术方案如下:
[0009]一种有机电致发光装置，包括依次层叠结合的衬底层、阳极层、有机功能层和阴极层，所述有机功能层包括依次层叠结合的电子注入层、电子传输层和在外加电源驱动下发光的发光层，所述电子注入层与阴极层层叠结合，其中，所述电子注入层含有质量比为1:0.2?2的无机锂化合物与有机锂化合物的混合物。
[0010]以及，上述有机电致发光装置的一种制备方法，在制备所述电子传输层与阴极层的步骤之间，包括如下制备所述电子注入层的步骤:
[0011]在镀膜系统中，以无机锂化合物和有机锂化合物为两独立的镀源在电子传输层外表面进行镀膜，形成电子注入层。
[0012]本发明有机电致发光装置的电子注入层采用将无机锂化合物与有机锂化合物互相掺杂构成，其中，无机锂化合物能有效提高电子注入层的稳定性，有机锂化合物能有效降低电子注入层与电子传输材料之间的界面势垒，因此，通过无机锂化合物与有机锂化合物互相掺杂赋予了该电子注入层优异的电子注入效果，从而赋予有机电致发光装置高的发光效率和低的启动电压等优异性能。
[0013]本发明有机电致发光装置制备方法将无机锂化合物与有机锂化合物为两独立的镀源，通过控制两镀源的蒸镀速率，制备出结构均匀且稳定的掺杂结构电子注入层。该方法工艺简单，条件易控，产品合格率高，有效提高了生产效率，适于产业化生产。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是本发明实施例有机电致发光装置的结构示意图；
[0015]图2是本发明实施例有机电致发光装置制备方法的流程示意图；
[0016]图3是本发明实施例1与对比例1、2制备的有机电致发光装置的电流-电压关系曲线图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本发明要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例与附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0018]本发明实施例提供了一种启动电压低，能有效提高电子注入效率的有机电致发光装置。该有机电致发光装置结构如图1所示，其包括依次层叠的衬底层1、阳极层2、有机功能层3和阴极层4。
[0019]其中，有机功能层3包括依次层叠结合的空穴注入层31、空穴传输层32、发光层33、电子传输层34、电子注入层35。其中，空穴注入层31与阳极层2的与衬底层I相结合面相对的表面层叠结合，电子注入层35与`阴极层4的一表面层叠结合，其结构如图1所示。
[0020]在该有机功能层3中，空穴注入层31所选用的材料优选为酞菁铜(CuPc)、酞菁铜(ZnPc)、(4，V，4"-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)、4，4'，4"-三(2-萘基苯基氨基)三苯基胺(2-TNATA)中的至少一种。当然，该空穴注入层31所选用的材料还可以采用本领域其他公知的空穴注入材料，其厚度也可按照本领域常规的厚度进行设置。该空穴注入层31的设置能有效增强阳极层2与空穴注入层31间的欧姆接触，加强了导电性能，进一步提高阳极层2端的空穴注入能力。当然，如果不考虑本发明实施例有机电致发光装置阳极端的空穴注入能力，也可以不在此位置设置空穴注入层31。
[0021]上述空穴传输层32所选用的材料优选为N，N' - 二苯基-N，N' -二(1_萘基)-1，1'-联苯-4，4' -二胺(NPB)，N，N' -二苯基-N，N' -二(3-甲基苯基)-1，I'-联苯-4，4' - 二胺(TPD)，4，4'，4"-三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)中的至少一种。当然，除此之外，该空穴传输层32的材质还可以采用本领域其他公知的空穴传输材料，其厚度也可按照本领域常规的厚度进行设置。
