专利名称：一种ic芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种IC芯片测试机的测试抓手组合模组装置，更准确地说，涉及能将前、后侧料船装置左料船送来的芯片，由前、后侧测试抓手总成组合逐一抓放到测试机的对应测试位置进行测试，之后又能将测试完成并获得品质结果信息的芯片放到前、后侧料船装置的右料船上，被输送到下一道工序去进行品质分选的一种IC芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置。
背景技术：
IC芯片完成加工制造工序后，需要一一进行测试，最初，人们对芯片测试后，是靠人工分类放置的，不仅效率低，还容易发生错误。目前已有自动测试分选机，但在测试过程中的送料和下料的抓手结构单一，数量有限，因此生产效率低，适应产品品种的规格少。
实用新型内容本实用新型为了解决现有技术中存在的问题，提供了一种IC芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置，其结构新颖、功能全面、生产效率高，能同时抓取至少四块芯片进行测试。为实现上述目的，本实用新型的技术方案是一种IC芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置，包括至少一个测试抓手组合运动模组，所述测试抓手组合运动模组包括安装板，还包括测试抓手总成组合升降滑块、测试抓手总成组合左右移动滑块，所述安装板的上方设有可将测试抓手总成组合升降滑块上下移动的垂直移动装置；所述安装板的下方设有将测试抓手总成组合左右移动滑块水平移动的水平移动装置；还设有下端固联有测试抓手总成装置的测试抓手总成组合连接板，所述测试抓手总成组合连接板垂直导轨式地卡合与测试抓手总成组合左右移动滑块，其上端水平导轨式地卡合与测试抓手总成组合升降滑块。优选的是，所述垂直移动装置为受控于伺服电机的竖向滚轴丝杠滑块组合传动，所述测试抓手总成组合升降滑块和竖向滚轴丝杠滑块组合传动配合。优选的是，所述测试抓手总成组合升降滑块上位于竖向滚轴丝杠滑块组合传动的两侧和安装板导轨式配合。优选的是，所述水平移动装置为受控于伺服电机的横向滚轴丝杠滑块组合传动，所述测试抓手总成组合左右移动滑块和横向滚轴丝杠滑块组合传动配合。优选的是，所述测试抓手总成组合左右移动滑块上位于横向滚轴丝杠滑块组合传动的两侧和安装板导轨式配合。优选的是，所述测试抓手总成包括4个吸嘴，所述安装板上设有和吸嘴连通的真
空发生器。优选的是，所述测试抓手组合运动模组为2个，分别为平行相对设置的前侧测试抓手组合运动模组和后侧测试抓手组合运动模组，通过其安装板顶端设置的连接顶板固联。本实用新型的测试抓手组合模组装置具有两组测试抓手总成组合，每组测试抓手总成由各自的前侧测试抓手组合运动模组和后侧测试抓手组合运动模组带动，可在在前、后和上、下两个方向上实现测试抓手总成组合的移动，有利于其下方的四个吸嘴准确抓取芯片完成测试。其结构新颖 、功能全面、生产效率高，能同时抓取至少四块芯片进行测试。
图I示出了本实用新型测试抓手组合模组装置的结构示意图。图2示出了图I中前侧测试抓手组合运动模组的结构示意图。图3示出了本实用新型测试抓手总成装置的结构示意图。图4示出了图3中上部总成的结构示意图。图5示出了图3中下部总成的结构示意图。其中，附图1-2中的标号如下501 —竖向伺服电机、502 —横向伺服电机、503 —测试抓手总成组合连接板、51 —测试抓手总成装置、505 —横向滚轴丝杠滑块组合传动、506 一测试抓手总成组合升降滑块、507 —竖向滚轴丝杠滑块组合传动、508 —左侧安装板、509 一同步传送带、510 —左侧竖板、511 —右侧竖板、513 —连接横板、514 —连接顶板、516 —真空发生器。