电子组件及其制造方法、转置元件及微元件的转置方法与流程

本发明关于一种微元件的转置技术，特别是一种电子组件、转置组件、电子组件的制造方法及微元件的转置方法。

背景技术：

目前来说，电子产品，例如笔记本电脑、显示面板、平板、智能型手机等，其市场趋势持续朝向轻薄化的设计迈进。因此，将微元件应用于电子设备、装置、仪器上已蔚为主流。

在设置微元件的制程中，需通过转置技术以将微元件移动并设置于目标基板上。一般而言，可以通过真空吸头吸取微元件。然而，真空吸头一般为硬质材料，在吸取过程中，真空吸头容易与微元件碰撞而导致微元件受损。此外，在转置过程中，容易因下压力不均而使得微元件位移或是与目标基板电性接触不良，或是在移开真空吸头时拉力不均而使焊料龟裂。

技术实现要素：

本发明一实施例提出一种电子组件，其包括电路基板、连接电极、微元件以及焊料。连接电极位于电路基板上。连接电极具有第一透明导电层。第一透明导电层的表面位于相对电路基板的一侧且具有多个微米或纳米级颗粒。微元件与连接电极电性连接。焊料位于连接电极与微元件之间，且固着微元件于连接电极上。

本发明一实施例提出一种电子组件的制造方法，其包含：提供一电路基板以及形成连接电极于电路基板上。于此，连接电极的相对于电路基板的一侧的表面具有多数微突起。其中，形成连接电极于电路基板上的步骤包括：形成第一透明导电薄膜于电路基板上、图案化第一透明导电薄膜以形成第一透明导电图案、对第一透明导电图案进行非完全退火以及蚀刻第一透明图案的相对电路基板的一侧的表面以形成第一透明导电层，以使第一透明导电层的表面具有多个微米或纳米级颗粒。其中，此些微突起为此些微米或纳米级颗粒。

本发明一实施例提出一种微元件的转置方法，其包含：形成焊料于连接电极上、通过转置组件拾取微元件、通过转置组件将拾取的微元件移动于焊料上、以焊料将微元件固着于连接电极上、驱动帮浦件以通入气体至通孔，以及于气体的通入过程中分离微元件与弹性吸头。于此，各连接电极具有第一透明导电层，并且第一透明导电层的表面具有多个微米或纳米级颗粒。于此，转置组件包括弹性吸头以及帮浦件。弹性吸头的表面具有分别拾取微元件的凸部，且弹性吸头的另一表面耦接帮浦件。帮浦件具有至少一气孔，且弹性吸头具有连通气孔的通孔，并且各通孔由弹性吸头的表面穿过凸部而贯穿至弹性吸头的另一表面。其中各连接电极的此些微米或纳米级颗粒中的多数者嵌入对应的焊料的底部。

本发明一实施例提出一种转置组件，其包含弹性吸头与帮浦件。弹性吸头的表面具有至少一凸部。弹性吸头具有至少一通孔，并且各通孔由弹性吸头的表面穿过至少一凸部中之一贯穿至弹性吸头的另一表面。帮浦件耦接弹性吸头的另一表面。帮浦件具有至少一气孔，并且至少一气孔连通于至少一通孔。

综上所述，本发明实施例的电子组件、转置组件、电子组件的制造方法及微元件的转置方法，其通过在连接电极的表面形成多数微突起以使焊料能更稳固地将转置的微元件与连接电极相互固着。依此，连接电极表面的多数微突起嵌入于焊料的底部，藉以增加焊料与连接电极之间的接触面积以及附着力。因此，能避免转置组件于转置过程中离开微元件时，因焊料与连接电极接着不佳而使微元件歪斜、位移或是脱落等情况发生，进而能提高电子组件的良率。在一些实施例中，本发明实施例的转置组件及微元件的转置方法，其通过弹性吸头来黏取微元件，由于弹性吸头具有黏性及弹性而且为柔软材料，因此弹性吸头不易与微元件碰撞而导致微元件受损。在一些实施例中，本发明实施例的转置组件及微元件的转置方法，更可通过于通孔中抽取气体或是吹送气体以利于弹性吸头更加地拾取或放置微元件。

