专利名称：负型感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种负型感光性树脂组合物，更详细地涉及一种分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀，尤其在405nm 435nmUV长波长中敏感度优秀，因而适用于GH-1 ine专用曝光机或者下一代数码曝光机的负型感光性树脂组合物。
背景技术：
在TFT型液晶显示元件或者集成电路元件中，不仅为形成配置于层之间用于绝缘布线之间的钝化(Passivation)绝缘膜及栅极绝缘膜、平坦化膜等时，而且为形成柱状间隔物、保护膜及彩色光阻剂时，主要使用负型感光性树脂组合物。作为用于形成现有TFT-LCD、TSP (Touch Screen Panel)、OLED 或者 0-TFT 等显示元件的有机绝缘膜及栅极绝缘膜、柱状间隔物、保护膜、平坦化膜、彩色光阻剂的负型感光性树脂组合物，主要使用了由粘合剂、光引发剂、溶剂等成分组成的物质，作为所述粘合剂主要使用了丙烯酸树脂。但是现有负型感光性树脂组合物，主要在365nm(1-line)的UV波长中敏感地感应，然而在405nm 435nm的UV长波长中不感应或者缓慢地感应，因而在GH-1ine专用曝光机或者下一代数码曝光机中的图案形成方面存在问题。而且，就进一步包含噻吨酮类(thioxanthone)等的光敏剂而言,其敏感度也相当慢，因而不宜在工艺中适用。据此，切实需要一种在405nm 435nm的UV长波长中的敏感度优秀的负型感光性树脂组合物。
发明内容
为解决如上所述的现有技术问题，本发明的目的在于提供一种分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀，尤其在405nm 435nm的UV长波长中敏感度优秀，因而非常适用于GH-1ine专用曝光机或者下一代数码曝光机的负型感光性树脂组合物。而且本发明的另一目的在于提供一种利用所述负型感光性树脂组合物的显示元件的图案形成方法。为达到上述技术目的，本发明提供一种包含，a)丙烯酸类共聚物、聚酰亚胺类共聚物、硅氧烷类共聚物、或者它们的共聚物；b)光引发剂；及c)由下面化学式I表示的光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。[化学式I]
权利要求
1.一种负型感光性树脂组合物，包含a)丙烯酸类共聚物、聚酰亚胺类共聚物、硅氧烷类共聚物、或者它们的共聚物；b)光引发剂；及c)由下面化学式I表不的光敏剂。[化学式I]
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物,包含a)丙烯酸类共聚物、聚酰亚胺类共聚物、硅氧烷类共聚物、或者它们的共聚物100重量份；b)光引发剂O.1重量份至30重量份；及c)由化学式I表示的光敏剂O.1重量份至30重量份。
3.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述丙烯酸类共聚物在偶氮引发剂下自由基聚合丙烯酸单体而进行制备，其重均分子量为 3000 至 50000。
4.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述聚酰亚胺共聚物由二胺和双酐制备，其重均分子量为3000至50000。
5.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述硅氧烷共聚物通过使硅烷单体在酸或者碱中水解及缩合而制备，其重均分子量为 3000 至 50000。
6.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述b)的光引发剂为由2，4-双(三氯甲基)-6-( _甲氧苯乙烯基)-s_三嗪、2-(p-甲氧苯乙烯基)_4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-三氯甲基-6-三嗪、2，4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、2-(ο-氯苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚体、2-(ο-氯苯基)-4，5- 二(m_甲氧基苯基)咪唑二聚体、2-(o-氟苯基)-4,5- 二苯基咪唑二聚体、2-(o-甲氧基苯基)-4， 5-二苯基咪唑二聚体、2，4_双(P-甲氧基苯基)-5-苯基咪唑二聚体、2- (2，4_ 二甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2- (P-甲基巯基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、[1-[9-乙基-6- (2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、二苯甲酮、对(二乙氨基) 二苯甲丽、2，2- 二氣-4-苯氧基苯乙丽、2，2- 二乙氧基苯乙丽、2_十二烧基喔吨丽、2，4- 二甲基噻吨酮、2，4- 二乙基噻吨酮、2，2-双-氯苯基-4，5,4, 5-四苯基_2_1，2-联咪唑、艳佳固369、艳佳固651、艳佳固907、德牢固TPO及艳佳固819构成的群中所选择的一种以上。
7.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述组合物进一步包含溶剂，以使固形物含量达到10重量％至50重量％。
8.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，所述组合物进一步包含由d)具有烯属不饱和键的多官能性单体，e)具有环氧基或者胺基的硅系化合物及f)表面活性剂构成的群中所选择的一种以上的添加剂。
9.根据权利要求8所述的负型感光性树脂组合物，所述具有烯属不饱和键的多官能性单体为由1，4- 丁二醇二丙烯酸酯、1，3- 丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、 双酚A 二丙烯酸酯衍生物、二季戊四醇聚丙烯酸酯及它们的甲基丙烯酸酯类构成的群中所选择的一种以上。
10.根据权利要求8所述的负型感光性树脂组合物，所述环氧基或者胺基的硅系化合物为由(3-缩水甘油丙氧基)三甲氧基硅烷、(3-缩水甘油丙氧基)三乙氧基硅烷、(3-缩水甘油丙氧基)甲基二甲氧基硅烷、(3-缩水甘油丙氧基)三甲氧基硅烷、(3-缩水甘油丙氧基)二甲基乙氧基硅烷、3，4_环氧丁基三甲氧基硅烷、 3，4-环氧丁基三乙氧基硅烷、2- (3，4_环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2- (3，4_环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷及氨丙基三甲氧基硅烷构成的群中所选择的一种以上。
11.一种显示元件的图案形成方法，包括在基板上涂覆权利要求1至10中任一项所述的负型感光性树脂组合物并对其进行预烘烤，然后对其进行曝光及显影的步骤。
12.—种显示元件的图案形成方法，利用权利要求1至11中任一项所述的负型感光性树脂组合物的图案，被用作TFT-LCD、 TSP (Touch Screen Panel)、OLED或者0-TFT的钝化绝缘膜、栅极绝缘膜、平坦化膜、柱状间隔物(column spacer)、保护膜或者彩色光阻剂。
13.—种显示元件,包括利用权利要求1至11中任一项所述的负型感光性树脂组合物的图案。
全文摘要
本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物，尤其涉及一种包含a)i)丙烯酸类共聚物、ii)聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物；b)光引发剂；c)特定结构的吖啶类光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物，其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀，尤其在405nm～435nm的UV长波长中敏感度优秀，因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
文档编号G03F7/027GK103052916SQ201180037435
公开日2013年4月17日 申请日期2011年7月15日 优先权日2010年8月3日
发明者吕泰勋, 金炳郁, 尹赫敏, 丘冀赫, 尹柱豹, 金东明, 申洪大, 金珍善, 李相勋, 禹昌旼 申请人:株式会社东进世美肯