1.一种末端执行器，安装在机器人手臂，且包括可分别独立地驱动的第1机器手及第2机器手，
所述第1机器手是以如下方式构成：具有可插入至收容在基板收容部且上下邻接的基板彼此之间的机器手主体，且保持插入至所述上下邻接的基板彼此之间的所述机器手主体的正上方或正下方的基板，
所述第2机器手具有：
机器手基部，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；以及
基板保持器件，设置在所述机器手基部，且在所述机器手基部的至少一部分配置在所述最下段的基板的下方或所述最上段的基板的上方的状态下，可在包含收容在所述基板收容部的两片以上的基板的范围内在上下方向延伸，
所述机器手基部具有无法插入至所述上下邻接的基板彼此之间的厚度。
2.根据权利要求1所述的末端执行器，其中所述第1机器手及所述第2机器手分别可切换进入所述基板收容部时的供用位置、及未进入所述基板收容部时的退避位置。
3.根据权利要求1或2所述的末端执行器，其中所述基板保持器件具有多个基板支撑部，所述多个基板支撑部是用于支撑所述两片以上的基板的各背面缘部，且至少在基板保持状态下配置在上下方向的不同高度。
4.根据权利要求3所述的末端执行器，其中所述多个基板支持部的上下间距可变，
所述基板保持器件是以如下方式构成：其高度随着所述多个基板支撑部的所述上下间距的变更而变化。
5.根据权利要求3所述的末端执行器，其中所述多个基板支撑部配置在从所述基板支撑部的移动方向观察时至少一部分未相互重叠的位置。
6.根据权利要求5所述的末端执行器，其中所述多个基板支撑部的上下间距可变，且
即便变更所述上下间距，从所述上下方向观察时的所述多个基板支撑部的位置也不变化。
7.根据权利要求1或2所述的末端执行器，其中所述第1机器手具有多个所述机器手主体。
8.根据权利要求7所述的末端执行器，其中所述多个机器手主体的上下间距可变。
9.根据权利要求1或2所述的末端执行器，其中所述基板的直径为300mm，
所述第2机器手的基板保持片数为5片，
所述第2机器手整体中的在基板搬送时通过从上下方向观察时与收容在所述基板收容部的基板重叠的区域的部分的高度为60mm以下。
10.根据权利要求1或2所述的末端执行器，其中所述基板的直径为450mm，
所述第2机器手的基板保持片数为5片，
所述第2机器手整体中的在基板搬送时通过从上下方向观察时与收容在所述基板收容部的基板重叠的区域的部分的高度为72mm以下。
11.根据权利要求1所述的末端执行器，其中在所述机器手基部的至少一部分配置在所述最下段的基板的下方或所述最上段的基板的上方的状态下，可不使所述机器手基部在上下方向移动而达成所述基板保持器件在包含收容在所述基板收容部的两片以上的基板的范围内在上下方向延伸的状态。
12.一种基板搬送机器人，包括：根据权利要求1至10中任一项所述的末端执行器；以及
机器人手臂，安装有所述末端执行器。
13.一种基板处理系统，包括：基板搬送系统，包含根据权利要求12的基板搬送机器人；以及基板处理装置，用于处理利用所述基板搬送系统所搬送的基板。
14.一种基板搬送系统，包括根据权利要求12的基板搬送机器人、及用以收容多片基板的所述基板收容部，
在将所述基板收容部的基板收容片数设为N，
将通过所述第1机器手从所述基板收容部的上下方向的一端部区域搬出的基板的片数设为M，
将所述第2机器手的基板保持片数设为n，
将通过所述第1机器手搬出M片基板时形成在所述基板收容部的所述一端部区域的空间的高度设为H，
将所述第2机器手整体中的在基板搬送时通过从上下方向观察时与收容在所述基板收容部的基板重叠的区域的部分的高度设为h的情况下，
H＞h且(N－M)＝n×(正整数)成立。
15.一种基板搬送方法，使用根据权利要求12的基板搬送机器人，且包括：
第1搬送步骤，通过所述第1机器手而搬出存在于搬送起点的所述基板收容部的上下方向的一端部区域的一片或多片基板；以及