附图说明

图1为本发明一实施例的电子组件的结构俯视示意图。

图2为对应于图1之a-a剖线的电子组件的截面示意图。

图3为本发明一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图4为本发明另一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图5为本发明又一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图6为本发明又一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图7为本发明又一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图8为本发明再一实施例的电子组件的剖面结构示意图。

图9为本发明一实施例的电子组件的制造方法的流程图。

图10至15分别是本发明一实施例的电子组件的制造方法于各步骤所形成的剖面示意图。

图16为本发明另一实施例的连接电极的制造方法的流程图。

图17为本发明另一实施例的连接电极的制造方法的流程图。

图18为本发明另一实施例的连接电极的制造方法的流程图。

图19为本发明又一实施例的连接电极的制造方法的流程图。

图20为本发明一实施例的转置组件的结构剖面示意图。

图21为本发明一实施例的微元件的转置方法的流程图。

图22至25分别是本发明一实施例的微元件的转置方法于各步骤所形成的剖面示意图。

其中，附图标记：

100电子组件110电路基板

111底板112钝化层

120连接电极121第一透明导电层

121a第一透明导电薄膜121b第一透明导电图案

121s表面122s表面

122金属层122a表面

123第二透明导电层122s表面

123s表面130微元件

140焊料150保护层

200转置组件210弹性吸头

210a第一表面210b第二表面

211凸部220帮浦件

a-a剖线a1接触区段

a2贯穿区段m1微结构

h1通孔f1气孔

p1颗粒t1第一突起

t2第二突起w1接触窗

tft主动元件d1汲极

s1、s2、s21a～s21d、s22a、s22b、s23a、s23b、s3、

s4、s41、s42、s5、s51、s52、s6s7、ss、ss1、ss2步骤

具体实施方式

图1为本发明一实施例的电子组件的结构俯视示意图。图2为对应于图1之a-a剖线的电子组件的截面示意图。请参阅图1，电子组件100包括电路基板110、连接电极120、微元件130以及焊料140。其中，连接电极120位于电路基板110上。焊料140位于连接电极120与微元件130之间，并且焊料140将微元件130固着于连接电极120上，使得微元件130与连接电极120电性连接。在一些实施例中，微元件130可以是但不限于微发光二极管(microlightemittingdiode，micro-led)、微集成电路(microintegratedcircuit，micro-ic)等。

在一些实施例中，电路基板110包括底板111、主动元件tft及钝化层112。主动元件tft位于底板111上，且钝化层112覆盖于底板111与主动元件tft上。于此，钝化层112可具有至少一个接触窗w1，接触窗w1位于对应的主动元件tft上。部分的连接电极120经由接触窗w1而贯穿钝化层112以与主动元件tft电性连接。详细而言，连接电极120包括接触区段a1以及贯穿区段a2。接触区段a1外露于钝化层112，贯穿区段a2的一端与接触区段a1耦接且位于接触窗w1内，而贯穿区段a2的另一端耦接主动元件tft(例如是汲极d1)。

在一些实施例中，底板111的材料可以是但不限于硅基板、玻璃基板、石英基板或是高分子基板。

在一些实施例中，钝化层112的材料可以是但不限于氮化硅(sinx)、氧化硅(siox)或其组合。

在一些实施例中，连接电极120的结构可以是单层或者是双层以上之迭层。若连接电极120为迭层结构，则位于接触区段a1或是贯穿区段a2的层数、层别及材料种类并不特别受限。以下详述各实施态样。

为了便于说明，于图3中仅绘示图2中之电路基板110、连接电极120及焊料140。于此实施例中，如图3所绘示，连接电极120具有第一透明导电层121，且第一透明导电层121的表面121s具有多个微米或纳米级颗粒p1且位于相对电路基板110的一侧。此些微米或纳米级颗粒p1即为第一透明导电层121的表面121s突起或凹陷的微结构，且此些微结构的尺寸(颗粒p1最宽处之长度)系介于纳米至微米之间。