附图3-5中的标号如下5101 —上固定板、5102 —真空接头、5103 —加热棒、5104 —感温头、5105 —吸料板、5106 —快速卡扣、5107 —隔热板、5108 —缸筒、5111 —吸嘴外套、5112 —活塞杆连接过渡板、5113 —活塞、5114 —活塞上密封盖板、5115 —气管接头、5116 —压缩弹簧、5117 —加热板、5118 —固定导向销安装板、5119 —固定导向销、5120 —导向槽、5121 —卡座、5122 —吸嘴安装板、5123 —防旋转导向销、5124 —吸嘴压缩弹簧、5125 一吸嘴杆、5126 —限位盖板、5127 —测试定位套、5128 —密封圈、5129 —防旋转导向缺口、51a —上部总成、51b —下部总成。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做进一步说明。本实用新型的“垂直导轨式地卡合”指的是两个部件之间导轨式配合，并且两个部件可相对垂直滑动。“水平导轨式地卡合”指的是两个部件之间导轨式配合，并且两个部件可相对水平滑动。本实用新型的测试抓手组合模组装置如图I、图2所示，该装置主要由竖向伺服电机501、横向伺服电机502、测试抓手总成组合连接板503、测试抓手总成装置51、横向滚轴丝杠滑块组合传动505、测试抓手总成组合升降滑块506、竖向滚轴丝杠滑块组合传动507、左侧安装板508、同步传送带509、左侧竖板510、右侧竖板511、连接横板513、连接顶板514、真空发生器516等组成。该装置由前、后两组结构和性能完全相同的测试抓手组合运动模组组成，前侧测试抓手组合运动模组安装在用于固定在工作台面上的左侧竖板510上，对应前侧料船装置设置，专门将前侧料船装置左料船上的芯片从左料船移入到测试机的对应测试位进行测试，测试完成后又将其放入前侧料船装置的右料船上；后侧测试抓手组合运动模组安装在用于固定在工作台面上的右侧竖板511上，对应后侧料船装置设置，专门将后侧料船装置左料船上的芯片从左料船移入到测试机的对应测试位进行测试，测试完成后又将其放入后侧料船装置的右料船上。左侧竖板510和右侧竖板511通过一连接横板513和一连接顶板514固联在一起。其中，左侧竖板510的背面还设有真空发生器516，为测试抓手组合运动模组的吸嘴提供吸附的动力。以前侧测试抓手组合运动模组为例，说明测试抓手组合模组装置的结构组成。安装在左侧安装板508上的竖向伺服电机501，其通过同步传送带509带动固装在左侧安装板508上的竖向滚轴丝杠滑块组合传动507，从而带动竖向滚轴丝杠滑块组合传动上的测试抓手总成组合升降滑块506上下移动，竖向滚轴丝杠滑块组合传动507主要包括一根滚轴丝杠，其和测试抓手总成组合升降滑块配合，实现测试抓手总成组合升降滑块506的上下移动。为了稳固测试抓手总成组合升降滑块506的滑动，其位于竖向滚轴丝杠滑块组合传动507的两侧和左侧安装板508导轨式配合，即起到一个导向的作用，也起到一个稳定测试抓手总成组合升降滑块506的作用。其中现有技术中还有许多垂直移动装置可以实现测试抓手总成组合升降滑块506的上下滑动，比如说滑轮、拖链或可控制的气缸等，在此不一一列举。 横向伺服电机502带动横向滚轴丝杠滑块组合传动505，从而带动固联在该滑块组合传动上的测试抓手总成组合左右移动滑块518左右移动，横向滚轴丝杠滑块组合传动505主要包括一根滚轴丝杠，其和测试抓手总成组合左右移动滑块518配合，实现测试总成组合左右移动滑块518的左右移动。其位于横向滚轴丝杠滑块组合传动505的两侧和左侧安装板508导轨式配合，即起到一个导向的作用，也起到一个稳定测试抓手总成组合左右移动滑块518的作用。其中，测试抓手总成组合左右移动滑块518上竖直地滑动配合一测试抓手总成组合连接板503，测试抓手总成组合连接板503的顶端和测试抓手总成组合升降滑块506导轨式配合，这样，测试抓手总成组合左右移动滑块518在带动测试抓手总成组合连接板503横向运动的时候，测试抓手总成组合连接板503也沿着测试抓手总成组合升降滑块506上的导轨横向滑动。