[0022]上述发光层33能在外加电源驱动下发光，其所选的发光材料可以根据实际的需求(如发光颜色等要求)灵活选择。如可以选用4，4' -二(9-咔唑)联苯(CBP)、双(4，6-二氟苯基吡啶-队02)吡啶甲酸合铱^1冲化)、队"-二苯基-N，N' -二(1-萘基-联苯_4，4' -二胺(NPB)、二(2-甲基-二苯基[f，h]喹喔啉)(乙酰丙酮)(Ir(MDQ)Jacac) )、4，4’，4”_三(咔唑_9_基)-三苯胺(TCTA)、三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)3)>4,4/ -二(2，2-二苯乙烯基)-1，I'-联苯(DPBVi)、4_4_二氰基亚甲基-2-叔丁基-6-(1，1，7，7-四甲基-久洛尼定-9-乙烯基)-4H-吡喃(DCJTB)、4，4' -二(9-咔唑)联苯与双(4，6-二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酸合铱的掺杂混合物(CBP:FIrPic)、N，N' - 二苯基-N，N' -二(1-萘基)_1，1‘ -联苯-4，4' -二胺与二(2-甲基-二苯基[f，h]喹喔啉)(乙酰丙酮)的掺杂混合物(NPB=Ir(MDQ)2 (acac) )、4，4’，4”_三(咔唑-9-基)-三苯胺与三(2-苯基吡啶)合铱的掺杂混合物(TCTA:1r (ppy) 3)、4_4_ 二氰基亚甲基-2-叔丁基-6-(1，1,7, 7-四甲基-久洛尼定-9-乙烯基)-4H-吡喃与8-羟基喹啉)-铝的掺杂混合物(DCJTB: Alq3 )中的任一种。其中，CBP: FIrPic、NPB:1r (MDQ) 2 (acac)、TCTA:1r (ppy)3按照现有比例进行掺杂混合，如NPB:1r (MDQ)2 (acac)，其中，NPB为主体材料，Ir (MDQ)2(acac)为客体材料，且主、客体掺杂质量比为5:100。该发光层33的厚度可以设置为10nm、20nm，当然，其厚度还可是本领域常规的其他厚度范围。
[0023]上述电子传输层34所选用的材料优选为(8-羟基喹啉)_铝(Alq3)、4，7-二苯基-邻菲咯啉(Bphen) ,1,3, 5-H (1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯(TPBi)、2，9-二甲基-4，7-联苯-1，10-邻二氮杂菲(BCP)、1，2，4-三唑衍生物(TAZ)、双(2-甲基-8-羟基喹啉-NI，08)-(1, I；-联苯-4-羟基)铝(BAlq)中的至少一种。该材料的电子传输层34结构均匀、稳定，内电阻小，能进一步提高电子的传输效率。该电子传输层34的厚度可以设置为40nm、50nm，当然，其厚度还可是本领域常规的其他厚度范围。
[0024]上述电子传输层35所选用的材料含有质量比为1:0.2~2的无机锂化合物与有机锂化合物的混合物。其中，该无机锂化合物优选为Li3N、LiN3、LiCoO2, LiPO4中的至少一种，有机锂化合物优选为Liq和/或CH3CO2Ll在该电子传输层35中的无机锂化合物能有效提高电子注入层的稳定性，有机锂化合物能有效降低电子注入层与电子传输材料之间的界面势垒，两者互相掺杂赋予了该电子注入层35优异的电子注入效果。为了使得该电子传输层35的电子注入效果更优，电子注入层35的厚度优选控制在0.2~5nm。
[0025]当然，在如图1所示的有机电致发光装置结构的基础上，上述有机功能层3还可以包括电子阻挡层和空穴阻挡层(电子阻挡层和空穴阻挡层图1未显示)，该电子阻挡层层叠结合在空穴传输层32与发光层33之间，该空穴阻挡层层叠结合在电子传输层34与发光层33之间。
