一种铜柱结构封装基板及其加工方法与流程

文档序号:12065940阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种铜柱结构封装基板的加工方法,其特征在于,包括:

提供线路板,所述线路板具有基板、第二铜层及超厚干膜,所述超厚干膜处于所述线路板的一个面上;

对所述线路板进行钻孔,形成铜柱通孔,并在所述铜柱通孔内壁形成第一铜层;

通过电镀铜工艺,在所述铜柱通孔内形成铜柱;

去除所述超厚干膜、所述第二铜层和暴露的所述第一铜层,得到铜柱结构封装基板。

2.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于,所述加工方法还包括:

提供基板,所述基板具有载板、铜线路层及阻焊层,所述铜线路层处于所述载板表面,所述阻焊层处于所述铜线路层表面;

在所述基板的所述阻焊层表面形成第二铜层;

在所述第二铜层表面粘贴超厚干膜,形成线路板。

3.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于,所述加工方法还包括:

在所述线路板上形成薄铜层,所述薄铜层与所述第一铜层材料相同。

4.根据权利要求3所述的加工方法,其特征在于,所述通过电镀铜工艺,在所述铜柱通孔内形成铜柱,包括:

在所述薄铜层表面及所述铜柱通孔内电镀铜,形成厚铜层;

对所述厚铜层进行蚀刻,并去除所述薄铜层,形成铜柱,所述厚铜层的表面与所述超厚干膜表面对齐。

5.根据权利要求3所述的加工方法,其特征在于,所述去除所述超厚干膜、所述第二铜层和暴露的所述第一铜层,得到铜柱结构封装基板,包括:

去除所述超厚干膜和所述第二铜层;

对暴露的所述第一铜层进行蚀刻,得到铜柱结构封装基板。

6.一种铜柱结构封装基板,其特征在于,包括:

基板,所述基板具有铜柱通孔;

第一铜层,所述第一铜层处于所述铜柱通孔的内壁上;

铜柱,所述铜柱为圆柱形,所述铜柱部分处于所述铜柱通孔内,所述铜柱的一端与所述基板对齐,所述铜柱的另一端高于所述基板。

7.根据权利要求6所述的铜柱结构封装基板,其特征在于,所述基板包括:

载板、铜线路层及阻焊层;

所述铜线路层处于所述载板表面,所述阻焊层处于所述铜线路层表面。

8.根据权利要求6或7所述的铜柱结构封装基板,其特征在于,所述第一铜层为金属铜或薄膜状导电材料。

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