第一透明导电层121的表面121s可以通过非完全退火方法及蚀刻方法来进行表面粗糙化处理。在一些实施例中，非完全退火方法的退火温度介于150度(℃)至180度(℃)之间。在另一些实施例中，退火时间介于5分钟至120分钟。于此，第一透明导电层121的表面121s可以形成此些微米或纳米级颗粒p1。换言之，此些微米或纳米级颗粒p1即为第一透明导电层121的表面121s经由粗糙化处理所产生微结构。其中，各微米或纳米级颗粒p1的形状可以是但不限于是球形、尖形、块形或杆形等。在一些实施例中，颗粒p1的尺寸介于10nm至1000nm之间。当焊料140施加于连接电极120上时，焊料140与第一透明导电层121的表面121s接触，从而第一透明导电层121的表面121s的微米或纳米级颗粒p1中的多个(例如是全部的微米或纳米级颗粒p1或是部分的微米或纳米级颗粒p1)可以嵌入焊料140的底部，以增加焊料140与连接电极120之间的接触面积以及附着力。

在一些实施例中，第一透明导电层121的材料可以是氧化锌(zincoxide，zno)、氧化铟锌(indium-zincoxide，izo)、氧化镓锌(gallium-zincoxide，gazno)、氧化锌锡(zinc-tinoxide，zto)、氧化铟锡(indium-tinoxide，ito)等。于本实施例中，第一透明导电层121的材料是氧化铟镓锌。

在另一些实施例中，如图4所绘示，除了第一透明导电层121之外，连接电极120可以更包括金属层122。金属层122与第一透明导电层121连接且位于电路基板110与第一透明导电层121之间。当焊料140施加于连接电极120上时，焊料140与第一透明导电层121的表面121s接触，并且第一透明导电层121的表面121s的微米或纳米级颗粒p1中的多个(例如是全部的微米或纳米级颗粒p1或是部分的微米或纳米级颗粒p1)会嵌入焊料140的底部。即，表面121s与焊料140接触的区域中的微米或纳米级颗粒p1会嵌入焊料140的底部。

在连接电极120的另一些实施例中，如图5所绘示，连接电极120的金属层122系位于第一透明导电层121上且覆盖第一透明导电层121的表面121s。其中，金属层122随着覆盖第一透明导电层121的表面121s上的此些微米或纳米级颗粒p1而起伏，于此，金属层122于相对第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多数第一突起t1。于一些实施例中，由于金属层122是沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，所以第一突起t1的形状大致上与微米或纳米级颗粒p1的形状相同，可以是但不限于是球形、尖形、块形或杆形等。于另一些实施例中，且第一突起t1的尺寸介于10nm至1000nm之间。当焊料140施加于连接电极120上时，焊料140与金属层122的表面122s接触。依此，金属层122的表面122s的第一突起t1中的多个(例如是全部的第一突起t1或是部分的第一突起t1)可以嵌入焊料140的底部。即，金属层122的表面122s与焊料140接触的区域中的微米或纳米级颗粒p1会嵌入焊料140的底部。

在又一些实施例中，除了第一透明导电层121与金属层122之外，连接电极120可以更包括第二透明导电层123。于此一实施例中，如图6所绘示，金属层122位于第一透明导电层121与第二透明导电层123之间，而第二透明导电层123与金属层122连接且位于电路基板110与金属层122之间。换言之，连接电极120可以更包括依序形成于电路基板110上的第二透明导电层123、金属层122及第一透明导电层121。当焊料140施加于连接电极120上时，焊料140仍与第一透明导电层121的表面121s接触。依此，第一透明导电层121的表面121s的微米或纳米级颗粒p1中的多个可以嵌入焊料140的底部。

此外，于一些实施例中，电子组件100可视产品需求而选择性包括保护层150。如图7所绘示，详细来说，保护层150用以保护第一透明导电层121的表面121s的多个微米或纳米级颗粒p1。保护层150位于第一透明导电层121之上且覆盖第一透明导电层121的表面121s，因此保护层150覆盖此些微米或纳米级颗粒p1而沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，于此，保护层150于相对第一透明导电层121的一侧的表面形成多数微结构m1。于另一些实施例中，由于保护层150是沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，所以微结构m1的形状大致上与微米或纳米级颗粒p1的形状相同，可以是但不限于是球形、尖形、块形或杆形等。于另一些实施例中，微结构m1的尺寸介于10nm至1000nm之间。

