得到 均匀热处理。
[0027] 根据又一示例性实施例，一种基板热处理装置包括：处理室，包括用于矩形基板的 热处理空间，所述矩形基板包括具有不同长度的短边及长边；加热器区块，包括用W产生热 能的多个灯泡，其中所述多个灯泡分别平行于所述矩形基板的所述短边及所述长边安置， 且平行于所述矩形基板的所述长边的所述灯泡被排列成位于自平行于所述矩形基板的所 述短边的所述灯泡之间的中屯、点平行于所述长边延伸的延伸线上；基板支撑构件，用W支 撑所述矩形基板；W及热处理控制部件，用W个别地控制所述灯泡，W使所述矩形基板得到 均匀热处理。
[0028] 可将位于所述加热器区块的边缘部分处的所述灯泡控制成比其他灯泡产生更多 的热能。
【附图说明】
[0029] 结合附图阅读W下说明，可更详细地理解示例性实施例，附图中：
[0030] 图1是当灯泡安装于晶片热处理装置的灯安装表面上时，灯安装表面的视图。
[0031] 图2是当线性灯安装于玻璃基板热处理装置的灯安装表面上时，灯安装表面的视 图。
[0032] 图3是应用根据示例性实施例的加热器区块的基板热处理装置的剖视图。
[0033] 图4是说明当灯泡W预定间隔安装于加热器区块的灯安装表面上时，用于对矩形 玻璃基板进行热处理的灯泡的视图。
[0034] 图5是说明当灯泡W虑及基板比率的线性形状安装于根据示例性实施例的加热 器区块的灯安装表面上时，用于对矩形玻璃基板进行热处理的灯泡的视图。
[0035] 图6是说明当灯泡W第一实例的=角形状安装于根据示例性实施例的加热器区 块的灯安装表面上时，用于对矩形玻璃基板进行热处理的灯泡的视图。
[0036] 图7是说明当灯泡W第二实例的=角形状安装于根据示例性实施例的加热器区 块的灯安装表面上时，用于对矩形玻璃基板进行热处理的灯泡的视图。
[0037] 图8是说明当线性灯通过通常方法安置于加热器区块中时，被传递至玻璃基板的 热量分布的实验结果。
[0038] 图9是说明当灯泡安置于根据实例性实施例的加热器区块中时，被传递至玻璃基 板的热量分布的实验结果。
【具体实施方式】
[0039] W下，将参照附图更详细地阐述实施例。然而，本发明可具有不同形式而不应被解 释为受限于本文所述的实施例。更确切而言，提供运些实施例是为了使本掲示内容透彻及 完整，并将向所属领域的技术人员充分传达本发明的范围。在附图中，通篇中相同参考编号 指示相同元件。
[0040] W下，玻璃基板意指应用于LCD、OL邸及太阳电池等的大基板。此处，所述大基 板并非意指半导体晶片，而是意指用于显示器行业及光伏行业（photovoltaicin化Stry) 中的具有大面积的玻璃基板。举例而言，用于显示器的玻璃基板具有处于第一代的 270mmX360mm至最近第八代的2200mmX2500mm大尺寸的范围的尺寸，且具有矩形结构，所 述矩形结构具有为不同长度的短边与长边。
[0041] 图3是应用根据示例性实施例的加热器区块的基板热处理装置的剖视图。
[0042] 处理室200界定作为玻璃基板10的热处理空间的内部空间，且玻璃基板10放置 于热处理空间内。玻璃基板10具有四角形（矩形）形状，所述四角形（矩形）形状具有不 同长度的短边与长边。此处，所述短边可对应于玻璃基板10的宽度，且在此种情形中，所述 长边可对应于玻璃基板10的长度。处理室200被形成为闭合中空矩形柱体形状，但本发明 并非仅限于此，而是可为各种柱体形状。亦即，可为圆柱体及多角形柱体的形状。此外，在 处理室200的一个侧面与另一侧面中的每一者处，提供用于放入/取出基板的入口（未示 出）。此处，任一入口连接至传递模块（未示出）。
[0043] 处理室200在其内侧处包括用于支撑玻璃基板10的基板支撑构件400。基板支撑 构件400可在其内部包括在垂直方向上移动的多个升降销（liftpin) 410,并且可连接至 用于提供升降力的机构，例如气缸（未示出）。玻璃基板10可由升降销410支撑。当然，用 于将玻璃基板10支撑至基板支撑构件400的机构并非仅限于升降销410。可不同地利用 能够将玻璃基板10支撑至基板支撑构件400的各种机构，例如利用静电力的机构（静电卡 盘）或利用真空吸持力的机构（未示出）。
