用于腔室清洁终点的原位蚀刻速率确定的制作方法

技术特征：

技术总结
本文所述的实施例涉及用于确定清洁终点的方法。可在清洁腔室环境中执行第一等离子体清洁工艺，以确定由第一斜率所限定的清洁时间函数。可在非清洁腔室环境中执行第二等离子体清洁工艺，以确定由第二斜率所限定的清洁时间函数。可比较第一及第二斜率以确定清洁终点时间。

技术研发人员：S·巴蒂亚;A·M·帕特尔;A·A·哈贾
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.03.28
技术公布日：2017.12.12