值得说明的是，在一些实施例中，保护层150可以形成在不同实施态样的连接电极120上。不过，在又一些实施例中，连接电极120上也可以不用形成保护层150。

于一些实施例中，保护层150的材料可以是但不限于透明导电材料，例如是氧化锌、氧化铟锌、氧化镓锌、氧化锌锡、氧化铟锡等。于本实施例中，透明导电材料是氧化铟镓锌。此外，保护层150的材料可以与第一透明导电层121的材料相同，也可以与第一透明导电层121的材料不同。不过，本发明并不对此加以限制。

在连接电极120的另一些实施例中，如图8所绘示，金属层122位于第一透明导电层121与第二透明导电层123之间，第二透明导电层123位于金属层122之上，而第一透明导电层121与金属层122连接且位于电路基板110与金属层122之间。换言之，连接电极120可以更包括依序形成于电路基板110上的第一透明导电层121、金属层122及第二透明导电层123。由于金属层122随着覆盖第一透明导电层121的表面121s的此些微米或纳米级颗粒p1而起伏，于此，金属层122于相对第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多数第一突起t1。而且，由于第二透明导电层123随着覆盖金属层122的表面122s的此些第一突起t1而起伏，于此，第二透明导电层123于相对金属层122的一侧的表面123a形成多数第二突起t2。

在一些实施例中，由于金属层122是沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，所以第一突起t1的形状大致上与微米或纳米级颗粒p1的形状相同，可以是但不限于是球形、尖形、块形或杆形。在一些实施例中，且第一突起t1的尺寸介于10nm至1000nm之间。此外，由于第二透明导电层123是沿着金属层122的表面122s而起伏，所以第二突起t2的形状大致上与第一突起t1的形状相同，且第二突起t2的尺寸介于10nm至1000nm之间。当焊料140施加于连接电极120上时，焊料140与第二透明导电层123的表面123s接触。依此，第二透明导电层123的表面123s的第二突起t2中的多个可以嵌入焊料140的底部。

图9为本发明一实施例的电子组件的制造方法的流程图。请参阅图9，电子组件的制造方法包括提供一电路基板110(步骤s1)、形成连接电极120于电路基板110上(步骤s2)、形成焊料140于连接电极120之上(步骤s3)、转置微元件130于焊料140上(步骤s4)以及以焊料140固着微元件130(步骤s5)。其中，连接电极120之相对电路基板110的一侧的表面具有多数微突起，并且连接电极120具有第一透明导电层121。

于步骤s1中，在一些实施例中，电路基板110可以是但不限于主动元件数组基板，其可包括底板111、主动元件tft及具有接触窗w1的钝化层112。

在一些实施例中，步骤s2包括形成第一透明导电薄膜121a于电路基板110上(步骤s21a)、图案化第一透明导电薄膜121a以形成第一透明导电图案121b(步骤s21b)、对第一透明导电图案121b进行非完全退火(步骤s21c)、以及蚀刻第一透明导电图案121b的相对电路基板110的一侧的表面121s以形成一第一透明导电层(步骤s21d)。

于步骤s21a的一些实施例中，如图10所绘示，可通过蒸镀法(evaporation)、化学气相沉积法(chemicalvapordeposition，cvd)或溅镀法(sputtering)等方法沉积第一透明导电材料于电路基板110上，以形成第一透明导电薄膜121a。值得说明的是，第一透明导电材料可以是氧化锌、氧化铟锌、氧化镓锌、氧化锌锡、氧化铟锡等。于本实施例中，第一透明导电材料是氧化铟镓锌。不过，本发明并不对此加以限制。

于步骤s21b的一些实施例中，如图11所绘示，经由微影蚀刻制程将整层的第一透明导电薄膜121a图案化，以形成岛状的第一透明导电图案121b。

于步骤s21c的一些实施例中，对第一透明导电图案121b进行非完全退火(或称为不完全退火)(subcriticalannealing)，使得第一透明导电图案121b尚未完全转为结晶化结构而呈现多晶结构。于一些实施例中，退火温度介于150度(℃)至180度(℃)之间，且退火时间介于5分钟至120分钟。