[0026]其中，该电子阻挡层所选用的材料可以是本领域公知常用的材料，其厚度也可以是本领域常规的厚度。电子阻挡层的设置是为了将阴极层4注入的电子尽可能的截留在发光层33中，以提高空穴与电子在发光层33中相遇机率，以提高两者复合而形成的激子量，并将激子能量传递给发光材料，从而激发发光材料的电子从基态跃迁到激发态，激发态能量通过辐射失活，产生光子，释放光能，以达到增强发光层33的发光强度的目的。
[0027]该空穴阻挡层所选用的材料可以是本领域公知常用的材料，其厚度也可以是本领域常规的厚度。该空穴阻挡层与电子阻挡层同时设置，协同作用，能使得从阳极层4注入的空穴尽可能的截留在发光层33中，并使得该空穴与电子在发光层33中相遇机率，以提高两者复合而形成的激子量，以达到增强发光层33的发光强度的目的。当然，该空穴阻挡层与电子阻挡层也可以择一设置。
[0028]在图1所示的有机电致发光装置中，衬底层I可选用本领域常用的材质及常规的厚度。如其材质可选用玻璃材质的基板等。
[0029]阳极层2的材质可选用铟掺杂氧化锡薄膜(ITO)、铟锌氧化物(ΙΖ0)、或铝锌氧化物(ΑΖ0)，镓锌氧化物(GZO)中的至少一种。其厚度可为lOOnm。当然，该阳极层2的材质还可以选用本领域其他的正极材料，如金属单质或金属合金等，厚底也可以设置成本领域常规的其他厚度。
[0030]阴极层4所选用的材料可以是铝(Al)，其厚度可设置为70?200nm。当然，阴极层4所选用的材料还可以是金属银(Ag)、银镁合金(Ag-Mg)或镁铝合金(Al-Mg)，厚度也可以设置其他常规厚度。
[0031]由上述可知，上述实施例有机电致发光装置的电子注入层35采用将无机锂化合物与有机锂化合物互相掺杂构成，其中，无机锂化合物能有效提高电子注入层35的稳定性，有机锂化合物能有效降低电子注入层35与电子传输材料34之间的界面势垒，因此，通过无机锂化合物与有机锂化合物互相掺杂赋予了该电子注入层35优异的电子注入效果，从而赋予有机电致发光装置高的发光效率和低的启动电压等优异性能，延长了其使用寿命。通过对其他各层结构的设置、所选用的材料和厚度的调整，与该电子注入层35的协同作用，以达到提高有机电致发光装置中载流子的注入效率和浓度，以进一步的显著提高该有机电致发光装置的发光效率，降低该有机电致发光装置的启动电压的效果。
[0032]相应地，本发明实施例还提供了一种关于上文所述的有机电致发光装置的制备方法。该制备方法流程如图2所示，同时请参见图1，包括如下步骤:
[0033]S01.获取衬底:根据实际需要获取所需尺寸的衬底，作为衬底层I ;
[0034]S02.制备阳极层2:在衬底层I的一表面镀阳极层2 ；
[0035]S03.制备有机功能层3:在步骤S02制备的阳极层2的与衬底层I相结合面相对的表面镀有机功能层3 ；
[0036]S04.制备阴极层4:在步骤S03制备的有机功能层3的与阳极层2相结合面相对的表面镀阴极层4，得到有机电致发光装置。
[0037]具体地，上述步骤SOl中的所选用的衬底如上文所述，可选用本领域常规的衬底材料，如玻璃。
[0038]优选地，在进行下述步骤S02之前，还包括对该衬底层I进行清洗的预处理:
[0039]将衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用。
[0040]上述步骤S02中，将衬底置于磁控溅射系统中在衬底表面溅射成膜，形成阳极层
2。其溅射条件采用本领域常规的工艺条件即可。
[0041 ] 优选地，在进行下述步骤S03之前，还包括对步骤S02中的阳极层2进行等离子处理:将该镀有阳极层2的衬底置于凳子离子处理室中，进行等离子处理。该等离子处理条件采用本领域常规的工艺条件即可。经等离子处理后阳极层2能有效的提高阳极功函数，降低空穴的注入势垒。
