中并且暴露在相对的表面处；以及多个气体入口孔400，其安置在加热灯300之间、连接到气流路径410，并且形成在灯安装表面110上。
[0069]加热块外壳10a具有用于将环境气体注射到热处理空间中的气流路径410。从外部气体供应部分(未图示)供应的环境气体(例如，N2气体)可以沿加热块外壳10a中的气流路径410通过气体入口孔400注射到热处理空间中。
[0070]气体入口孔400连接到气流路径410并且安置在气体加热灯300之间。通过气体入口孔400，可以朝向热处理空间注射环境气体(例如,N2气体)。出于参考起见，注射到热处理腔室200中的热处理空间中的气体可以通过形成在热处理腔室200上的排气口 700排放到外部。
[0071]设置在加热块外壳10a的灯安装表面110上的加热灯300通过接收来自外部电力供应部分(未图示)的电力而被加热。加热灯300可以通过使用辐射热来加热安置在热处理空间中的衬底。通过将更多电力供应到加热灯300，热处理温度可以维持在近似80°C到850°C之间。
[0072]如图4中所说明，加热灯300包含:灯主体330，在所述灯主体330中具有灯丝以允许辐射热从中穿过；用于固定灯主体330的灯支架320 ;以及耦合到灯支架320以用于接收外部电力的灯插座310。
[0073]灯主体330可以具有中空管道的形状，S卩，管形状。灯主体330可以是T形或线性管形的。当然，灯主体330不限于上述内容，并且因此可以具有弯曲、圆形或椭圆形带的形状。并且，灯主体330可以由玻璃或石英制成。这可以允许辐射热穿过灯主体330而不会有任何损耗。此外,灯主体330可以填充有惰性气体，例如氩气。
[0074]如图4中所说明，加热灯300可以具有分隔类型的结构，其中灯主体330、灯支架320和灯插座310是能够被分开的，或替代地，可以具有整合类型的结构，其中可以接收外部电力而无需额外的灯插座的灯支架320与灯主体330 —体地形成。
[0075]在所述示例性实施例中，加热灯300和气体入口孔400 —起形成在灯安装表面110上。加热灯300布置在灯安装表面110上，并且为此目的，如图5中所说明，加热块外壳10a配备有凹陷在灯安装表面110中的灯凹槽350，加热灯300安置在所述灯凹槽350中。灯凹槽350以介于其间的分隔表面间隔开，并且气体入口孔400安置在所述分隔表面上。换句话说，气体入口孔400安置在加热灯300之间。
[0076]存在位于加热灯300之间的气体入口孔400的三种布置类型，其如下。
[0077]首先，加热灯300和气体入口孔400可以布置在相同方向的相隔的线上。参考在图6中所说明的灯安装表面110的正视图，当横向的X方向和纵向的Y方向彼此垂直时，多个加热灯300在X方向上沿多个行线安置，多个气体入口孔400在X方向上的行线之间平行安置。因此，多个气体入口孔400安置在一行线上并且加热灯300安置在另一行线上。出于参考起见，加热灯300沿行线安置意味着加热灯300的中心点(举例来说，定位灯丝的点)经布置以沿第一行线R1、第二行线R2等定位。类似地，气体入口孔400在X方向上在行线之间安置意味着气体入口孔400的中心点在布置加热灯300所沿的行线之间平行安置。
[0078]同时，当安置在多个行线上的加热灯300在纵向Y方向上安置在直的列线上时，可能不会均匀地执行加热。需要对加热灯300进行布置以实现均匀的加热。为此，如图6中所说明，安置在行线中的奇数编号的行线上的奇数编号的行线加热灯300以及安置在行线中的偶数编号的行线上的偶数编号的行线加热灯300需要在Y方向上安置在彼此不同的列线上。举例来说，首先安置在奇数编号的行线R1、R3、R5和R7中的第一灯安置在相同的第一列线Cl上，而首先安置在偶数编号的行线R2、R4和R6中的第一灯安置在相同的第二列线C2上，使得安置在奇数编号的行线Rl、R3、R5和R7中的灯以及安置在偶数编号的行线R2、R4、R6中的灯在Y方向上沿列线彼此偏离。
[0079]用于在加热灯300之间布置气体入口孔400的第二布置类型是加热灯300和气体入口孔400以倾斜形式布置。如图7中所说明，当X方向和Y方向彼此垂直时，多个加热灯300沿多个倾斜线在X方向与Y方向之间的倾斜方向上安置，并且所述多个气体入口孔400具有与倾斜线相同的斜率并且安置在所述倾斜线之间。当加热灯300和气体入口孔400沿这些倾斜线布置时，可以均匀地执行通过加热的温度升高和气体分布。
[0080]用于在加热灯300之间布置气体入口孔400的第三布置类型是气体入口孔400围绕加热灯300安置。如图8和图9中所说明，多个加热灯300安置在多个线上，并且多个气体入口孔400a沿加热灯300的周边安置。举例来说，如图8中所说明，多个加热灯300可以在X轴方向上沿多个行线安置，并且多个气体入口孔400a可以沿加热灯300的周边安置。为此目的，灯凹槽350的中心点沿位于加热块外壳10a的灯安装表面110上的多个线定位，并且多个气体入口孔400a分别形成在灯凹槽350的周边上。
[0081]此外，多个气体入口孔400b可以额外地安置在上面安置有多个加热灯300的相同的线上。举例来说，如图8中所说明，加热灯300沿第一行线安置，并且多个气体入口孔400b额外地安置在上面安置有加热灯300的第一行线上。