于步骤s21d的一些实施例中，如图12所绘示，对第一透明导电图案121b的表面进行表面粗糙化处理。可以通过浸泡或是喷洒等方式在第一透明导电图案121b的表面施以化学溶液来蚀刻。其中，蚀刻处理时间大约是60秒至70秒之间。化学溶液可以是酸性溶液或碱性溶液，例如是但不限于草酸(oxalicacid)、盐酸(hydrochloricacid)、硝酸(nitricacid)、ito蚀刻液、或是其两者以上之混和溶液。依此，第一透明导电图案121b的表面经由粗糙化处理后形成第一透明导电层121，且第一透明导电层121的相对电路基板110的一侧的表面121s形成此些微米或纳米级颗粒p1。于此实施例中，此些微米或纳米级颗粒p1即为连接电极120之多个微突起，用以增加后续所施加的焊料140与连接电极120之间的接触面积以及附着力。

于步骤s3中，如图13所绘示，将焊料140施加于连接电极120的第一透明导电层121之上。

于步骤s4中，如图14所绘示，将微元件130转置于焊料140上。于一些实施例中，可以通过转置组件200拾取至少一微元件130放置于形成焊料140上。

于一些实施例中，请参阅图14及图15，步骤s5包括熔融焊料140(步骤s51)以及固化熔融的焊料140以使微元件130通过焊料140固着于连接电极120上(步骤s52)。

于步骤s51中，请参阅图14，通过提高温度以使焊料140呈现熔融状态，使得熔融的焊料140可以陷入此些微米或纳米级颗粒p1中的多数者之间。

于步骤s52中，请参阅图15，通过降温以使熔融的焊料140得以固化，第一透明导电层121的表面121s的微米或纳米级颗粒p1中的多个可以嵌入焊料140的底部，而焊料140的顶部固着于微元件130的底面，以致而微元件130能够通过焊料140而固着于连接电极120上。依此，增加焊料140与连接电极120之间的接触面积以及附着力。

须说明的是，连接电极120的结构也可以是双层以上之迭层。

在另一些实施例中，请参阅图16以及再次配合参阅图4。

于一实施例中，步骤s2可以更包括形成金属薄膜于电路基板上(步骤s22a)以及图案化金属薄膜以形成金属层(步骤s22b)。其中，步骤s22a以及步骤s22b在形成第一透明导电层121(步骤s21a、s21b、s21c及s21d)之前。换言之，先于电路基板110上形成金属层122，再于金属层122上形成第一透明导电层121。以下详细说明。

于步骤s22a中，可通过喷涂(spray)或溅镀法等方法沉积金属材料于电路基板110上，以形成整层的金属薄膜。

接着，于步骤s22b中，经由微影蚀刻制程将整层的金属薄膜图案化，以形成岛状的金属层122。

接下来，在金属层122上进行步骤s21a、s21b、s21c及s21d，以在金属层122上形成第一透明导电层121。步骤s21a、s21b、s21c及s21d与前述大致相同，故于此不再赘述。依此，金属层122位于电路基板110与第一透明导电层121之间。

接着，在步骤s2之后，可以接续进行步骤s3、步骤s4及步骤s5，焊料140可以与连接电极120的第一透明导电层121的表面121s接触，因此于熔融时，熔融的焊料140可以陷入此些微米或纳米级颗粒p1中的多数者之间。当熔融的焊料140固化后，此些微米或纳米级颗粒p1中的多个即嵌入焊料140的底部，而焊料140的顶部固着于微元件130的底面，以致微元件130能够通过焊料140固着于连接电极120上。

承此，在连接电极120的又一些实施例中，其中，连接电极120的金属层122系位于第一透明导电层121上且覆盖第一透明导电层121的表面121s。图17为本发明又一实施例的连接电极120的制造方法的流程图。请参阅图17以及再次配合参阅图5。

于此一实施例，步骤s22b在步骤s21a、s21b、s21c及s21d之后。换言之，先于电路基板110上形成第一透明导电层121，再于电路基板110及第一透明导电层121上形成金属层122。于此，金属层122于相对第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多数第一突起t1。其中，由于金属层122是沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，因此金属层122于相对第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多个与微米或纳米级颗粒p1的形状相同的第一突起t1。