[0044] 可在加热器区块100与处理室200之间设置石英窗口 300。石英窗口 300是由将 热量传送至位于石英窗口 300下方的玻璃基板10的材料形成。石英窗口 300在加热器区 块100与处理室200之间保持处理室200的密封。石英窗口 300通过利用密封构件301来 密封加热器区块100与处理室200之间的间隙W维持加热器区块100的真空，并且保护处 理室200不受外部环境（压力、气体及污染物）影响。此外，石英窗口 300保护加热器区块 100中的所述多个灯泡110,并防止由灯泡110产生的热量而引起的副产物落至位于处理室 200内热处理空间中的玻璃基板10上。 W45] 热处理控制部件（未示出）个别地控制加热器区块100中的所述多个灯泡110,W使玻璃基板10得到均匀热处理。举例而言，具有矩形形状的玻璃基板10应得到均匀热处 理。为此，来自与玻璃基板10的边缘部分面对的灯泡110的福射热能应大于来自与玻璃基 板10的中屯、部分面对的灯泡110的福射热能。因此，热处理控制部件可W使来自面对玻璃 基板10的每一灯泡110的福射热能彼此不同或彼此相同的方式个别地控制灯泡110,从而 使玻璃基板10的整个区域受到均匀的热能福照。
[0046] 热处理控制部件个别地控制各灯泡，W使位于加热器区块100的边缘部分处的灯 泡比位于加热器区块100的中屯、部分处的灯泡110产生更多的热能。运是因为只有将更多 热能传递至更远的边缘部分，才可对整个玻璃基板进行均匀热传递。此外，当灯泡被排列成 线性形状时，热处理控制部件个别地控制所述灯泡，W使最邻近加热器区块100的隅角的 灯泡比位于加热器区块100的边缘部分的其他灯泡110产生更少的热能。运是因为由于位 于第一侧的端部处的灯泡及位于第二侧的端部处的灯泡聚集在加热器区块100的隅角处， 因而在加热器区块100的隅角处产生的热能大于其他边缘部分的热能。
[0047] 加热器区块100包括产生热能的加热灯。多个灯泡110可作为加热灯被排列成线 性形状或=角形状。灯泡110是由玻璃或石英形成的灯泡，且多个灯泡110排列于加热器 区块100的灯安装表面101上，W使所述多个灯泡110与玻璃基板10面对彼此。所述多个 灯泡110通过使光朝玻璃基板10福照而传递热能。
[0048] 为对具有不同长度的短边与长边的玻璃基板10执行均匀热传递，所述多个灯泡 110应均匀地排列于加热器区块100的灯安装表面101上，且应满足使所述多个灯泡110的 数目最小化的条件W降低制造成本。亦即，应对玻璃基板10的每一单位面积福照相同的福 照量，且应使灯泡的数目最小化。为此，安置于加热器区块100的灯安装表面101上的所述 多个灯泡110被排列成线性形状或=角形状。 W例W下，首先将阐述线性形状的排列，接着将阐述；角形状的排列。
[0050] 首先，阐述所述多个灯泡安置于灯安装表面101上W排列成线性形状的实例。由 于玻璃基板10具有矩形形状，因此短边与长边具有不同的长度。因此，当灯泡110安置成 沿灯安装表面的短边及长边的线性排列具有相同的间隔时，沿所述短边安置的灯泡110的 数目变得不同于沿所述长边安置的灯泡110的数目。举例而言，如图4所示，当矩形玻璃基 板10被定位成面对加热器区块100的方形灯安装表面101时，且当灯泡沿灯安装表面的短 边A(宽度）与长边B(长度）的方向W相同间隔安置时，沿玻璃基板10的短边Al(宽度） 与长边Bl(高度）的方向放置于面对位置处的灯泡110数目变得不同。举例而言，参见图 4,可W理解，在玻璃基板10的短边Al方向上面对玻璃基板10的位置处排列（第一排列） 的灯泡110的数目是=，而在玻璃基板10的长边Bl方向上面对玻璃基板10的位置处排列 (第二排列）的灯泡110的数目是四。如此一