硅片清洗鼓泡装置的制作方法

本实用新型属于硅片清洗装置的辅助配件技术领域，尤其涉及硅片清洗鼓泡装置。

背景技术：

近年来，太阳能光伏产业发展迅猛，全球光伏系统装机量呈逐年递增趋势，但受传统晶硅电池效率瓶颈的影响，高效太阳能电池的研发工作受到了业内的追捧。在众多高效太阳能电池工艺里面HIT高效电池被认为是比较有发展前景的，但在工艺处理过程中界面处理水平是决定电池能否高效的基础，这样硅片的清洗工作就显得异常重要。目前硅片清洗鼓泡装置由于结构的原因，存在以下缺陷：气泡数量少，气泡分布不均匀，清洗效果差，很难达到HIT电池对硅片洁净度的要求。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题就是提供一种气泡数量多、气泡分布均匀、清洗效果好的硅片清洗鼓泡装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：包括固定基板，在固定基板侧面设置有至少两个竖向固定板，在所述竖向固定板上沿竖直方向设置有多个气管固定孔，在两个竖向固定板之间呈“S”盘绕有气管，所述气管包括位于两个竖向固定板之间横向气管和位于两个竖向固定板外侧的弯曲气管，该气管穿过所述的气管固定孔，在所述气管的侧面设置有排气孔。

其附加技术特征为：

所述横向气管至少有四根；

在每根横向气管上至少设置有10个所述的排气孔；

在所述固定基板上设置有透气通孔。

本实用新型所提供的硅片清洗鼓泡装置，与现有技术相比具有以下优点：其一，由于包括固定基板，在固定基板侧面设置有至少两个竖向固定板，在所述竖向固定板上沿竖直方向设置有多个气管固定孔，在两个竖向固定板之间呈“S”盘绕有气管，所述气管包括位于两个竖向固定板之间横向气管和位于两个竖向固定板外侧的弯曲气管，该气管穿过所述的气管固定孔，在所述气管的侧面设置有排气孔，这样，产生的气泡更多更均匀，大大提高了清洗效果；其二，由于所述横向气管至少有四根且在每根横向气管上至少设置有10个所述的排气孔，气泡更多更均匀；其三，由于在所述固定基板上设置有透气通孔，气泡可以通过透气通孔到达固定基板的另一侧，气泡更加均匀。

附图说明

图1为本实用新型硅片清洗鼓泡装置的正面结构示意图；

图2为竖向固定板的侧面视图；

图3为气管的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型硅片清洗鼓泡装置的结构和使用原理做进一步详细说明。

如图1、图2和图3所示，本实用新型硅片清洗鼓泡装置的结构示意图，本实用新型硅片清洗鼓泡装置包括固定基板1，在固定基板1的侧面设置有至少两个竖向固定板2，在竖向固定板2上沿竖直方向设置有多个气管固定孔3，在两个竖向固定板2之间呈“S”盘绕有气管4，气管4包括位于两个竖向固定板2之间横向气管41和位于两个竖向固定板2外侧的弯曲气管42。该气管4穿过所述的气管固定孔3，在气管4的侧面设置有排气孔5。将该硅片清洗鼓泡装置放入清洗机槽体内，在气管两端充入氮气，氮气经气管4通过排气孔5排出，这样，产生的气泡更多更均匀，大大提高了清洗效果。

横向气管41至少有四根，且在每根横向气管41上至少设置有10个的排气孔5，气泡更多更均匀。

在固定基板1上设置有透气通孔6，气泡可以通过透气通孔6到达固定基板的另一侧，气泡更加均匀。

本实用新型的保护范围不仅仅局限于上述实施例，只要结构与本实用新型硅片清洗鼓泡装置结构相同，就落在本实用新型保护的范围。