一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具的制作方法

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具。

背景技术：

目前光刻胶自动涂覆曝光作业完成后，具有Notch的晶圆圆片边缘一圈无效区域会有开口被开出，对后续的电镀工艺造成一定的影响。为避免无效区域开口开出，减少电镀工艺造成的损失，需要重新手动进行修边处理，增加一定的作业难度且延长时间成本。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是克服背景技术的缺陷，提供一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具。通过本实用新型所述修边载具，方便了具有Notch的晶圆的修边且大大降低了作业成本，将具有Notch的晶圆放置于中心位置，经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；避免具有Notch的晶圆手动定位精度差的问题；第一圆孔、第二圆孔属于真空孔，提高作业过程中的具有Notch的晶圆位置的稳定性；本实用新型结构布置紧凑，结构简单，构思巧妙，实用性强。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案如下：

一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具，包括载具和独立于所述载具的掩膜板；所述载具包括圆形底板，所述圆形底板的中部设置第一圆孔，围绕着所述第一圆孔均匀设置有若干个第二圆孔；所述圆形底板的侧壁围绕着圆周依次间隔设置有若干个弧形定位块；在所述圆形底板上靠近所述圆形底板的侧壁且距离任意两个相邻的所述弧形定位块相等距离的位置设置Notch定位孔；所述掩膜板包括掩膜板内圈和掩膜板外圈，所述掩膜板外圈的直径和所述圆形底板的直径及具有Notch的晶圆的直径一致；所述掩膜板能够有效的解决曝边时定位的问题。

进一步地，所述第一圆孔的孔径小于所述第二圆孔的孔径。

进一步地，所述第一圆孔的数量为一个，所述第二圆孔的数量为四个。

进一步地，所述弧形定位块的数量为四块。

进一步地，所述圆形底板和所述弧形定位块为一体成型。

进一步地，所述Notch定位孔包括呈三角形排列的第一Notch定位孔、第二Notch定位孔和第三Notch定位孔；所述第一Notch定位孔、所述第二Notch定位孔和所述第三Notch定位孔与所述具有Notch的晶圆的Notch对位吻合。

进一步地，所述第一Notch定位孔的孔径大于所述第二Notch定位孔的孔径和所述第三Notch定位孔的孔径，所述第二Notch定位孔孔径等于所述第三Notch定位孔的孔径。

进一步地，所述掩膜板外圈的厚度为3mm；所述掩膜板外圈呈透明状，属于透光区域，该透明区域经过透光作业后使得光刻胶曝光后硬化难以去除，使胶面完好平整，从而能够解决后续电镀金属(或者合金)凸点时出现高低不平的问题。

进一步地，所述具有Notch的晶圆的大小为8寸。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型包括与8寸具有Notch的晶圆尺寸一致的特制载具和配套的特殊掩膜板，用于8寸具有Notch的晶圆的放置定位以及曝光作业，方便了具有Notch的晶圆的修边且大大降低了作业成本，将具有Notch的晶圆放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；

(2)本实用新型所述载具包括弧形定位块及Notch定位孔，避免具有Notch的晶圆手动定位精度差的问题；

(3)本实用新型所述载具中的所述第一圆孔和所述第二圆孔属于真空孔，提高作业过程中的晶圆位置的稳定性；

(4)本实用新型配有掩膜板外圈的直径与圆形底板的直径一致的特殊掩膜板，所述掩膜板能够有效的解决曝边时定位的问题；所述掩膜板外圈的厚度为3mm，呈透明状，属于透光区域，经过透光作业使得光刻胶曝光后硬化难以去除；

(5)本实用新型结构布置紧凑，结构简单，构思巧妙，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型实施例1所述载具的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1所述掩膜板的结构示意图；

图3为本实用新型实施例1所述载具安装上8寸具有Notch的晶元的结构示意图；

图4为本实用新型实施例1所述载具安装上所述掩膜板的结构示意图。

图中各个附图标记的对应的部件名称是：1-载具；2-掩膜板；3-圆形底板；4-第一圆孔；5-第二圆孔；6-弧形定位块；7-Notch定位孔；8-掩膜板内圈；9-掩膜板外圈；10-具有Notch的晶圆；11-第一Notch定位孔；12-第二Notch定位孔；13-第三Notch定位孔；14-Notch。

