在于说明与实施例三中的不同步骤(步骤三):。
[0144]如图5所示，采用自修复导电材料在所述显示器件层上形成第一导电图形230的具体过程包括:首先，通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述显示器件层220上形成低熔点合金材料层；接着，通过光刻工艺在所述低熔点合金材料层上形成图形化的光阻层；然后，以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述低熔点合金材料层进行刻蚀，以形成第一导电图形230。
[0145]其中，所述低熔点合金材料为铟锡铋锌合金材料，所述铟锡铋锌合金材料的熔点在50°C到60°C之间，所述铟锡秘锌合金材料包括如下质量百分含量的组分:铟46%?50% ;锡 12 ?20% ;铋 28 ?42% ;锌 O ?10%
[0146]优选的，所述铟锡铋锌合金材料包括如下质量百分含量的组分:1η(铟)50% ;Sn(锡)16% ;Bi(铋)34% ;Zn(锌)0%。
[0147]优选的，所述铟锡铋锌合金材料包括如下质量百分含量的组分:1η(铟)56.5% ;Sn(锡)12% ;Bi(铋)31% ;Zn(锌)0.5%。
[0148]如图5所示，所述柔性显示器件200包括长宽比相对较高的第一导电图形230和长宽比相对较低的第二导电图形250，所述第一导电图形230由低熔点合金材料制成，所述第二导电图形250由普通金属材料制成。
[0149]本实施例与实施例三不同之处在于，所述柔性显示器件200的第一导电图形230由低熔点合金材料制成，而不是采用自修复型导电胶。
[0150]在本发明的其他实施例中，所述第一导电图形230和第二导电图形250均由自修复导电材料制成，所述自修复导电材料包括自修复型导电胶和低熔点合金材料。所述第一导电图形230和第二导电图形250米用的材料可以相同，也可以不同。所述第一导电图形230和第二导电图形250采用的材料相同时，所述第一导电图形230和第二导电图形250均由自修复型导电胶制成，或者所述第一导电图形230和第二导电图形250均由低熔点合金材料制成。所述第一导电图形230和第二导电图形250采用的材料不同时，所述第一导电图形230由自修复型导电胶制成而所述第二导电图形250由低熔点合金材料制成，或者所述第一导电图形230由低熔点合金材料制成而所述第二导电图形250由自修复型导电胶制成。
[0151]需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0152]综上，在本发明实施例提供的柔性显示器件及其制造方法中，通过分步形成长宽比相对较高的金属线和长宽比相对较低的金属线，其中长宽比相对较高的金属线，包括数据线和栅线均由自修复导电材料制成，断裂后能够实现自动修复，从而提高所述柔性显示器的使用寿命。而且，自修复金属线与普通金属线先后形成，能够有效降低两者的短路现象，提高所述柔性显示器件的可靠性。
[0153]上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种柔性显示器件的制造方法，其特征在于，包括: 提供一柔性基板； 在所述柔性基板上形成显示器件层； 在所述显示器件层上形成第一导电图形； 在所述显示器件层和第一导电图形上形成第一介电绝缘层，对所述第一介电绝缘层进行刻蚀以形成沟槽；以及 在所述沟槽中形成第二导电图形； 其中，所述第一导电图形和/或第二导电图形由自修复导电材料制成。2.如权利要求1所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述自修复导电材料为自修复型导电胶； 采用自修复导电材料在所述沟槽中形成所述第二导电图形的过程包括: 通过喷墨打印工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成自修复型导电胶层； 通过光刻工艺在所述自修复型导电胶层上形成图形化的光阻层；以及 以所述图形化的光阻层为掩膜对所述自修复型导电胶层进行刻蚀，以形成第二导电图形； 采用自修复导电材料在所述显示器件层上形成所述第一导电图形的过程包括: 通过喷墨打印工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成自修复型导电胶层； 通过光刻工艺在所述自修复型导电胶层上形成图形化的光阻层；以及以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述自修复型导电胶层进行刻蚀，以形成第一导电图形。3.如权利要求2所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述自修复型导电胶包括填充有银纳米线的导电胶、含有多孔炭材料的导电胶或含有铟的热可修复型导电胶； 所述填充有银纳米线的导电胶采用核壳结构的纳米粒子，所述核壳结构的纳米粒子的壳为聚苯乙烯，所述核壳结构的纳米粒子的核为分散有银纳米线的聚硫醇与二甲基苯胺的混合物； 所述含有多孔炭材料的导电胶的成分包括环氧树脂、固化促进剂、环氧稀释剂份、乳化剂、含孔碳材料粉末、去离子水和囊壁材料； 所述含有铟的热可修复型导电胶的成分包括环氧树脂、片状银粉、固化剂、固化促进剂、聚甲基丙烯酸酯微粉、铟填料和偶联剂； 所述填充有银纳米线的导电胶和含有多孔炭材料的导电胶的制备方法均为乳液聚合法，所述含有铟的热可修复型导电胶的制备方法为固固混合和固液混合工艺。