技术总结
本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。
技术研发人员：桥本康彦;福岛崇行;金丸亮介;木下真也;宮川大辉
受保护的技术使用者：川崎重工业株式会社
技术研发日：2014.06.27
技术公布日：2019.04.05