同时，测试抓手总成组合升降滑块506在上下移动的时候，也带动测试抓手总成组合连接板503沿着测试抓手总成组合左右移动滑块518上的导轨上下移动。从而使得固联在测试抓手总成组合连接板503上的测试抓手总成装置51上下、左右移动。其中现有技术中还有许多水平移动装置可以实现测试抓手总成组合左右移动滑块518的上下滑动，比如说拖链或可控制的气缸等，在此不一一列举。测试抓手总成装置51由两个结构原理完全相同的测试抓手组成，每个测试抓手总成装置上有两个吸嘴杆，每个吸嘴杆可以吸住一块待测芯片。安装在前侧测试抓手组合运动模组上的测试抓手总成51可以同时抓取四块芯片。当前侧料船装置的左料船载着第一组四块待测芯片到达前侧测试抓手装置对应的位置时，前侧测试抓手装置的横向电机502启动，使前侧测试抓手装置的测试抓手总成装置51移动到前侧料船装置左料船的上方，之后竖向伺服电机501启动，使测试抓手总成装置51向下移动，直到测试抓手总成下方的四个真空吸嘴与左料船上的四块芯片各自对齐接触，并吸住芯片，然后竖向伺服电机501和横向伺服电机502相继协调启动，将吸住芯片的测试抓手总成装置51快速移动到测试机前侧测试位的上方(与此同时，前侧料船装置也向左移动，准备再接收新的待测芯片，同时前侧料船装置的右料船到达前侧测试抓手装置的对应位置，准备接收测试后的芯片)，之后，竖向伺服电机501下降，使待测四块芯片的各测试点位与测试机上的各测试头接触，进行测试。测试完成后，竖向伺服电机501和横向伺服电机502相继协调启动，将测试过的第一组四块芯片放到前侧料船装置的右料船上。之后，前侧料船装置向右移动，将第一组四块测试过的芯片送到下料分选抓手平台装置对应位置，等待分类分选放置。与此同时，前侧料船装置的左料船又将第三组四块芯片送到前侧测试抓手装置对应的位置，等待前侧测试抓手装置对其进行测试抓料。如此反复，就能将前侧料船装置上的待测芯片进行一一测试。当后侧料船装置的左料船载着第二组四块待测芯片到达后侧测试抓手装置对应的位置时，后侧测试抓手装置的横向电机502启动，使测试抓手总成装置51移动到后侧料船装置左料船的上方，之后竖向伺服电机501启动，使测试抓手总成装置51向下移动，直到测试抓手总成下方的四个真空吸嘴与左料船上的四块芯片各自对齐接触，并吸住芯片，然后竖向伺服电机501和横向伺服电机502相继协调启动，将吸住芯片的测试抓手总成快速移动到测试机后侧测试位的上方(与此同时，后侧料船装置也向左移动，准备再接收新的待测芯片，同时后侧料船装置的右料船到达后侧测试抓手装置的对应位置，准备接收测试后 的芯片)，之后，竖向伺服电机501下降，使待测四块芯片的各测试点位与测试机上的各测试触点接触，进行测试。测试完成后，竖向伺服电机501和横向伺服电机502协调启动，将测试过的第二组四块芯片放到后侧料船装置的右料船上。之后，后侧料船装置向右移动，将第二组四块测试过的芯片送到下料分选抓手平台装置对应位置，等待分类分选放置。与此同时，后侧料船装置的左料船又将第四组四块芯片送到后侧测试抓手装置对应的位置，等待后侧测试抓手装置对其进行测试抓料。如此反复，就能将后侧料船装置上的待测芯片进行一一测试。本实用新型的测试抓手组合模组装置具有两组测试抓手总成组合，每组测试抓手总成由各自的前侧测试抓手组合运动模组和后侧测试抓手组合运动模组带动，可在在前、后和上、下两个方向上实现测试抓手总成组合的移动，有利于其下方的四个吸嘴准确抓取芯片完成测试。其结构新颖、功能全面、生产效率高，能同时抓取至少四块芯片进行测试。本实用新型的测试抓手总成装置51可以采用本领域所熟知的结构，优选的结构如图3所示，该总成装置由活塞微调及加热模组51a、真空吸嘴抓手模组51b两部分组成，前者在上(简称上部总成)后者在下(简称下部总成)地固定在一起，两者用快速卡扣勾连。活塞微调及加热模组一方面为真空吸嘴抓手模组的吸嘴提供定值稳定的热源，以便保证吸嘴吸住的料块达到料块测试要求的温度；另一方面为真空吸嘴与料块间提供可调的距离要求，保证吸嘴与料块的接触力度稳定。