分的第一部 件212)连接到第三金属图案500。
[0193] 第三连通件430形成在第二金属图案300和第三金属图案500之间。第三连通件 430将第二金属图案300连接到第三金属图案500。
[0194] 详细地讲，第三连通件430将第二金属图案300 (具体地，第二弯曲部分的第一部 件312)连接到第三金属图案500。这里可以将第二连通件420、第三金属图案500和第三 连通件430的结合称为连通结构或导电连通结构。
[0195] 由于第三金属图案500沿第二方向y延伸，因此将连接到第三金属图案500的第 二连通件420和第三连通件430沿第二方向y排列。
[0196] 连接到第三金属图案500的第二连通件420和第三连通件430之间（例如，在y 方向上）的距离D可以在布赖赫长度（Blechlength)内（例如，等于或小于布赖赫长度）。 这里使用的术语"布赖赫长度"可以指将导致电迀移的下限。
[0197] 例如，当连接到第三金属图案500的第二连通件420和第三连通件430之间的距 离D在第三金属图案500的布赖赫长度内时，在第二连通件420和第三连通件430之间不 会导致电迀移。换言之，在第三金属图案500内不会产生因电迀移而导致的空隙或山闸。
[0198] 第二连通件420和第三连通件430中的每个可以由例如从钨（W)、铝（Al)、铜（Cu) 和铜（Cu)合金中选择的一种或更多种制成。这里，铜（Cu)合金可以包括合铸在Cu中的C、 Ag、Co、Ta、In、Sn、Zn、Mn、Ti、Mg、Cr、Ge、Sr、Pt、A1或Zr〇
[0199] 阻挡层还可以形成在第二连通件420与层间绝缘层110之间和/或在第三连通件 430与层间绝缘层110之间以防止构成第二连通件420和/或第三连通件430的金属材料 扩散到第三金属图案500周围的层间绝缘层110中。例如，阻挡层可以包括Ta、TaN、TaSiN、 Ti、TiN、TiSiN、W、WN和它们的组合中的一种。
[0200] 第一弯曲部分的第一部件212的宽度可以为第一宽度W4,第一弯曲部分的第二部 件214的宽度可以为第二宽度W1，第一弯曲部分的第三部件216的宽度可以为第三宽度 W2,第二弯曲部分的第一部件312的宽度可以为第四宽度W3。第一弯曲部分的第一部件212 的宽度W4、第一弯曲部分的第二部件214的宽度W1和第二弯曲部分的第一部件312的宽 度W3可以是指在第二方向y上的宽度，第一弯曲部分的第三部件216的宽度W2可以是指 在第一方向X上的宽度。
[0201] 另外，第二连通件420的宽度为第五宽度W6,第三连通件430的宽度为第六宽度 W5。在图14和图16中，第二连通件420的宽度W6和第三连通件430的宽度W5为在第二 方向y上的宽度，然而这仅是为了示出而设置，而本发明的多个方面不限于此。例如，第二 连通件420的宽度W6和第三连通件430的宽度W5也可以是在第一方向X上的宽度。在下 面的描述中，假设第二连通件420的宽度W6和第三连通件430的宽度W5为在第二方向y 上的宽度。
[0202] 在根据本发明的第七实施例的电熔丝结构7中，第一弯曲部分的第一部件212的 宽度W4大于第一弯曲部分的第二部件214的宽度W1。另外，第一弯曲部分的第三部件216 的宽度W2大于第一弯曲部分的第二部件214的宽度W1。换言之，第一弯曲部分中的第二部 件214的宽度W1可以具有最小值。
[0203]另外，在根据本发明的第七实施例的电熔丝结构7中，第二弯曲部分的第一部件 312的宽度W3大于第一弯曲部分的第一部件212的宽度W4。
[0204] 在根据本发明的第七实施例的电熔丝结构7中，第三连通件430的宽度W5等于第 二连通件420的宽度W6或者大于第二连通件420的宽度W6。
[0205] 由于第三连通件430连接到第二弯曲部分的第一部件312,因此第二弯曲部分的 第一部件312的宽度W3可以大于第三连通件430的宽度W5。由于第二连通件420连接到 第一弯曲部分的第一部件212,因此第二连通件420的宽度W6和第一弯曲部分的第一部件 212的宽度W4可以大体上彼此相等。
[0206] 当将编程电流供应至电熔丝结构时，在用于电子在阴极C和阳极A之间的迀移的 路径的宽度方面，第二弯曲部分的第一部件312的宽度W3大于第三连通件430的宽度W5。 第三连通件430的宽度W5等于第二连通件420的宽度W6或者大于第二连通件420的宽度 W6。第二连通件420的宽度W6和第一弯曲部分的第一部件212的宽度W4大体上彼此相等。 第一弯曲部分的第一部件212的宽度W4大于第一弯曲部分的第二部件214的宽度W1。