4.如权利要求1所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述自修复导电材料为低熔点合金材料； 采用自修复导电材料在所述沟槽中形成所述第二导电图形的过程包括: 通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成低熔点合金材料层； 通过光刻工艺在所述低熔点合金材料层上形成图形化的光阻层；以及 以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述低熔点合金材料层进行刻蚀，以形成第二导电图形； 采用自修复导电材料在所述显示器件层上形成所述第一导电图形的过程包括: 通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成低熔点合金材料层； 通过光刻工艺在所述低熔点合金材料层上形成图形化的光阻层；以及以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述低熔点合金材料层进行刻蚀，以形成第一导电图形。5.如权利要求4所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述低熔点合金材料为铟锡铋锌合金材料，所述铟锡铋锌合金材料的熔点在50°C到60°C之间，所述铟锡铋锌合金材料包括如下质量百分含量的组分:铟46%?50%;锡12?20%;铋28?42%;锌O?10%。6.如权利要求1所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述第一导电图形由非自修复导电材料制成，所述第二导电图形由自修复导电材料制成，采用非自修复导电材料在所述显示器件层上形成第一导电图形的过程包括: 通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述显示器件层上形成非自修复导电材料层； 通过光刻工艺在所述非自修复导电材料层上形成图形化的光阻层；以及以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述非自修复导电材料层进行刻蚀，以形成第一导电图形；或者 所述第一导电图形由自修复导电材料制成，所述第二导电图形由非自修复导电材料制成，采用非自修复导电材料在所述沟槽中形成第二导电图形的过程包括: 通过溅镀工艺、化学气相沉积工艺或旋涂工艺在所述第一介电绝缘层上及沟槽中形成非自修复导电材料层； 通过光刻工艺在所述非自修复导电材料层上形成图形化的光阻层；以及以所述图形案化的光阻层为掩膜对所述非自修复导电材料层进行刻蚀，以形成第二导电图形。7.如权利要求6所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，所述非自修复导电材料为钼、钼铝钼、钛或钛铝钛。8.如权利要求1所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，在形成第二导电图形之后，还包括: 在所述第二导电图形上依次形成金属扩散阻挡层、易流动的介电层和第二介电绝缘层O9.如权利要求1所述的柔性显示器件的制造方法，其特征在于，在形成所述第一介电绝缘层之前，在形成所述第一导电图形之后，还包括:在所述第一导电图形上形成金属扩散阻挡层； 在形成所述第二导电图形之后，还包括: 在所述第二导电图形上形成易流动的介电层； 在所述易流动的介电层上形成第二介电绝缘层。10.一种柔性显示器件，其特征在于，包括:柔性基板；形成于所述柔性基板上的显示器件层；形成于所述显示器件层的第一导电图形；形成于在所述显示器件层和第一导电图形上的第一介电绝缘层，形成于所述第一介电绝缘层中的沟槽；形成于所述沟槽中的第二导电图形； 其中，所述第一导电图形和/或第二导电图形由自修复导电材料制成。
【专利摘要】本发明提供了一种柔性显示器件及其制造方法，其中，所述柔性显示器件的制造方法包括：提供一柔性基板；在所述柔性基板上形成显示器件层；在所述显示器件层上形成第一导电图形；在所述显示器件层和第一导电图形上形成第一介电绝缘层，对所述第一介电绝缘层进行刻蚀以形成沟槽；以及在所述沟槽中形成第二导电图形；其中，所述第一导电图形和/或第二导电图形由自修复导电材料制成。在本发明提供的柔性显示器件及其制造方法中，通过分步形成长宽比相对较高的金属线和长宽比相对较低的金属线，其中所述长宽比相对较高的金属线，包括数据线和栅线均由自修复导电材料制成，断裂后能够实现自动修复，从而提高了所述柔性显示器的使用寿命。
【IPC分类】H01L27/12, H01L21/77
【公开号】CN104992924
【申请号】CN201510379582
【发明人】唐静, 于锋, 朱涛
【申请人】昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司, 昆山国显光电有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年7月1日