一种柔性衬底基板及其制作方法
【专利摘要】本发明的实施例提供一种柔性衬底基板及其制作方法，涉及显示【技术领域】，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为残次品。该柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬底基板包括：第一柔性膜层，其中：所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；所述凹槽具有相同的厚度。本发明应用于柔性衬底基板的制作技术中。
【专利说明】一种柔性衬底基板及其制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种柔性衬底基板及其制作方法。
【背景技术】
[0002] 柔性显示是下一代显示技术的重要发展方向，该技术具有可弯曲、不易碎、超轻超 薄、低功耗、便携等特点，在电子书、移动通信、笔记本、电视、公共信息等领域具有广阔的应 用前景和良好的发展前景。目前柔性显示器件的制备方法通常是将柔性基板通过粘结剂、 牺牲层、涂敷等贴附在刚性承载基板上，然后在其上面制备显示器件，之后通过机械或者激 光照射等方法将柔性基板与承载基板分离。
[0003] 受现有技术的限制目前的柔性显示器中，柔性基板的布线结构（主要包括栅极信 号线、公共电极引线、数据信号线等）大多采用金属、金属合金或金属氧化物等制作，这些 布线结构在某一方向上柔韧性很好，但在与该方向垂直的方向上柔韧性较差。尤其当柔性 基板上覆盖有无机膜层时，由于无机膜层的薄膜应力往往很大，当柔性基板从硬质承载基 板上剥离时，由于薄膜应力的原因柔性基板会发生不想要的卷曲，影响显示器件的性能。当 卷曲幅度过大时，甚至会损坏柔性基板上的显示器件，使最终形成的显示器件成为残次品。
【发明内容】
[0004] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板及其制作方法，解决了现有的显示器件在 制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲的问题，避免损坏显 示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为残次品。
[0005] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
[0006] 第一方面，提供一种柔性衬底基板，所述柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬 底基板包括：第一柔性膜层，其中：
[0007] 所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；
[0008] 其中，所述凹槽具有相同的厚度。
[0009] 可选的，所述柔性衬底基板还包括：第一缓冲层，其中：
[0010] 所述第一缓冲层设置在所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的位置处；
[0011] 所述第一缓冲层的材料与所述第一柔性膜层的材料不同。
[0012] 可选的，所述柔性衬底基板还包括：柔性基底膜层，其中：
[0013] 所述柔性基底膜层设置在所述第一柔性膜层和所述第一缓冲层的下面的位置 处；
[0014] 其中，所述第一柔性膜层和所述第一缓冲层覆盖所述柔性基底膜层。
[0015] 可选的，所述柔性衬底基板还包括：至少一层柔性衬底膜层，所述柔性衬底膜层包 括：第二柔性膜层和第二缓冲层，其中：
[0016] 所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个厚度相同的凹槽；
[0017] 所述第二缓冲层设置在所述第二柔性膜层的凹槽内；
[0018] 所述柔性衬底膜层设置在所述第一柔性膜层的上面覆盖所述第一柔性膜层的位 置处。
[0019] 可选的，所述第二缓冲层所在的位置与所述第一缓冲层所在位置之间具有互补的 关系。
[0020] 可选的，所述第一柔性膜层的材料包括：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二 醇酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚酰亚胺或者纤维增强材料。
[0021] 可选的，所述第一缓冲层的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化铝中的至少一种；
[0022] 或者，所述第一缓冲层的材料包括：碳纳米管、石墨烯、钥、铜、铝中的至少一种。
[0023] 可选的，所述柔性基底膜层的材料与所述第一柔性膜层的材料相同。
[0024] 可选的，所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的膜层的厚度为60?IOOum;
[0025] 所述第一柔性膜层中的没有凹槽的膜层的厚度为5?20um。
[0026] 可选的，所述第一缓冲层的厚度为2000?6000人。
[0027] 可选的，所述柔性基底膜层的厚度为5?10um。
[0028] 可选的，所述第二柔性膜层的厚度和材料与所述第一柔性膜层的厚度和材料相 同；
[0029] 所述第二缓冲层的厚度和材料与所述第一缓冲层的厚度和材料相同。
[0030] 第二方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括：
[0031] 形成上表面上具有多个凹槽的承载基板；
[0032] 在所述承载基板的凹槽内形成第一柔性膜层；
[0033] 在所述第一柔性膜层上形成覆盖所述承载基板和所述第一柔性膜层的第二柔性 膜层。
[0034] 第三方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括：
[0035] 形成上表面上具有多个凹槽的承载基板；
[0036] 在所述承载基板上形成覆盖所述承载基板的柔性膜层。
[0037] 第四方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括：
[0038] 在承载基板上形成第一缓冲层；