[0207] 在根据本发明的第七实施例的电熔丝结构7中，第一弯曲部分的第二部件214可 以是当供应编程电流时产生空隙的区域，这将参照图32详细地描述。
[0208] 在图14中，第三连通件430位于第二连通件420和第一辅助图案220之间，但是 本发明的多个方面不限于此。例如，第二金属图案300可以沿第二方向y移动，使得第二连 通件420位于第三连通件430和第二辅助图案230之间。
[0209] 接下来，将参照图17至图20来描述根据本发明的第八实施例和第九实施例的电 熔丝结构。
[0210] 图17和图18是示出根据本发明的第八实施例的电熔丝结构的示意图，图19和图 20是示出根据本发明的第九实施例的电熔丝结构的示意图。出于便于解释的目的，下面的 描述将侧重于在图14至图16中示出的电熔丝结构与在图17至图20中示出的电熔丝结构 之间的差异。
[0211] 参照图17和图18,在根据本发明的第八实施例的电熔丝结构8中，第二金属图案 300还包括第三辅助图案320。
[0212] 第三辅助图案320沿第一方向X延伸。第三辅助图案320的侧表面面对第二弯曲 部分的第三部件316的侧表面，并且第二弯曲部分的第一部件312和第二弯曲部分的第二 部件314位于第三辅助图案320和第二弯曲部分的第三部件316之间。第三辅助图案320 可以连接到第二弯曲部分的第二部件314,但是本发明的多个方面不限于此。
[0213] 参照图19和图20,在根据本发明的第九实施例的电熔丝结构9中，第二金属图案 300还包括具有第一部件322和第二部件324的第三辅助图案320。
[0214] 第三辅助图案320的第一部件322沿第一方向X延伸。第三辅助图案320的第二 部件324沿第二方向y延伸。第三辅助图案320的第一部件322的侧表面面对第二弯曲部 分的第三部件316的侧表面，第三辅助图案320的第二部件324形成为与第二弯曲部分的 第二部件314平行，并且第二弯曲部分的第一部件312和第二弯曲部分的第二部件314位 于第三辅助图案320的第一部件322和第二弯曲部分的第三部件316之间。
[0215] 在图19和图20中，第三辅助图案320连接到第二弯曲部分310,但是本发明的多 个方面不限于此。另外，第三辅助图案320的第一部件322连接到第三辅助图案320的第 二部件324,但是本发明的多个方面不限于此。
[0216] 接下来，将参照图21至图24来描述根据本发明的第十实施例和第十一实施例的 电熔丝结构。
[0217] 图21和图22是示出根据本发明的第十实施例的电熔丝结构的示意图，图23和图 24是示出根据本发明的第十一实施例的电熔丝结构的示意图。
[0218] 出于便于解释的目的，下面的描述将侧重于在图19和图20中示出的电熔丝结构 和在图21至图24中示出的电熔丝结构之间的差异。
[0219] 参照图21和图22，在根据本发明的第十实施例的电熔丝结构10中，第三金属图案 500包括连接图案510和第四辅助图案520。
[0220] 连接图案510沿第二方向y延伸。第四辅助图案520形成在连接图案510的相对 的两侧。第四辅助图案520可以沿第二方向y延伸，并且可以形成为与连接图案510平行。
[0221] 第二连通件420和第三连通件430连接到连接图案510。这里可以将在各个实施 例中描述的第二连通件420、第三连通件430和连接图案510的结合称为连通结构或导电连 通结构。例如，在一个实施例中，连接图案510电连接到第一金属图案200的第一弯曲部分 210和第二金属图案300的第二弯曲部分310。
[0222] 在图21和图22中，第四辅助图案520与连接图案510电断开连接，但是本发明的 多个方面不限于此。
[0223] 在根据本发明的第十实施例的电熔丝结构10中，连接到连接图案510的第二连通 件420和第三连通件430位于第四辅助图案520之间。换言之，第四辅助图案520位于第 二连通件420的在第一方向X上的相对的两侧，并且位于第三连通件430的在第一方向X 上的相对的两侧。
[0224] 第四辅助图案520可以减小位于第四辅助图案520之间的连接图案510的宽度。 例如，由于第四辅助图案520形成在连接图案510的相对的两侧，因此能够防止连接图案 510的宽度增大。