第2搬送步骤，在通过所述第1搬送步骤而被搬出所述一片或多片基板的所述一端部区域，插入所述第2机器手而同时搬出多片基板。
16.根据权利要求15所述的基板搬送方法，其中通过所述第2机器手而搬出在所述第1搬送步骤后残留在搬送起点的所述基板收容部的所有基板。
17.根据权利要求15所述的基板搬送方法，其中在将在所述第1搬送步骤中通过所述第1机器手搬出的基板的数量设为M，将所述基板收容部的基板收容片数设为N，将所述第2机器手的基板保持片数设为n时，满足M＝N－n×(正整数)。
18.根据权利要求17所述的基板搬送方法，其中M＝5、n＝5。
19.根据权利要求15至18中任一项所述的基板搬送方法，其中将在所述第1搬送步骤中从搬送起点的所述基板收容部的所述一端部区域搬出的基板搬入至搬送目的地的基板收容部的上下方向的一端部区域，
搬送起点的所述基板收容部的所述一端部区域与搬送目的地的所述基板收容部的所述一端部区域上下相反。
20.根据权利要求15所述的基板搬送方法，其中通过所述第2机器手而搬出在所述第1搬送步骤后残留在搬送起点的所述基板收容部的基板的一部分，
通过所述第2机器手而搬出在所述第1搬送步骤后残留在搬送起点的所述基板收容部的所述基板的一部分，并搬送至搬送目的地的基板收容部的上下方向的中间区域，
通过所述第1机器手而搬出残留在搬送起点的所述基板收容部的上下方向的另一端部区域的基板，并搬入至搬送目的地的所述基板收容部的上下方向的一端部区域，搬送起点的所述基板收容部的所述一端部区域与搬送目的地的所述基板收容部的所述一端部区域上下相反。
21.根据权利要求15至18、20中任一项所述的基板搬送方法，其中所述末端执行器是根据权利要求4所述的末端执行器，
在所述第2搬送步骤中，在最初将所述第2机器手插入至搬送起点的所述基板收容部的所述一端部区域时，将所述基板保持器件的高度设定为低于其最大高度的高度。
22.根据权利要求21所述的基板搬送方法，其中于在所述第1搬送步骤之后将所述第2机器手插入至所述基板收容部的内部2次以上的情况下，在第2次之后插入时，使所述多个基板支撑部的所述上下间距为最大间距。
23.一种基板搬送机器人，包括：
第1机器人手臂；
第2机器人手臂，可与所述第1机器人手臂分开地驱动；
第1机器手，安装在所述第1机器人手臂；以及
第2机器手，可与所述第1机器手分开地驱动，且安装在所述第2机器人手臂；且
所述第1机器手是以如下方式构成：具有可插入至收容在基板收容部且上下邻接的基板彼此之间的机器手主体，且保持插入至所述上下邻接的基板彼此之间的所述机器手主体的正上方或正下方的基板，
所述第2机器手具有：
机器手基部，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；以及
基板保持器件，设置在所述机器手基部，且在所述机器手基部的至少一部分配置在所述最下段的基板的下方或所述最上段的基板的上方的状态下，可在包含收容在所述基板收容部的两片以上的基板的范围内在上下方向延伸，
所述机器手基部具有无法插入至所述上下邻接的基板彼此之间的厚度。
24.一种基板搬送系统，包括第1基板搬送机器人及第2基板搬送机器人，且
所述第1基板搬送机器人具有安装有第1机器手的第1机器人手臂，
所述第1机器手是以如下方式构成：具有可插入至收容在基板收容部且上下邻接的基板彼此之间的机器手主体，且保持插入至所述上下邻接的基板彼此之间的所述机器手主体的正上方或正下方的基板，
所述第2基板搬送机器人具有安装有第2机器手的第2机器人手臂，
所述第2机器手具有：
机器手基部，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；以及
基板保持器件，设置在所述机器手基部，且在所述机器手基部的至少一部分配置在所述最下段的基板的下方或所述最上段的基板的上方的状态下，可在包含收容在所述基板收容部的两片以上的基板的范围内在上下方向延伸，
所述机器手基部具有无法插入至所述上下邻接的基板彼此之间的厚度。