[0039] 在所述第一缓冲层上形成覆盖所述第一缓冲层和所述承载基板的第一柔性膜层。
[0040] 可选的，所述方法包括：
[0041] 在所述第一缓冲层下方形成覆盖所述承载基板的柔性基底膜层。
[0042] 可选的，所述方法还包括：
[0043] 在所述第一柔性膜层上至少形成一层包括第二柔性膜层和第二缓冲层的柔性衬 底膜层；所述柔性衬底膜层覆盖所述第一柔性膜层；
[0044] 其中，所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽，所述第二缓冲层设置在所 述第二柔性膜层的凹槽内。
[0045] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板及其制作方法，通过制作包括第一柔性膜 层，且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载 基板上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔 性膜层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件 由于应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放 基板本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢 固定位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现 不必要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生 产的产品成为残次品。
【专利附图】
【附图说明】
[0046] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。
[0047] 图1为本发明的实施例提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；
[0048] 图2为本发明的实施例提供的另一种柔性衬底基板的结构示意图；
[0049] 图3为本发明的实施例提供的又一种柔性衬底基板的结构示意图；
[0050] 图4为本发明的另一实施例提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；
[0051] 图5为本发明的实施例提供的一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；
[0052] 图6为本发明的实施例提供的另一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；
[0053] 图7为本发明的实施例提供的又一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；
[0054] 图8为本发明的另一实施例提供的一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图。
[0055] 附图标记：1_第一柔性膜层；2-凹槽；3-第一缓冲层；4-柔性基底膜层；5-柔性 衬底膜层；6-第二柔性膜层；7-第二缓冲层。
【具体实施方式】
[0056] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。
[0057] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板，该柔性衬底基板采用柔性材料形成，参 照图1所示，该柔性衬底基板包括：第一柔性膜层1，其中：
[0058] 第一柔性膜层1的下表面上设置有多个凹槽2。
[0059] 其中，凹槽具有相同的厚度。
[0060]具体的，本实施例中第一柔性膜层中的凹槽所在位置的膜层的材料与没有凹槽的 膜层的材料可以不同。第一柔性膜层中凹槽所在位置的膜层的材料可以为：聚对苯二甲酸 乙二醇酯（polyethyleneTerephthalate，简称PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯（polyethylene Naphthalate，简称PEN)、纤维增强材料等。第一层柔性膜层中没有凹槽的膜层的材料 可以为：聚酰亚胺（Polyimide，简称PI)、聚碳酸酯（polycarbonate,简称PC)、聚醚砜 (PolyetherSulfone，简称PES)等。其中，第一柔性膜层1中的凹槽2所在的膜层的厚度 为60?100um，第一柔性膜层中的没有凹槽的膜层的厚度为5?20um。当然，第一柔性膜 层中凹槽所在位置的膜层与没有凹槽的膜层的材料也可以相同，此时该第一柔性膜层的材 料可以为：PET、PEN、PI、PC、PES中的至少一种。
[0061] 第一柔性膜层上的凹槽可以是使用掩膜板在该第一柔性膜层上制作多个独立的 矩形或者圆形来实现的。
[0062] 具体的，本实施例中的柔性衬底基板具有两种不同的膜层厚度，并且两种厚度的 膜层间隔设置，这样柔性衬底基板上的薄膜应力中的拉伸应力相对减小，可以与显示器件 的各个膜层中产生的收缩应力相抵消掉，从而使得柔性衬底基板从承载基板上剥离时，不 会因为薄膜应力的存在而产生不需要的形变，进而不会损坏显示器件的性能。
[0063] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板，通过制作包括第一柔性膜层，且第一柔性 膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板上剥离时， 由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜层上具有一 定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于应力的存在 造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板本身的应 力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定位，解决了 现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲 的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为 残次品。