[0225]另外，第四辅助图案520防止由连接图案510产生的焦耳热快速地传递到电熔丝 结构的周围，从而增强电熔丝结构中的热集成。
[0226] 参照图23和图24,在根据本发明的第十一实施例的电熔丝结构11中，第三金属图 案500包括连接图案510和第四辅助图案520。
[0227] 连接图案510沿第二方向y延伸。第四辅助图案520形成在连接图案510的一部 分的相对的两侧，从而与连接图案510平行。第二连通件420和第三连通件430连接到连 接图案510。
[0228] 在根据本发明的第^^一实施例的电熔丝结构11中，连接到连接图案510的第二连 通件420沿着z轴位于第四辅助图案520之间，而连接到连接图案510的第三连通件430 没有沿着相同的z轴位于第四辅助图案520之间。换言之，第四辅助图案520位于第二连 通件420 (沿着z轴）的在第一方向X上的相对的两侧，但是没有位于第三连通件430 (沿 着z轴）的在第一方向X上的相对的两侧。
[0229] 连接图案510的连接到第二连通件420的部分的宽度可以是第七宽度W7,连接图 案510的连接到第三连通件430的部分的宽度可以是第八宽度W8。连接图案510的连接到 第二连通件420的部分的宽度W7和连接图案510的连接到第三连通件430的部分的宽度 W8可以是指在与连接图案510延伸所沿的方向不同的方向上的宽度。例如，在根据本发明 的第i^一实施例的电熔丝结构11中，连接图案510的连接到第二连通件420的部分的宽度 W7和连接图案510的连接到第三连通件430的部分的宽度W8可以是指在第一方向X上的 宽度。
[0230] 在根据本发明的第^^一实施例的电熔丝结构11 (连接图案510)中，连接图案510 的连接到第二连通件420的部分的宽度W7小于连接图案510的连接到第三连通件430的 部分的宽度W8。由于第四辅助图案520位于连接图案510的连接到第二连通件420的部分 的相对侧，因此防止了在用于形成连接图案510的光刻工艺期间连接图案510的连接到第 二连通件420的部分的宽度增大。
[0231] 接下来，将参照图25至图30来描述根据本发明的第十二实施例至第十四实施例 的电熔丝结构。
[0232] 图25和图26是示出根据本发明的第十二实施例的电熔丝结构的示意图，图27和 图28是示出根据本发明的第十三实施例的电熔丝结构的示意图，图29和图30是示出根据 本发明的第十四实施例的电熔丝结构的示意图。出于便于解释的目的，下面的描述将侧重 于在图19和图20中示出的电熔丝结构和在图25至图30中示出的电熔丝结构之间的差异。
[0233] 参照图25和图26，在根据本发明的第十二实施例的电熔丝结构12中，第三金属图 案500沿第一方向x延伸。
[0234] 由于第三金属图案500沿第一方向X延伸，因此连接到第三金属图案500的第二 连通件420和第三连通件430沿第一方向X排列。
[0235] 在图25中，从平面的视角来看，第三连通件430被布置成比第二连通件420靠近 于第一弯曲部分的第三部件216,但是本发明的多个方面不限于此。例如，由于第二金属图 案300沿第一方向X移动，因此第二连通件420可以被布置成比第三连通件430靠近于第 一弯曲部分的第三部件216。
[0236] 参照图27和图28,在根据本发明的第十三实施例的电熔丝结构13中，第三金属图 案500包括沿第一方向X延伸的连接图案510和形成在连接图案510的相对的两侧的第四 辅助图案520。
[0237] 第四辅助图案520可以沿第一方向X延伸，并且可以形成为与连接图案510平行。
[0238] 第二连通件420和第三连通件430连接到连接图案510。例如，连接图案510电连 接到第一金属图案200的第一弯曲部分210和第二金属图案300的第二弯曲部分310。
[0239] 在根据本发明的第十二实施例的电熔丝结构12中，连接到连接图案510的第二连 通件420和第三连通件430位于第四辅助图案520之间。换言之，第四辅助图案520位于 第二连通件420的在第二方向y上的相对的两侧，并且位于第三连通件430的在第二方向 y上的相对的两侧。
[0240] 参照图29和图30，在根据本发明的第十四实施例的电熔丝结构14中，第三金属图 案500包括沿