206]作为切断方式，除旋转刃6之外，可以使用激光、水柱、线状锯、带锯、鼓风、或者利用在封装基板2的第一边界线LI和第二边界线L2上分别形成的槽而进行的割断这些方式之中的至少任意一种。在使用割断作为切断方式时，可以通过使用旋转刃6等将封装基板2切削至厚度方向的途中(半切)，由此来形成槽。
[0207]本发明并不限于上述的实施例，在不脱离本发明主旨的范围内，可以根据需要任意且适当地进行组合、变更、或选择性地采用。例如，可以由图1所示的操作者OP来执行图6所示的运送机构39所执行的一部分动作。
【主权项】
1.一种检查用夹具，在通过分别沿着用于分隔被切断物的第一边界线和与该第一边界线相交叉的第二边界线切断所述被切断物来生产与通过所述第一边界线和所述第二边界线分隔出的多个区域分别对应的多个单位部件时与切断装置一起被使用，所述检查用夹具的特征在于，具备: 第一吸附单元和第二吸附单元，设置于所述切断装置，且各自吸附所述多个单位部件； 多个第一管路，设置于所述第一吸附单元，且用于分别吸附所述多个单位部件； 第三吸附单元，位于所述第一吸附单元与所述第二吸附单元之间，且以能够载置于所述第一吸附单元的方式设置； 多个第三管路，设置于所述第三吸附单元，且在所述第三吸附单元被载置于所述第一吸附单元的状态下能够与所述多个第一管路分别连接； 覆盖单元，以相对于所述第三吸附单元能够装卸的方式设置；以及 固定单元，将所述第三吸附单元与所述覆盖单元固定， 在所述第三吸附单元被载置于所述第一吸附单元的状态下，所述第三吸附单元吸附从所述第一吸附单元经由所述第二吸附单元接收的所述多个单位部件， 在所述覆盖单元被安装于所述第三吸附单元的状态下，所述覆盖单元在所述第三吸附单元上压住被吸附于所述第三吸附单元的所述多个单位部件， 压住所述多个单位部件的所述覆盖单元通过所述固定单元被固定于所述第三吸附单元， 所述第三吸附单元与所述覆盖单元在所述覆盖单元被固定于所述第三吸附单元的状态下一体地移动， 对所述多个单位部件的光学检查是在所述第三吸附单元与所述覆盖单元一体地移动之后，且在所述覆盖单元从所述第三吸附单元被拆卸的状态下进行。2.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于， 所述光学检查是通过操作者的目视来进行。3.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于， 所述光学检查是使用所述切断装置所具有的摄像单元、图像处理单元以及判定单元来进行。4.根据权利要求1?3中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于， 所述覆盖单元的内底面在所述覆盖单元被安装于所述第三吸附单元的状态下按压被吸附于所述第三吸附单元的所述多个单位部件，在该内底面具备软质部件。5.一种切断装置，在通过分别沿着用于分隔被切断物的第一边界线和与该第一边界线相交叉的第二边界线切断所述被切断物来生产与通过所述第一边界线和所述第二边界线分隔出的多个区域分别对应的多个单位部件时被使用，所述切断装置的特征在于，具备: 切断单元，分别沿着所述第一边界线和所述第二边界线切断所述被切断物； 第一吸附单元，分别吸附所述多个单位部件； 多个第一管路，设置于所述第一吸附单元，且用于分别吸附所述多个单位部件； 吸引单元，与所述多个第一管路相连； 干燥单元，使吸附于所述第一吸附单元的所述多个单位部件干燥； 第二吸附单元，从所述第一吸附单元接收并吸附所述多个单位部件； 多个第二管路，设置于所述第二吸附单元，且用于分别吸附所述多个单位部件； 第三吸附单元，以能够载置于所述第一吸附单元的方式设置； 多个第三管路，设置于所述第三吸附单元，且在所述第三吸附单元被载置于所述第一吸附单元的状态下能够与所述多个第一管路分别连接； 覆盖单元，以相对于所述第三吸附单元能够装卸的方式设置； 固定单元，将所述第三吸附单元与所述覆盖单元固定； 图像获取单元，在所述多个单位部件被载置于所述第三吸附单元且所述覆盖单元从所述第三吸附单元被拆卸的状态下，获取所述多个单位部件的图像；以及收容单元，所述多个单位部件以分散的状态一并被收容， 在所述第三吸附单元被载置于所述第一吸附单元的状态下，所述多个单位部件从所述第二吸附单元被移载到所述第三吸附单元， 被移载到所述第三吸附单元的所述多个单位部件通过所述覆盖单元在所述第三吸附单元上被压住， 压住所述多个单位部件的所述覆盖单元通过所述固定单元被固定于所述第三吸附单元， 对所述多个单位部件的光学检查是在所述覆盖单元与固定于该覆盖单元的所述第三吸附单元从所述第一吸附单元一体地移动到所述图像获取单元之后，且在所述覆盖单元从所述第三吸附单元被拆卸的状态下，根据由所述图像获取单元获得的所述多个单位部件的图像来进行。6.