[0064] 进一步，参照图2所示，在本发明提供的另一实施例中该柔性衬底基板还包括：第 一缓冲层3,其中：
[0065] 第一缓冲层3设置在第一柔性膜层1中的凹槽2所在的位置处。
[0066] 第一缓冲层的材料与第一柔性膜层的材料不同。
[0067] 其中，第一缓冲层的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化铝中的至少一种。
[0068] 或者，第一缓冲层的材料包括：碳纳米管、石墨烯、钥、铜、铝中的至少一种。
[0069] 第一缓冲层的厚度为2000?6000人。
[0070] 本实施例中，整个第一柔性膜层中有凹槽的膜层和没有凹槽的膜层的材料相同， 此时第一柔性膜层的材料可以为：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸 酯、聚醚砜、聚酰亚胺或者纤维增强材料等。
[0071]具体的，第一缓冲层完全覆盖第一柔性膜层中的凹槽。
[0072] 进一步，参照图3所示，该柔性衬底基板还包括：柔性基底膜层4,其中：
[0073] 柔性基底膜层4设置在第一柔性膜层1和第一缓冲层3的下面的位置处。
[0074] 其中，第一柔性膜层1和第一缓冲层3覆盖柔性基底膜层4。
[0075] 其中，柔性基底膜层的材料可以与第一柔性膜层的材料相同。柔性基底膜层的厚 度可以为5?10um。
[0076] 具体的，增加柔性基底膜层后，在形成整个柔性衬底基板时成膜效果更好，保证了 最终形成的显示器件的显示品质。
[0077] 进一步具体的，参照图4所示，该柔性衬底基板还包括：至少一层柔性衬底膜层5， 柔性衬底膜层5包括：第二柔性膜层6和第二缓冲层7,其中：
[0078] 第二柔性膜层6的下表面上设置有多个厚度相同的凹槽。
[0079] 第二缓冲层7设置在第二柔性膜层6的凹槽所在的位置处。
[0080] 柔性衬底膜层5设置在第一柔性膜层1的上面且覆盖第一柔性膜层1的位置处。
[0081] 其中，第二缓冲层7所在的位置与第一缓冲层3所在位置之间具有互补的关系。
[0082] 其中，第二柔性膜层的厚度和材料与第一柔性膜层的厚度和材料相同；第二缓冲 层的厚度和材料与第一缓冲层的厚度和材料相同。
[0083]具体的，图4中以该柔性衬底基板中包括一层柔性衬底膜层进行示例。本实施例 中的柔性衬底膜层的数量此处不做唯一的限定，优选的柔性衬底膜层的数量为2。本实施 例中，以该柔性衬底基板具有两层柔性衬底膜层为例进行说明，在制作过程中，先形成第一 缓冲层和第一柔性膜层，然后在第一柔性膜层上形成第一层柔性衬底膜层，之后在第一层 柔性衬底膜层上形成第二层柔性衬底膜层，形成所有的膜层后在具有氮气，温度在250°C? 450°C的环境中，进行高温退火工艺5?8小时，使得最终形成的柔性衬底基板的各个膜层 之间发生交联固化，从而紧密的连接在一起。需要说明的是，第二个柔性衬底膜层中的第二 缓冲层的位置与第一个柔性衬底膜层中的第二缓冲层的位置具有互补的关系。以此类推， 该柔性衬底基板中所有相邻缓冲层的位置都具有互补的关系。
[0084] 具体的，本实施例中的柔性衬底基板总体上具有两种不同材料的膜层，且两种不 同的材料交替出现，这样最终形成的柔性衬底基板具有两种不同大小的薄膜应力，同时，这 两种不同大小的薄膜应力交替出现，从而使得柔性衬底基板上的薄膜应力中的拉伸应力相 对减小，可以与显示器件的各个膜层中产生的收缩应力相抵消掉，从而使得柔性衬底基板 从承载基板上剥离时，不会因为薄膜应力的存在而产生不需要的形变，进而不会损坏显示 器件的性能。
[0085] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板，通过制作包括第一柔性膜层，且第一柔性 膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板上剥离时， 由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜层上具有一 定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于应力的存在 造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板本身的应 力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定位，解决了 现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲 的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为 残次品。
[0086] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板的制作方法，参照图5所示，该方法包括 以下步骤：
[0087] 101、形成上表面上具有多个凹槽的承载基板。
[0088] 具体的，可以采用在承载基板上涂覆一层光刻胶，然后利用掩膜板进行曝光、显 影、刻蚀后形成多个厚度相同的凹槽结构。该凹槽的形状可以为矩形或者圆形等，可以形成 截面具有凹槽的形状均可以适用。
[0089] 102、在承载基板的凹槽内形成第一柔性膜层。
[0090] 具体的，采用涂敷工艺在承载基板的凹槽内涂敷一层厚度为60?IOOum的溶液状 的PET、PEN或者纤维增强材料等材料，形成第一层柔性膜层。
[0091] 103、在第一柔性膜层上形成覆盖承载基板和第一柔性膜层的第二柔性膜层。
[0092] 具体的，采用涂敷工艺在承载基板的凹槽内涂敷一层厚度为5?20um的溶液状的 PI、PC或者PES等材料，形成第二柔性膜层，然后进行高温烘烤固化使得第一柔性膜层和第 二柔性膜层成为一个整体。