[0042] 上述步骤S03中，制备有机功能层3的方法根据其结构而调整，如当有机功能层3的结构如图1所示包含依次层叠结合的空穴注入层31、空穴传输层32、发光层33、电子传输层34、电子注入层35时，将经步骤S02处理后含有阳极层2的衬底置于真空镀膜系统中，在该阳极层2外表面依次镀空穴注入层31、空穴传输层32、发光层33、电子传输层34、电子注入层35等功能层，在蒸镀各层时，以相应层的材料为镀源制备各层，其中，镀空穴注入层31、空穴传输层32、发光层33、电子传输层34、电子注入层35各层的镀源如上文所述，为了节约篇幅，在此不再赘述。其中，在镀电子注入层35时，将无机锂化合物和有机锂化合物分别置于真空镀膜系统的两个蒸发源内，通过共掺杂的方法制备掺杂结构的电子注入层35。在镀该电子注入层35时，无机锂化合物或/和有机锂化合物镀源的蒸镀速率优选为
0.01~0.lnm/s，其中，无机锂化合物与有机锂化合物的蒸镀速率之比优选为1:(0.2_2)。在制备电子注入层35时，通过控制各镀源的蒸镀速率，以实现相应镀源之间的均匀参杂，并控制相应镀源参杂的比例，以获得结构均匀且稳定的电子注入层35。另外，通过对蒸镀时间和蒸镀速率的控制，实现对有机功能层3中各功能层如电子注入层35以及其他各层厚度的控制。
[0043]具体地，上述步骤S04中，将镀有有机功能层3的衬底置于镀膜系统中，以阴极材料为镀源在有机功能层3外表面进行镀膜，形成阴极层4。其蒸镀条件采用本领域常规的工艺条件即可。如其蒸镀速度为0.5nm/s，通过控制蒸镀时间以控制阴极层4的厚度。
[0044]由上述可知，上述有机电致发光装置制备方法将无机锂化合物与有机锂化合物为两独立的镀源，通过控制两镀源的蒸镀速率，制备出结构均匀且稳定的掺杂结构电子注入层，有效降低电子注入层与电子传输材料之间的界面势垒，提高了电子注入层的电子注入效果，从而赋予有机电致发光装置高的发光效率和低的启动电压等优异性能。另外，该方法工艺简单，条件易控，产品合格率高，有效提高了生产效率，适于产业化生产。
[0045]现结合具体实例，对本发明实施例有机电致发光装置的结构及其制备方法进行进一步详细说明。
[0046]实施例1
[0047]一种有机电致发光装置，其结构为玻璃基板/ITO (IOOnm) /CuPc (20nm) /NPB (30nm) /NPB:1r (MDQ)2 (acac) (20nm) /TPBi (40nm) /Li3N:Liq(l: 1,0.2nm) /Al (70nm)。其中，空穴注入层为CuPc，空穴传输层为NPB，发光层为NPB:1r (MDQ)2 (acac)，电子传输层为TPBi，电子注入层为Li3N =Liq的掺杂混合结构层。
[0048]该有机电致发光装置制备方法包括以下步骤:
[0049]步骤Sll.提供玻璃衬底:将玻璃衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用；
[0050]步骤S12.在磁控溅射系统中，在步骤Sll中的玻璃衬底上制备ITO阳极层，并对阳极层进行如上文所述的等离子处理；
[0051]步骤S13.在真空为5X10_4Pa的镀膜系统中，在步骤S12中制备的ITO阳极层外表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，各层的蒸镀速度为0.2nm/S ；
[0052]步骤S14.在真空度为5 X 10_4Pa的真空热镀膜系统中，把掺杂用的Li3N和Liq分别至于两个蒸发源中，通过调节加热速度与热量供给，进行同时蒸镀，制得电子注入层；具体地，Li3N的蒸镀速度在0.0 lnm/s, Liq的蒸镀速度为0.0 lnm/s ；
[0053]步骤S15:在真空镀膜系统中，在电子注入层外表面蒸镀阳极Al层，形成阴极，得到有机电致发光装置。
[0054]实施例2
[0055]一种有机电致发光装置，其结构为玻璃基板/ITO (IOOnm) /ZnPc (20nm) /TCTA (40nm) /TCTA:1r (ppy) 3 (15nm) /BAlq (50nm) /LiCoO2: CH3CO2Li (1:0.2，5nm) /Al (IOOnm)。其中，空穴注入层为ZnPc，空穴传输层为TCTA，发光层为TCTA:1r (ppy)3，电子传输层为BAlq,电子注入层为LiCoO2 = CH3CO2Li的掺杂混合结构层。