具体实施方式

为了更好地理解本实用新型的内容，下面结合具体实施例和附图作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于对本实用新型进一步说明，而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型所述的内容后，该领域的技术人员对本实用新型作出一些非本质的改动或调整，仍属于本实用新型的保护范围。

实施例1

一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具，如图1～4所示，包括载具1和独立于所述载具1的掩膜板2；所述载具1包括圆形底板3，所述圆形底板3的中部设置第一圆孔4，围绕着所述第一圆孔4均匀设置有若干个第二圆孔5；所述圆形底板3的侧壁围绕着圆周依次间隔设置有若干个弧形定位块6；在所述圆形底板3上靠近所述圆形底板3的侧壁且距离任意两个相邻的所述弧形定位块6相等距离的位置设置Notch定位孔7；所述掩膜板2包括掩膜板内圈8和掩膜板外圈9，所述掩膜板外圈9的直径和所述圆形底板3的直径及具有Notch的晶圆10的直径一致。

所述第一圆孔4的孔径小于所述第二圆孔5的孔径。

所述第一圆孔4的数量为一个，所述第二圆孔5的数量为四个。

所述弧形定位块6的数量为四块。

所述圆形底板3和所述弧形定位块6为一体成型。

所述掩膜板外圈9的厚度为3mm。

所述具有Notch的晶圆10的大小为8寸。

实施例2

作为进一步的实施例，本实施例与实施例1基本相同，区别在于，如图1和图3所示，所述Notch定位孔7包括呈三角形排列的第一Notch定位孔11、第二Notch定位孔12和第三Notch定位孔13；所述第一Notch定位孔11、所述第二Notch定位孔12和所述第三Notch定位孔13与所述具有Notch的晶圆10的Notch 14对位吻合。

所述第一Notch定位孔11的孔径大于所述第二Notch定位孔12的孔径和所述第三Notch定位孔13的孔径，所述第二Notch定位孔12孔径等于所述第三Notch定位孔13的孔径。

本实施新型的使用流程：

(1)如图1所示，本实用新型所述载具1的设计尺寸与曝光机器平台吻合，利用弧形定位块6将所述载具1放置在机台上固定位置，使得所述载具1能够稳定的卡在机台上；

(2)如图3所示，将8寸具有Notch的晶圆10放置在所述载具1上，所述具有Notch的晶圆10与所述Notch定位孔7对位吻合，使得8寸具有Notch的晶圆10能够牢固稳定在所述载具1上；

(3)如图2和图4所示，将掩膜板外圈9的直径与所述圆形底板3的直径一致的配套的掩膜板2放置在所述具有Notch的晶圆10上，通过四块所述弧形定位块6固定位置；

(4)最后执行曝边动作，掩膜板外圈9的厚度为3mm，呈透明状，属于透光区域，具有Notch的晶圆10表面涂覆的胶层透光区域经过曝光后，胶面硬化难以去除，使胶面完好平整，从而能够解决后续电镀金属(或者合金)凸点时出现高低不平的问题。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型包括与8寸具有Notch的晶圆尺寸一致的特制载具1和配套的特殊掩膜板2，用于8寸具有Notch的晶圆10的放置定位以及曝光作业，方便了具有Notch的晶圆10的修边且大大降低了作业成本，将具有Notch的晶圆10放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；

(2)本实用新型所述载具包括弧形定位块6及Notch定位孔7，避免具有Notch的晶圆10手动定位精度差的问题；

(3)本实用新型所述载具中的所述第一圆孔4和所述第二圆孔5属于真空孔，提高作业过程中的晶圆位置的稳定性；

(4)本实用新型配有掩膜板外圈9的直径与圆形底板3的直径一致的特殊掩膜板2，所述掩膜板2能够有效的解决曝边时定位的问题；所述掩膜板外圈9的厚度为3mm，呈透明状，属于透光区域，经过透光作业使得光刻胶曝光后硬化难以去除；

(5)本实用新型结构布置紧凑，结构简单，构思巧妙，实用性强。

上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也并不限于上述举例。本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内，做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。