接着，在进行步骤s2之后，可以接续进行步骤s3、步骤s4及步骤s5，焊料140可以与连接电极120的金属层122的表面122s接触，且熔融的焊料140可以陷入此些第一突起t1中的多数者之间，亦即此些第一突起t1中的多个可以嵌入焊料140的底部。当熔融的焊料140固化后，微元件130能够通过焊料140固着于连接电极120上。

在又一些实施例中，除了第一透明导电层121与金属层122之外，连接电极120可以更包括第二透明导电层123。其中，金属层122位于第一透明导电层121与第二透明导电层123之间，而第二透明导电层123与金属层122连接且位于电路基板110与金属层122之间。图18为本发明另一实施例的连接电极120的制造方法的流程图。请参阅图18以及再次配合参阅图6。

于此一实施例，步骤s2可以更包括形成第二透明导电薄膜于电路基板上(步骤s23a)以及图案化第二透明导电薄膜以形成第二透明导电层123(步骤s23b)。其中，于步骤s2中，先进行步骤s23a以及步骤s23b，接着进行步骤s22a以及步骤s22b，而后再进行步骤s21a、s21b、s21c及s21d。换言之，先于电路基板110上形成第二透明导电层123，再于第二透明导电层123上形成金属层122，而后于金属层122上形成第一透明导电层121。以下详细说明。

于步骤s23a中，可通过蒸镀法(evaporation)、化学气相沉积法(chemicalvapordeposition，cvd)或溅镀法(sputtering)等方法沉积第二透明导电材料于电路基板110上，以形成第二透明导电薄膜122a。需说明的是，第二透明导电材料可以与第一透明导电材料相同，也可以与第一透明导电材料不同。

接着，于步骤s23b中，经由微影蚀刻制程将整层的第二透明导电薄膜图案化，以形成岛状的第二透明导电层123。

接下来，在第二透明导电层123上进行步骤s22a、s22b、s21a、s21b、s21c及s21d，以在第二透明导电层123上形成金属层122且在金属层122上形成第一透明导电层121。步骤s22a、s22b、s21a、s21b、s21c及s21d与前述大致相同，故于此不再赘述。依此，金属层122位于电路基板110与第一透明导电层121之间，且第二透明导电层123与电路基板110接触。于此，包括有依序形成于电路基板110上的第二透明导电层123、金属层122及第一透明导电层121的连接电极120大致上已完成。

接着，在步骤s2之后，可以接续进行步骤s3、步骤s4及步骤s5，焊料140可以与连接电极120的第一透明导电层121的表面121s接触，且熔融的焊料140可以陷入此些微米或纳米级颗粒p1中的多数者之间，亦即此些微米或纳米级颗粒p1中的多个可以嵌入焊料140的底部。当熔融的焊料140固化后，微元件130能够通过焊料140固着于连接电极120上。

另外，于另一些实施例，电子组件的制造方法可以视产品需求而选择性包括形成保护薄膜于第一透明导电层121的表面121s上(步骤ss1)以及图案化保护薄膜以形成保护层150(步骤ss2)。请再参阅图18以及配合参阅图7。其中，先进行步骤s2，接着，在进行步骤ss1及步骤ss2，而后再进行步骤s3、s4、s5。换言之，先于电路基板110上形成连接电极120后，再于连接电极120的第一透明导电层121上形成保护层150，而后再接续于保护层150上形成焊料140、转置微元件及以焊料140固着微元件130。以下详细说明。

于步骤ss1中，可通过蒸镀法、化学气相沉积法或溅镀法等方法沉积透明导电材料于连接电极120的第一透明导电层121上，以形成保护薄膜。需说明的是，保护层的材料可以与第一透明导电材料相同，也可以与第一透明导电材料不同。接着，于步骤ss2中，经由微影蚀刻制程将整层的保护薄膜图案化，以形成岛状的保护层150。此外，步骤ss1及步骤ss2系为选择性的步骤。值得说明的是，在一些实施例中，步骤ss1及步骤ss2可以将保护层150形成在不同实施态样的连接电极120上。不过，在另一些实施例中，电子组件的制造方法可以不包括步骤ss1及步骤ss2。也就是说，连接电极120上也可以不用形成保护层150。