[0093] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板的制作方法，通过制作包括第一柔性膜层， 且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板 上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜 层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于 应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板 本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定 位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必 要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的 产品成为残次品。
[0094] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板的制作方法，参照图6所示，该方法包括 以下步骤：
[0095] 201、形成上表面上具有多个凹槽的承载基板。
[0096]具体的，可以采用在承载基板上涂覆一层光刻胶，然后利用掩膜板进行曝光、显 影、刻蚀后形成多个厚度相同的凹槽结构。该凹槽的形状可以为矩形或者圆形等，可以形成 截面具有凹槽的形状均可以适用。
[0097] 202、在承载基板上形成覆盖承载基板的柔性膜层。
[0098] 具体的，采用涂敷工艺在承载基板的凹槽内涂敷一层溶液状的PI、PC、PES、PET、 PEN或者纤维增强材料等材料，然后进行高温固化形成图案化的柔性膜层。
[0099]本发明的实施例提供的柔性衬底基板的制作方法，通过制作包括第一柔性膜层， 且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板 上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜 层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于 应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板 本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定 位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必 要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的 产品成为残次品。
[0100] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板的制作方法，参照图7所示，该方法包括 以下步骤：
[0101] 301、在承载基板上形成第一缓冲层。
[0102] 具体的，采用涂敷工艺在承载基板上涂敷一层厚度在的缓冲层材 料。其中，缓冲层的材料可以是氮化硅、氧化硅、氧化铝等非金属膜的一种或者多种的复合 膜，也可以是碳纳米管、石墨烯、钥、铜、铝等金属膜层的一种或者多种的复合膜。第一缓冲 层的厚度可以为2000?6000人。
[0103] 302、在第一缓冲层上形成覆盖第一缓冲层和承载基板的第一柔性膜层。
[0104] 具体的，采用涂敷工艺涂敷一层厚度为5um?IOum的溶液状薄膜，然后在具有氮 气、温度为KKTC?200°C的环境中进行预固化，形成图案化的第一柔性膜层。其中，固化时 间可以为30min?60min，第一柔性膜层的材料可以是PET、PEN、PC、PES、PI等。
[0105] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板的制作方法，通过制作包括第一柔性膜层， 且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板 上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜 层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于 应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板 本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定 位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必 要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的 产品成为残次品。
[0106] 本发明的实施例提供一种柔性衬底基板的制作方法，参照图8所示，该方法包括 以下步骤：
[0107] 401、在承载基板上形成柔性基底膜层。
[0108] 具体的，采用涂敷工艺在承载基板上涂敷一层厚度为5um?IOum厚度的溶液状薄 膜，然后在温度为l〇〇°C?200°C的氮气环境中固化30min?60min，形成图案化的柔性基底 膜层。其中，柔性基底膜层的材料可以为PET、PEN、PC、PES、PI等。
[0109] 402、在柔性基底膜层上形成覆盖所述柔性基板膜层的第一缓冲层。
[0110] 403、在第一缓冲层上形成覆盖第一缓冲层和柔性基底膜层的第一柔性膜层。
[0111] 404、在第一柔性膜层上至少形成一层包括第二柔性膜层和第二缓冲层的柔性衬 底月吴层。
[0112] 其中，柔性衬底膜层覆盖第一柔性膜层，第二柔性膜层的下表面上设置有多个凹 槽，第二缓冲层设置在第二柔性膜层的凹槽内。
[0113] 具体的，可以采用与形成第一柔性膜层的工艺相同的工艺形成第二柔性膜层；可 以采用与形成第一缓冲层的工艺相同的工艺形成第二缓冲层。第二柔性膜层的厚度和材料 与第一柔性膜层的厚度和材料相同，第二缓冲层的厚度和材料与第一缓冲层的厚度和材料 相同。
[0114] 需要说明的是，本实施例中与上述实施例相同步骤的解释可以参考上述实施例中 的解释，此处不再赘述。
