带异物检测装置的基板吸附设备及异物检测方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种带异物检测装置的基板吸附设备及异物检测方法。所述带异物检测装置的基板吸附设备在真空吸附平台的一侧设置异物检测装置，所述异物检测装置能够发射检测信号，并根据检测信号的反射情况，判断基板的背面是否存在异物，从而在真空吸附之前对基板的背面进行异物检测，防止因异物导致制程不良或破片。

技术研发人员：高攀
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2018.05.25
技术公布日：2018.12.11