此外，在连接电极120的另一些实施例中，其中，连接电极120的金属层122位于第一透明导电层121与第二透明导电层123之间，第二透明导电层123位于金属层122之上，而第一透明导电层121与金属层122连接且位于电路基板110与金属层122之间。图19为本发明又一实施例的连接电极120的制造方法的流程图。请参阅图19以及再次配合参阅图8。

于此一实施例，步骤s23a以及步骤s23b在步骤s22a、步骤s22b、步骤s21a、步骤s21b、步骤s21c及步骤s21d之后。换言之，先于电路基板110上形成第一透明导电层121，再于电路基板110及第一透明导电层121上形成金属层122，而后在于金属层122上形成第二透明导电层123。于此，金属层122于相对第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多数第一突起t1。而且，由于第二透明导电层123随着覆盖金属层122的表面122s的此些第一突起t1而起伏，于此，第二透明导电层123于相对金属层122的一侧的表面123a形成多数第二突起t2。

其中，由于金属层122是沿着第一透明导电层121的表面121s而起伏，因此金属层122于相对于第一透明导电层121的一侧的表面122s形成多个与微米或纳米级颗粒p1的形状相同的第一突起t1。而且，由于第二透明导电层123是沿着金属层122的表面122s而起伏，因此第二透明导电层123于相对于金属层122一侧的表面123a形成多个与第一突起t1的形状相同的第二突起t2。

接着，在步骤s2之后，可以接续进行步骤s3、步骤s4及步骤s5，焊料140可以与连接电极120的第二透明导电层123的表面123s接触，且熔融的焊料140可以陷入此些第一突起t2中的多数者之间，亦即此些第一突起t2中的多个可以嵌入焊料140的底部。当熔融的焊料140固化后，微元件130能够通过焊料140固着于连接电极120上。

图20为本发明一实施例的转置组件的结构剖面示意图。请参阅图20，转置组件200包括弹性吸头210及帮浦件220，其中帮浦件220与弹性吸头210耦接。

在此实施例中，弹性吸头210具有第一表面210a以及相对于第一表面210a的第二表面210b。其中，第一表面210a具有至少一凸部211，而第二表面210b为一大致平坦表面。此外，第一表面210a更具有至少一通孔h1，且各通孔h1系由弹性吸头200的第一表面210a穿过各凸部211而贯穿至弹性吸头200的第二表面210b。换言之，各通孔h1系位于对应凸部211处且贯穿凸部211。

在一些实施例中，弹性吸头210可以是藉由在模具(未绘示)内灌注高分子材料并且塑型而成的。其中，模具可以是两个具有不同微结构且对向设置的基板。具体来说，可以通过微影蚀刻制程在两个硅基板的表面分别形成凹槽以及凸柱，且凹槽的槽宽大于凸柱的柱宽。将具有凹槽的硅基板以及具有凸柱的硅基板相对，并且使凸柱与凹槽对位以及使凸柱的顶面抵触凹槽的槽底面。而后，于两硅基板间灌注高分子材料，大致上即可形成弹性吸头210。须说明的是，此两对向设置的硅基板之间的空隙极为弹性吸头210的形状，且硅基板上的凸柱的柱宽即为通孔h1的孔径。

在一些实施例中，弹性吸头210的材料可以是但不限于具有黏性及弹性的高分子有机硅化合物材料，例如为聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，pdms)或模塑硅氧树脂(moldablesilicone，ms)等柔软的材料。

帮浦件220与弹性吸头210的平坦的第二表面210b耦接。于一些实施例中，弹性吸头210可藉由其黏性而黏附于帮浦件220，以使弹性吸头210的第二表面210b耦接于帮浦件220

其中，帮浦件220具有至少一气孔f1，并且气孔f1能与通孔h1连通。具体来说，帮浦件220能够藉由气孔f1流通气流，也就是说，可以将空气经由气孔f1而抽取气体或是吹送气体。须说明的是，气孔f1的数量与位置并不一定与通孔h1的数量和位置一致。当帮浦件220在抽取气体或是吹送气体时，气体能够经由气孔f1及通孔h1而流通。