[0056]该有机电致发光装置制备方法包括以下步骤:
[0057]步骤S21.提供玻璃衬底:将玻璃衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用；
[0058]步骤S22.在磁控溅射系统中，在步骤S21中的玻璃衬底上制备ITO阳极层，并对阳极层进行如上文所述的等离子处理；
[0059]步骤S23.在真空为5X 10_4Pa的镀膜系统中，在步骤S22中制备的ITO阳极层外表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，各层的蒸镀速度为0.2nm/s ；
[0060]步骤S24.在真空度为5X10_4Pa的真空热镀膜系统中，把掺杂用的LiCoO2和CH3CO2Li分别至于两个蒸发源中，通过调节加热速度与热量供给，进行同时蒸镀，制得电子注入层；具体地，LiCoO2的蒸镀速度在0.2nm/s, CH3CO2Li的蒸镀速度为0.04nm/s ；
[0061]步骤S25:在真空镀膜系统中，在电子注入层外表面蒸镀阳极Al层，形成阴极，得到有机电致发光装置。
[0062]实施例3
[0063]一种有机电致发光装置，其结构为玻璃基板/ITO (IOOnm) /m-MTDATA (20nm) /TPD (40nm) /DPBVi (20nm) /BCP (50nm) /LiN3: Liq (1: 2，lnm) /Al (120nm)。其中，空穴注入层为m-MTDATA，空穴传输层为TPD，发光层为DPBVi，电子传输层为BCP，电子注入层为LiN3 = Liq的掺杂混合结构层。
[0064]该有机电致发光装置制备方法包括以下步骤:
[0065]步骤S31.提供玻璃衬底:将玻璃衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用；
[0066]步骤S32.在磁控溅射系统中，在步骤S31中的玻璃衬底上制备ITO阳极层，并对阳极层进行如上文所述的等离子处理；
[0067]步骤S33.在真空为5X 10_4Pa的镀膜系统中，在步骤S32中制备的ITO阳极层外表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，各层的蒸镀速度为0.2nm/s ；
[0068]步骤S34.在真空度为5 X 10_4Pa的真空热镀膜系统中，把掺杂用的LiN3和Liq分别至于两个蒸发源中，通过调节加热速度与热量供给，进行同时蒸镀，制得电子注入层；具体地LiN3的蒸镀速度在0.05nm/s, Liq的蒸镀速度为0.lnm/s ；
[0069]步骤S35:在真空镀膜系统中，在电子注入层外表面蒸镀阳极Al层，形成阴极，得到有机电致发光装置。
[0070]实施例4
[0071 ] 一种有机电致发光装置，其结构为玻璃基板/ITO (IOOnm) /2-TNATA (20nm) /TPD (30nm) /CBP:FIrPic (IOnm) /Bphen (40nm) /Li3PO4: Liq (1: 0.5，5nm) /Al (150nm)。其中，空穴注入层为2-TNATA，空穴传输层为TPD，发光层为CBP:FIrPic，电子传输层为Bphen，电子注入层为Li3PO4: Liq的惨杂混合结构层。
[0072]该有机电致发光装置制备方法包括以下步骤:
[0073]步骤S41.提供玻璃衬底:将玻璃衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用；
[0074]步骤S42.在磁控溅射系统中，在步骤S41中的玻璃衬底上制备ITO阳极层，并对阳极层进行如上文所述的等离子处理；
[0075]步骤S43.在真空为5X 10_4Pa的镀膜系统中，在步骤S42中制备的ITO阳极层外表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，各层的蒸镀速度为0.2nm/s ；