测试抓手总成装置主要由上固定板5101、真空接头5102、加热棒5103、感温头5104、吸料板5105、快速卡扣5106、隔热板5107、缸筒5108、紧固螺钉5109、水平调节螺旋5110、吸嘴外套5111、活塞杆连接过渡板5112、活塞5113、活塞上密封盖板5114、气管接头5115、压缩弹簧5116、加热板5117、固定导向销安装板5118、固定导向销5119、导向槽5120、卡座5121、吸嘴安装板5122、防旋转导向销5123、吸嘴压缩弹簧5124、吸嘴杆5125、吸嘴限位盖板5126、测试定位套5127、密封圈5128、防旋转导向缺口5129等组成。活塞微调及加热模组51a (下称上部总成51a)的结构如图4所示，中部设有通孔的活塞上密封盖板5114将带活塞杆的活塞5113以及套在活塞杆上的压缩弹簧5116用螺栓封装在缸筒5108内，上固定板5101与活塞上密封盖板5114之间用螺栓固联。上固定板5101设有气管接头5115，从气管接头5115进入的空气穿过上固定板5101内部设置的气体通道，并从上固定板5101中部的设置的气孔出口穿过，上固定板5101与活塞上密封盖板5114固联后，气孔出口和活塞上密封盖板5114的通孔对应。这样，压缩空气可从上固定板5101上的气管接头5115进入，经过上固定板5101中心部位的小孔出来，从活塞上密封盖板5114中心部位到达活塞5113的顶部，推动活塞5113克服压缩弹簧5116的阻力向下移动，当气管接头5115通气中断，压缩弹簧5116使活塞5113向上复位。与缸筒5108下端固联的固定导向销安装板5118的下端固联有活塞杆连接过渡板5112，可以用螺丝或其它手段将活塞杆连接过渡板5112与活塞5113的活塞杆的下端固联，固联时要保证固定导向销安装板5118上设置的固定导向销5119与活塞杆连接过渡板5112上设置的导向槽5120对正，从而在活塞5113在上下移动的时候，能保证活塞杆连接过渡板5112不会发生转动。其中，固定导向销安装板5118不是必须的，例如，可以将活塞杆连接过渡板5112直接固联在活塞杆的下端，将固定导向销5119设置在缸筒5108的侧壁或端部，亦可实现相同的功能。 加热板5117和隔热板5107通过螺栓与活塞杆连接过渡板5112固联，当活塞5113带动活塞杆连接过渡板5112上下移动时，加热板5117也将上下移动。隔热板5117是防止加热板5117上的热量向上传给活塞缸等部分。加热板5117上设置有真空接头5102、加热棒5103、感温头514和卡座5121。真空接头5102是为下部总成51b的真空吸嘴提供真空气路的，加热棒5103是为加热板5117提供加热温度的，感温头5104是控制加热板温度的，卡座5121是固定下部总成51b的快速卡扣的。真空吸嘴抓手模组51b (下称下部总成51b)的结构如图5所示，吸嘴杆5125由吸嘴杆主体(上部杆和下部杆)和不完整圆盘(在吸嘴杆中部)组成，吸嘴杆5125的上部杆套有吸嘴压缩弹簧5124，该吸嘴压缩弹簧5124是当吸嘴杆吸取芯片并与芯片接触受挤压时起缓冲作用。先将套有吸嘴压缩弹簧5124的吸嘴杆5125放入吸嘴限位盖板5126设置的凹槽中并使吸嘴杆5125的下部杆穿出，该凹槽的形状和吸嘴杆不完整圆盘的形状相似，因为是不完整圆盘，所以可以防止吸嘴杆转动。上述不完整的圆盘可以是类似“D”字形的形状，也可以是呈扇形等。还可以在不完整圆盘上设有防旋转导向缺口 5129，它与固装在吸嘴安装板5122下面的防旋转导向销5123配合使用，也可使吸嘴杆5125在上下移动的时候不会发生转动。吸嘴杆5125的上部杆神入吸嘴安装板5122上设置的通孔中，并可在通孔中做微量的上下移动。再用螺栓将吸嘴限位盖板5126与吸嘴安装板5122固联，将吸嘴杆5125封装起来。固联时要使防旋转导向销5123和防旋转导向缺口 5129—一对应配合，还要使吸嘴杆5125的上部与吸嘴安装板22上的孔配合，保证吸嘴杆能在该孔中做微量上下移动。