图21为本发明一实施例的微元件的转置方法的流程图。请参阅图21以及配合参阅图22至图25。微元件的转置方法可以包括形成焊料140于连接电极120上(步骤s3)、转置微元件130于焊料140上(步骤s4)、以焊料140固着微元件130于连接电极120上(步骤s5)、驱动帮浦件220以通入气体至此些通孔h1(步骤s6)以及分离微元件130与弹性吸头210(步骤s7)。其中，步骤s3、s4及s5与前述大致相同，故相同的说明于此些实施例中不再赘述。

首先，如图22所绘示，于步骤s3中，将焊料140施加于连接电极120之上。为了便于说明，于图22中仅简单绘示连接电极120，而省略其分层。其中，焊料140可视不同实施例的连接电极120而与连接电极120的第一透明导电层121的多数微米或纳米级颗粒p1、金属层122的多数第一突起t1或者是第二透明导电层123的多数第二突起t2接触。

接着，如图23所绘示，在其中一些实施例中，步骤s4可以更包括通过转置组件200拾取微元件130(步骤s41)以及通过转置组件200将拾取的微元件130移动于焊料上(步骤s42)。详细来说，于步骤s41中，将转置组件200移动到微元件130的上方，使转置组件200的弹性吸头210的各凸部211对应各个微元件130。接着，转置组件200垂直向下移动，使得弹性吸头210的各凸部211接触各个微元件130，以黏取各微元件130。于其中又一些实施例中，此时，帮浦件220可以产生负压以通过气孔f1抽取气体，使得气体可以在气孔f1及通孔h1中流通，从而除了弹性吸头210的黏着力之外，微元件130可以更通过帮浦件220的吸力而更佳地附着于各凸部211。

接着，如图24所绘示，于步骤s42中，转置组件200可以移动所黏取及/或吸取的微元件130且放置在形成有焊料140的连接电极120上。

接着，进行步骤s5，请再次参阅图24及配合参阅图14、图15。须说明的是，步骤s51及s51与前述大致相同，故于此不再赘述。其中，熔融的焊料140可视不同实施例的连接电极120而陷入连接电极120的第一透明导电层121的多数微米或纳米级颗粒、金属层122的多数第一突起t1或者是第二透明导电层123的多数第二突起t2之间。换言之，第一透明导电层121的微米或纳米级颗粒p1、金属层122的多数第一突起t1或者是第二透明导电层123的多数第二突起t2中的多个可以嵌入焊料140的底部，从而增加焊料140与连接电极120之间的接触面积以及附着力。依此，微元件130能与电路基板110上的连接电极120电性连接。

接着，于步骤s6中，驱动帮浦件220以将气体由气孔f1通入至此些通孔h1，使得弹性吸头210的各凸部211与各微元件130之间产生小缝隙。换言之，弹性吸头210的各凸部211与各微元件130些微地分开，藉以便于使弹性吸头210与微元件130之间分离。

而后，于步骤s7中，如图25所绘示，于气体的通入过程中，将微元件130与弹性吸头210的各凸部211分离。依此，转置组件200离开微元件130时，不会拉扯微元件130而致使微元件130发生歪斜、位移或是脱落等情况。

综上所述，本发明实施例的电子组件、转置组件、电子组件的制造方法及微元件的转置方法，其通过在连接电极的表面形成多数微突起以使焊料能更稳固地将转置的微元件与连接电极相互固着。依此，连接电极表面的多数微突起嵌入于焊料的底部，藉以增加焊料与连接电极之间的接触面积以及附着力。因此，能避免转置组件于转置过程中离开微元件时，因焊料与连接电极接着不佳而使微元件歪斜、位移或是脱落等情况发生，进而能提高电子组件的良率。在一些实施例中，本发明实施例的转置组件及微元件的转置方法，其通过弹性吸头来黏取微元件，由于弹性吸头具有黏性及弹性而且为柔软材料，因此弹性吸头不易与微元件碰撞而导致微元件受损。在一些实施例中，本发明实施例的转置组件及微元件的转置方法，更可通过于通孔中抽取气体或是吹送气体以利于弹性吸头更加地拾取或放置微元件。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。