[0076]步骤S44.在真空度为5X 10_4Pa的真空热镀膜系统中，把掺杂用的Li3PO4和Liq分别至于两个蒸发源中，通过调节加热速度与热量供给，进行同时蒸镀，制得电子注入层；具体地Li3PO4的蒸镀速度在0.lnm/s, Liq的蒸镀速度为0.05nm/s ；
[0077]步骤S45:在真空镀膜系统中，在电子注入层外表面蒸镀阳极Al层，形成阴极，得到有机电致发光装置。
[0078]实施例5
[0079]一种有机电致发光装置，其结构为玻璃基板/GZO (IOOnm) //m-MTDATA (40nm) /NPB (20nm) /DCJTB: Alq3 (20nm) /Alq3 (40nm) /LiN3: CH3CO2Li (1:1.5,0.5nm) /Al (200nm)。其中，空穴注入层为m-MTDATA，空穴传输层为NPB，发光层为DCJTB: Alq3，电子传输层为Alq3，电子注入层为LiN3 = CH3CO2Li的掺杂混合结构层。
[0080]该有机电致发光装置制备方法包括以下步骤:
[0081]步骤S51.提供玻璃衬底:将玻璃衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理20分钟，然后再用氮气吹干备用；
[0082]步骤S52.在磁控溅射系统中，在步骤S51中的玻璃衬底上制备GZO阳极层，并对阳极层进行如上文所述的等离子处理；
[0083]步骤S53.在真空为5X 10_4Pa的镀膜系统中，在步骤S52中制备的GZO阳极层外表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，各层的蒸镀速度为0.2nm/s ；
[0084]步骤S54.在真空度为5X10_4Pa的真空热镀膜系统中，把掺杂用的LiNjPCH3CO2Li分别至于两个蒸发源中，通过调节加热速度与热量供给，进行同时蒸镀，制得电子注入层；具体地LiN3的蒸镀速度在0.02nm/s, CH3CO2Li的蒸镀速度为0.03nm/s ；
[0085]步骤S55:在真空镀膜系统中，在电子注入层外表面蒸镀阳极Al层，形成阴极，得到有机电致发光装置。
[0086]对比例I
[0087]参照实施例1，制作器件结构为玻璃基板/ITO(IOOnm) /CuPc (20nm) /NPB (30nm) /NPB:1r (MDQ) 2 (acac) (20nm) /TPBi (40nm) /LiN3 (0.2nm) /Al (70nm)；相比实施例1，对比例 I只采用无机材料作为电子注入层。
[0088]对比例2
[0089]参照实施例1，制作器件结构为玻璃基板/ITO(IOOnm) /CuPc (20nm) /NPB (30nm) /NPB:1r (MDQ) 2 (acac) (20nm) /TPBi (40nm) /Liq (0.2nm) /Al (70nm);相比实施例1，对比例 2只采用有机材料作为电子注入层。
[0090]有机电致发光装置进行发光性能测试
[0091]将上述实施例1与对比例1、2制备的有机电致发光装置进行电流-电压关系分析，分析结果如图3所示。由图3可明显看出，由于实施例制备的有机电致发光装置采用了无机锂化合物与有机锂化合物掺杂的混合物为电子注入层。电子注入层中的无机锂化合物能有效提高电子注入层的稳定性，有机锂化合物能有效降低电子注入层与电子传输材料之间的界面势垒。因此，通过无机锂化合物与有机锂化合物的协同作用，使得电子注入层的稳定性优于现有普通的有机电子注入层，从而使得电子能够稳定高效的从阴极注入到电子传输层中，并且有效降低了电子注入层与电子传输层之间的界面势垒，因而在较低的启动电压下，即可获得较大的驱动电流，延长了该有机电致发光装置的使用寿命。
[0092]将上述实施例1至实施例5和对比例1、2制备的有机电致发光装置进行发光性能测试，测试结果如下述表1:
[0093]表1
【权利要求】
1.一种有机电致发光装置，包括依次层叠结合的衬底层、阳极层、有机功能层和阴极 层，其特征在于：所述有机功能层包括依次层叠结合的电子注入层、电子传输层和在外加电 源驱动下发光的发光层，所述电子注入层与阴极层层叠结合，其中，所述电子注入层含有质 量比为1:0. 2?2的无机锂化合物与有机锂化合物的混合物。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述无机锂化合物为Li3N、 LiN3、LiCo02、LiP04 中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述有机锂化合物为Liq 和 / 或 CH3C02Li。
4.根据权利要求1?3任一所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述电子注入层 的厚度为0. 2?5nm。
5.根据权利要求1?3任一所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述电子传输层 所选用的材料为（8-羟基喹啉）-铝、4，7-二苯基-邻菲咯啉、1，3，5-三（1-苯基-1H-苯并 咪唑-2-基）苯、2，9-二甲基-4，7-联苯-1，10-邻二氮杂菲、1，2，4-三唑衍生物、双（2-甲 基-8-羟基喹啉-N1，08)-(1，1'-联苯-4-羟基）铝中的至少任一种。
6.根据权利要求1所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述发光层所选用的材料 为4，4' -二（9-咔唑）联苯、双（4，6- 二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酸合铱、N，N' - 二苯 基_N，N' -二（1-萘基-联苯-4，4' -二胺、二（2-甲基-二苯基[f，h]喹喔 啉）（乙酰丙酮）、4，4’，4”_三（咔唑-9-基）-三苯胺、三（2-苯基吡啶）合铱、4，4' -二 (2，2- 二苯乙烯基）-1，1'-联苯、4-4- 二氰基亚甲基-2-叔丁基-6- (1，1，7，7-四甲基-久 洛尼定-9-乙烯基）-4H-吡喃、4，4' -二（9-咔唑）联苯与双（4，6-二氟苯基吡啶-N，C2) 吡啶甲酸合铱的掺杂混合物、N，N' -二苯基-N，N' -二（1-萘基）_1，1'-联苯-4，4' -二 胺与二（2-甲基-二苯基[f，h]喹喔啉）（乙酰丙酮）的掺杂混合物、4，4’，4” -三（咔 唑-9-基）_三苯胺与三（2-苯基吡啶)合铱的掺杂混合物、4-4- 二氰基亚甲基-2-叔丁 基_6_(1，1，7，7-四甲基-久洛尼定-9-乙烯基）-4H-吡喃与8-羟基喹啉）_铝的掺杂混 合物中的任一种。
7.如权利要求1?6任一项所述的有机电致发光装置制备方法，在制备所述电子传输 层与阴极层的步骤之间，包括如下制备所述电子注入层的步骤：在镀膜系统中，以无机锂化合物和有机锂化合物为两独立的镀源在电子传输层外表面 进行镀膜，形成电子注入层。
8.如权利要求7所述的有机电致发光装置制备方法，其特征在于：所述无机锂化合物 或/和有机锂化合物的蒸镀速率为0. 01?0. lnm/s。
9.如权利要求7或8所述的有机电致发光装置制备方法，其特征在于：所述无机锂化 合物与有机锂化合物的蒸镀速率之比为1: (0. 2?2)。
【文档编号】H01L51/54GK103855311SQ201210504790
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2012年11月30日 优先权日:2012年11月30日
【发明者】周明杰, 王平, 冯小明, 张振华 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司