然后将吸嘴限位盖板5126装入吸料板5105设置的形状和吸嘴限位盖板5216形状相似的凹槽中，凹槽的深度使得可以用螺栓将吸嘴安装板5122和吸料板5105固联，同时，吸嘴杆5125的下部杆穿过吸料板5105下端设置的吸嘴外套5111，从而使得吸嘴杆的下部杆能自由在该外套内上下微量移动。其中，吸嘴限位盖板5126和吸料板5105也可以是一体的。在此，可将吸嘴安装板、吸料板看成下部总成的外壳，吸嘴安装板构成该外壳的顶端，吸料板作为该外壳的底端。[0037]组合的时候，将吸嘴安装板5122上设置的快速卡扣5106扣合在加热板5117的卡座5121上，将真空吸嘴抓手模组51b (下部总成)与活塞微调及加热模组51a (上部总成)连成一体。真空接头5102通过吸嘴安装板5122上的通孔为吸嘴杆提供真空气路。吸嘴安装板5122和加热板5117之间的通孔加设一个密封圈5128，以保证从上部总成的加热板5117上的真空接头5102能有效地与吸嘴杆25形成密封稳定通路。非工作状态和抓料时，吸嘴杆5125的 下端平面比吸嘴外套5111的下端平面突出约O. 5_，在测试过程中，吸嘴杆5125吸住芯片。在吸料板5105的两侧固装有测试定位套5127，它的作用是，当芯片被移送到测试位置时，为了使芯片的测试位置与测试机对应的测试头对齐，该测试定位套5127应保证准确套入测试机测试位置的测试定位销(或者定位针)中。本实用新型的测试抓手总成装置51的工作状态如下当测试抓手总成装置到达左料船的被抓待测芯片上方且其上的吸嘴杆5125的吸嘴与芯片快要接触时，真空接头5102立即接通，使吸嘴杆5125的吸嘴吸住芯片，然后随测试抓手总成装置到达测试机的对应测试位置，在待测芯片的测试点与测试机对应的测试头接触时，气管接头5115立即通气，推动活塞5113向下微微移动，通过与活塞、和活塞杆连接的吸嘴安装板5122推动吸嘴与芯片进一步压紧测试头，在此过程中，吸嘴杆5125受到反作用力而使吸嘴压缩弹簧24缩短，吸嘴杆5125在吸嘴外套5111中向上移动，直到使吸嘴外套5111下端面将芯片表面压紧为止，并始终保持这种压紧状态，直到芯片测试完成为止。当芯片测试完成后，气管接头5115断气，压缩弹簧5116使活塞复位，吸嘴外套5111下端面因此离开芯片表面，吸嘴杆5125的吸嘴吸住测试的芯片，并在吸嘴压缩弹簧5124的作用下复位，最后，随测试抓手总成装置到达右料船上方，之后真空接头5102断开，吸嘴杆真空通路关闭，吸嘴将测试完成的芯片放入右料船。如此往复，就能将将左料船上的待测芯片，逐一抓取放到测试机位进行测试，然后又能将测试完成的芯片释放到右料船上。根据需要，加热板5117可以一直由加热棒5103加热，由感温头5104控温，加热板的温度热量通过吸嘴安装板5122传递给吸嘴杆5125，进一步再传给待测芯片，从而保证待测芯片的测试温度。本实用新型的测试抓手总成装置，可以多个组合在一起使用，具有按待测试芯片测试温度要求进行加热的功能，由加热板向吸嘴安装板和吸嘴杆提供必要的温度，其必要的温度由感温头等控制。该测试抓手总成装置的真空吸嘴工作可靠，从取料到测试再到放料，真空吸嘴一直稳定吸住芯片料块，完成全部测试工作。该测试抓手总成装置具有微调加压功能，其目的是通过微调活塞使固装在吸料板上的吸嘴外套沿吸嘴杆向下滑动，与吸嘴一起对待测试芯片表面微微加压，从而使芯片的被测试点更可靠地与测试机的测试头接触，实现稳定可靠测试。每一个测试抓手总成装置的吸料板的两侧均固装有测试定位套，它的目的是当测试抓手总成装置吸住待测芯片向测试机对应测试位下降时，移动要使测试定位套与测试机上对应的定位销(或者定位针)对正，从而保证待测芯片上的测试点与测试机上对应的测试头对正。测试抓手总成装置有上部总成和下部总成组成，上部总成和下部总成之间的连接是靠安装在吸嘴安装板上的两个快速卡扣与加热板上的两个卡座来实现的，结构简单，拆卸方便。本实用新型已通过优选的实施方式进行了详尽的说明。然而，通过对前文的研读，对各实施方式的变化和增加也是本领域的一般技术人员所显而易见的。申请人的意图是所有这些变化和增加都包含了本实用新型的落在了本实用新型权利要求的范围中的部分。