三维存储器元件的制作方法

文档序号:12725377阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种三维存储器元件,包括多层叠层结构,多层叠层结构包括多个导电条带及多条沟道,以定义出第一、第二、第三和第四脊状叠层;位于第一脊状叠层上的第一串行选择线开关;位于第二脊状叠层上的第一接地选择线开关;第一U形存储单元串行,串接第一串行选择线开关和第一接地选择线开关;位于第三脊状叠层上的第二串行选择线开关;位于第四脊状叠层上的第二接地选择线开关;第二U形存储单元串行,串接第二串行选择线开关和第二接地选择线开关。第一字线接触结构与第一脊状叠层的导电条带接触。第二字线接触结构与第二脊状叠层的导电条带接触;第三字线接触结构与第三和第四脊状叠层的导电条带接触。

技术研发人员:胡志玮;叶腾豪
受保护的技术使用者:旺宏电子股份有限公司
文档号码:201510929883
技术研发日:2015.12.15
技术公布日:2017.06.23

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