[0082]因此，可以通过在灯安装表面110上均匀地分布气体入口孔400a和400b来执行均匀的气体注射。
[0083]如图9中所说明，多个加热灯300在Y轴方向上沿多个列线安置，并且多个气体入口孔400沿加热灯300的周边和行线安置。
[0084]根据气流路径的形状，确定安置在气流路径上的多个气体入口孔的位置。换句话说，气体入口孔的位置可以随着气流路径的形状而改变。
[0085]形成在加热块100上的气流路径410以各种形状形成并且如图9中所说明，平行于上面安置有加热灯的列线并且在所述列线之间形成气流路径410，使得气体入口孔400形成在平行的气流路径410上。
[0086]如图7中所说明，可以平行于上面安置有加热灯300的倾斜线并且在所述倾斜线之间形成气流路径410。如图8和图9中所说明，气流路径410可以沿灯凹槽350的周边形成。
[0087]根据示例性实施例，加热块配备有气体入口，并且因此可以最小化热处理腔室的相应区域之间的温差。因此，可以提高被热处理的衬底的均匀性。根据示例性实施例，气体入口孔定位在加热块中，因此使得易于清洁气体入口孔。并且，不需要物理地分隔加热块与热处理腔室的额外的窗口。
[0088]虽然已经参考具体实施例描述了本发明，但是其并不限于此，并且本发明的范围是由所附权利要求界定。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离由所附权利要求界定的本发明的精神和范围的情况下，可以对其进行各种修改和改变。
【主权项】
1.一种衬底处理设备，其特征在于包括: 热处理腔室，具有用于衬底的热处理空间； 衬底支架，经配置以在所述热处理空间中支撑所述衬底；以及 加热块，包括加热灯和气体入口孔，所述加热灯经配置以产生热能，所述气体入口孔经配置以朝向所述衬底支架注射气体，其中所述加热灯和所述气体入口孔设置为面向所述衬底支架。
2.根据权利要求1所述的衬底处理设备,其中所述加热块包括: 加热块外壳，具有与所述衬底支架相对的灯安装表面，并且具有气流路径； 多个所述加热灯，嵌入在所述加热块外壳中并且暴露在所述灯安装表面处；以及 多个所述气体入口孔，安置在所述加热灯之间、连接到所述气流路径，并且设置在所述灯安装表面上。
3.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述气体入口孔安置在所述加热灯之间。
4.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中当X方向垂直于Y方向时，多个所述加热灯在所述X方向上沿多个行线安置，并且多个所述气体入口孔在所述X方向上平行于所述行线并且在所述行线之间安置。
5.根据权利要求4所述的衬底处理设备，其中安置在所述行线中的奇数编号的行线上的奇数编号行线的所述加热灯以及安置在所述行线中的偶数编号的行线上的偶数编号行线的所述加热灯在所述Y方向上安置在彼此不同的列线上。
6.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中当X方向垂直于Y方向时，多个所述加热灯沿多个倾斜线沿所述X方向和所述Y方向之间的倾斜方向安置，并且多个所述气体入口孔与所述倾斜线具有相同的斜率并且安置在所述倾斜线之间。
7.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中多个所述加热灯安置在多个线上并且多个所述气体入口孔沿所述加热灯的周边安置。
8.根据权利要求7所述的衬底处理设备，其中所述多个气体入口孔安置在上面安置有所述多个加热灯的相同的所述线上。
9.根据权利要求2所述的衬底处理设备，其中所述加热块外壳具有灯凹槽，凹陷在所述灯安装表面中，所述加热灯安置在所述灯凹槽中。
10.根据权利要求9所述的衬底处理设备，其中所述灯凹槽以介于其间的分隔表面间隔开，并且所述气体入口孔安置在所述分隔表面上。
11.根据权利要求4所述的衬底处理设备，其中平行于上面安置有所述加热灯的所述行线并且在所述行线之间提供气流路径。
12.根据权利要求6所述的衬底处理设备，其中平行于上面安置有所述加热灯的所述倾斜线并且在所述倾斜线之间形成气流路径。
13.根据权利要求9所述的衬底处理设备，其中沿所述灯凹槽的周边形成气流路径。
【专利摘要】本发明涉及一种衬底处理设备，尤其涉及一种在衬底上执行热处理的衬底处理设备。本发明的示例性实施例包含：热处理腔室，其具有用于衬底的热处理空间；衬底支架，其用于在所述热处理空间中支撑所述衬底；加热块，其包含产生热能的加热灯和用于朝向所述衬底支架注射气体的气体入口孔，其中所述加热灯和所述气体入口孔设置为面向所述衬底支架。
【IPC分类】H01L21-324
【公开号】CN104576358
【申请号】CN201410584852
【发明人】尹斗永, 池尙炫, 李成龙
【申请人】Ap系统股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月27日