相似的编号通篇指代相似的元件。为清晰起见，在附图中可能有将某些线、层、元件、部件或特征放大的情况。本文中使用的术语仅为对具体的实施例加以说明，其并非意在对本实用新型进行限制。除非另有定义，本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)均与本实用新型所属领域的一般技术人员的理解相同。还须明确的是，除在本文中有明确的定义外，诸如字典中通常定义的术语应该解释为在本说明书以及相关技术的语境中可具有一致的意思，而 不应解释的理想化或过分形式化。公知的功能或结构处于简要和清楚地考虑或不再赘述。
权利要求1.一种IC芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置，包括至少一个测试抓手组合运动模组，其特征在于所述测试抓手组合运动模组包括安装板，还包括测试抓手总成组合升降滑块、测试抓手总成组合左右移动滑块，所述安装板的上方设有可将测试抓手总成组合升降滑块上下移动的垂直移动装置；所述安装板的下方设有将测试抓手总成组合左右移动滑块水平移动的水平移动装置；还设有下端固联有测试抓手总成装置的测试抓手总成组合连接板，所述测试抓手总成组合连接板垂直导轨式地卡合与测试抓手总成组合左右移动滑块，其上端水平导轨式地卡合与测试抓手总成组合升降滑块。
2.根据权利要求I所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述垂直移动装置为受控于伺服电机的竖向滚轴丝杠滑块组合传动，所述测试抓手总成组合升降滑块和竖向滚轴丝杠滑块组合传动配合。
3.根据权利要求2所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述测试抓手总成组合升降滑块上位于竖向滚轴丝杠滑块组合传动的两侧和安装板导轨式配合。
4.根据权利要求I所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述水平移动装置为受控于伺服电机的横向滚轴丝杠滑块组合传动，所述测试抓手总成组合左右移动滑块和横向滚轴丝杠滑块组合传动配合。
5.根据权利要求4所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述测试抓手总成组合左右移动滑块上位于横向滚轴丝杠滑块组合传动的两侧和安装板导轨式配合。
6.根据权利要求I所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述测试抓手总成包括4个吸嘴，所述安装板上设有和吸嘴连通的真空发生器。
7.根据权利要求1-6任一项所述的测试抓手组合模组装置，其特征在于所述测试抓手组合运动模组为2个，分别为平行相对设置的前侧测试抓手组合运动模组和后侧测试抓手组合运动模组，通过其安装板顶端设置的连接顶板固联。
专利摘要本实用新型公开了一种IC芯片测试分选机的测试抓手组合模组装置，包括安装板，所述安装板的上方设有可将测试抓手总成组合升降滑块上下移动的垂直移动装置；所述安装板的下方设有将测试抓手总成组合左右移动滑块水平移动的水平移动装置；还设有下端固联有测试抓手总成的测试抓手总成组合连接板，所述测试抓手总成组合连接板垂直导轨式地卡合与测试抓手总成组合左右移动滑块，其上端水平导轨式地卡合与测试抓手总成组合升降滑块。本实用新型的测试抓手组合模组装置，可在前、后和上、下两个方向上实现测试抓手总成组合的移动，有利于其下方的吸嘴准确抓取芯片完成测试。其结构新颖、功能全面、生产效率高，能同时抓取至少四块芯片进行测试。
文档编号B25J15/06GK202640359SQ20122024669
公开日2013年1月2日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者林宜龙, 付义超, 唐召来, 刘飞 申请人:格兰达技术(深圳)有限公司