根据权利要求5所述的切断装置，其特征在于， 所述图像获取单元将操作者的目视图像作为所述多个单位部件的图像， 所述光学检查是通过所述操作者的目视来进行。7.根据权利要求5所述的切断装置，其特征在于，所述图像获取单元具备: 摄像单元； 图像处理单元，对由所述摄像单元获得的所述多个单位部件的图像进行图像处理；以及 判定单元，根据进行所述图像处理的结果，判定所述多个单位部件是否合格。8.根据权利要求7所述的切断装置，其特征在于，进一步具备: 运送单元，使所述覆盖单元与固定于该覆盖单元的所述第三吸附单元至少在所述第一吸附单元与所述摄像单元之间一体地移动；以及 固定解除单元，解除所述第三吸附单元与所述覆盖单元被固定的状态，并从所述第三吸附单元拆卸所述覆盖单元， 所述第二吸附单元向所述第一吸附单元移载所述多个单位部件， 所述第二吸附单元使所述多个单位部件移动到所述收容单元， 所述第二吸附单元停止吸附所述多个单位部件，由此将所述多个单位部件分散地收容到所述收容单元。9.根据权利要求5?8中任意一项所述的切断装置，其特征在于，进一步具备: 标记单元，在通过对所述多个单位部件的光学检查而抽出的所述多个单位部件的不合格品上添加标记。10.—种切断方法，在通过分别沿着用于分隔被切断物的第一边界线和与该第一边界线相交叉的第二边界线切断所述被切断物来生产与通过所述第一边界线和所述第二边界线分隔出的多个区域分别对应的多个单位部件时被使用，所述切断方法的特征在于，包括: 分别沿着所述第一边界线和所述第二边界线切断所述被切断物的工序； 将所述多个单位部件运送到第一吸附单元的工序； 将所述多个单位部件中的每一个经由多个第一管路吸附于所述第一吸附单元的工序; 对吸附于所述第一吸附单元的所述多个单位部件进行干燥的工序； 停止由所述第一吸附单元对所述多个单位部件的吸附的工序； 将所述多个单位部件中的每一个经由多个第二管路吸附于所述第二吸附单元的工序; 使吸附有所述多个单位部件的所述第二吸附单元从所述第一吸附单元退避的工序； 将具有多个第三管路的第三吸附单元载置于所述第一吸附单元的工序； 将所述多个单位部件从所述第二吸附单元移载到所述第三吸附单元的工序； 依次经由所述多个第一管路和所述多个第三管路，将所述多个单位部件中的每一个吸附于所述第三吸附单元的工序； 将覆盖单元固定于所述第三吸附单元，并且通过所述覆盖单元在所述第三吸附单元上压住所述多个单位部件的工序； 停止由所述第三吸附单元对所述多个单位部件的吸附的工序； 使所述覆盖单元与固定有该覆盖单元的所述第三吸附单元一体地移动到图像获取单元的工序； 从所述第三吸附单元拆卸所述覆盖单元的工序； 对载置于所述第三吸附单元的所述多个单位部件进行光学检查的工序；以及 将所述多个单位部件以分散的状态收容到收容单元的工序。11.根据权利要求10所述的切断方法，其特征在于， 在所述进行光学检查的工序中，由操作者通过目视来检查所述多个单位部件。12.根据权利要求10所述的切断方法，其特征在于， 在所述进行光学检查的工序中，使用摄像单元来获取所述多个单位部件的图像，对获取到的所述图像进行图像处理，根据进行所述图像处理的结果，对所述多个单位部件进行光学检查。13.根据权利要求10?12中任意一项所述的切断方法，其特征在于， 在所述进行光学检查的工序之后，进一步包括使用所述第二吸附单元来使所述多个单位部件移动到所述收容单元上方的工序， 在所述一体地移动的工序中，使用运送单元来使所述覆盖单元与所述第三吸附单元一体地移动， 在所述收容到收容单元的工序中，停止由通过移动到所述收容单元上方的工序而移动到所述收容单元上方的所述第二吸附单元对所述多个单位部件的吸附，由此将所述多个单位部件分散地收容到所述收容单元。14.根据权利要求10?12中任意一项所述的切断方法，其特征在于， 进一步包括在通过所述进行光学检查的工序而抽出的所述多个单位部件的不合格品上添加标记的工序。
【专利摘要】本发明提供对电子部件进行外观检查之后进行分散收容的检查用夹具、切断装置和切断方法。在切断装置中具备：干燥用工作台，吸附多个电子部件；吸引泵，与干燥用工作台所具有的多个第一管路相连；干燥单元，使干燥用工作台上的多个电子部件干燥；临时保持机构，从干燥用工作台接收并吸附多个电子部件；板，放置于干燥用工作台上；多个第三管路，设置于板，且在板被放置于干燥用工作台上的状态下与多个第一管路相连；盖，放置于板上，且相对于板能够装卸；螺钉，将板与盖固定；以及收容箱，多个电子部件被分散收容。由操作者从板上拆卸盖，并使用显微镜等来检查多个电子部件。
【IPC分类】H01L21/683, H01L21/67, H01L21/66
【公开号】CN104952767
【申请号】CN201510104727
【发明人】和泉裕也
【申请人】东和株式会社
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年3月10日