[0115] 本发明的实施例提供的柔性衬底基板的制作方法，通过制作包括第一柔性膜层， 且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板 上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜 层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于 应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板 本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定 位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必 要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的 产品成为残次品。
[0116] 以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵 盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1. 一种柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬底基 板包括：第一柔性膜层，其中： 所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽； 其中，所述凹槽具有相同的厚度。
2. 根据权利要求1所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板还包括：第一 缓冲层，其中： 所述第一缓冲层设置在所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的位置处； 所述第一缓冲层的材料与所述第一柔性膜层的材料不同。
3. 根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板还包括：柔性 基底膜层，其中： 所述柔性基底膜层设置在所述第一柔性膜层和所述第一层缓冲层的下面的位置处； 其中，所述第一柔性膜层和所述第一层缓冲层覆盖所述柔性基底膜层。
4. 根据权利要求2或3所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板还包括： 至少一层柔性衬底膜层，所述柔性衬底膜层包括：第二柔性膜层和第二缓冲层，其中： 所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个厚度相同的凹槽； 所述第二缓冲层设置在所述第二柔性膜层的凹槽内； 所述柔性衬底膜层设置在所述第一柔性膜层的上面覆盖所述第一柔性膜层的位置处。
5. 根据权利要求4所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述第二缓冲层所在的位置与所述第一缓冲层所在位置之间具有互补的关系。
6. 根据权利要求1所述的柔性衬底基板,其特征在于， 所述第一柔性膜层的材料包括：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸 酯、聚醚砜、聚酰亚胺或者纤维增强材料。
7. 根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述第一缓冲层的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化铝中的至少一种； 或者，所述第一缓冲层的材料包括：碳纳米管、石墨烯、钥、铜、铝中的至少一种。
8. 根据权利要求3所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述柔性基底膜层的材料与所述第一柔性膜层的材料相同。
9. 根据权利要求1所述的柔性衬底基板,其特征在于， 所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的膜层的厚度为60?IOOum ; 所述第一柔性膜层中的没有凹槽的膜层的厚度为5?20um。
10. 根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述第一缓冲层的厚度为2000~6000人。
11. 根据权利要求3所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述柔性基底膜层的厚度为5?10um。
12. 根据权利要求4所述的柔性衬底基板，其特征在于， 所述第二柔性膜层的厚度和材料与所述第一柔性膜层的厚度和材料相同； 所述第二缓冲层的厚度和材料与所述第一缓冲层的厚度和材料相同。
13. -种柔性衬底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 形成上表面上具有多个凹槽的承载基板； 在所述承载基板的凹槽内形成第一柔性膜层； 在所述第一柔性膜层上形成覆盖所述承载基板和所述第一柔性膜层的第二柔性膜层。
14. 一种柔性衬底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 形成上表面上具有多个凹槽的承载基板； 在所述承载基板上形成覆盖所述承载基板的柔性膜层。
15. -种柔性衬底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 在承载基板上形成第一缓冲层； 在所述第一缓冲层上形成覆盖所述第一缓冲层和所述承载基板的第一柔性膜层。
16. 根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述方法包括： 在所述第一缓冲层下方形成覆盖所述承载基板的柔性基底膜层。
17. 根据权利要求15或16所述的方法，其特征在于，所述方法还包括： 在所述第一柔性膜层上至少形成一层包括第二柔性膜层和第二缓冲层的柔性衬底膜 层；所述柔性衬底膜层覆盖所述第一柔性膜层； 其中，所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽，所述第二缓冲层设置在所述第 二柔性膜层的凹槽内。
【文档编号】H01L27/12GK104392901SQ201410588863
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年10月28日 优先权日:2014年10月28日
【发明者】高涛, 毛雪, 周伟峰 申请人:京东方科技集团股份有限公司