包括液晶调制器的基板检查设备及液晶调制器的制造方法_4

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的不同之处,并且将省略与前面实施例中已描述的元件相同的元件。
[0110]参照图5,液晶调制器MD包括:共电极EL,面对显示基板DV的靶电极EL’,并且利用置于共电极EL和透明基板SUB之间的粘合剂ADH而设置在透明基板SUB上;液晶层LC,设置在共电极EL上;反射层RF,设置在液晶层LC上;第一支撑部件SP1,设置在反射层RF上。抗反射层AG设置在透明基板SUB上,第一支撑部件SPl包括保护层PR、第一支撑片SPSl和硬涂层。
[0111]换言之,液晶调制器MD包括按照离显示基板DV的距离的次序而布置的透明基板SUB、粘合剂ADH、共电极EL、液晶层LC、反射层RF、保护层PR、第一支撑片SPSl和硬涂层。
[0112]粘合剂ADH是光学透明的,但无特别限制。在示例性实施例中,粘合剂ADH可包括光学透明的聚合树脂。粘合剂ADH可被设置为膜型粘合剂或液体型粘合剂。粘合剂ADH可根据粘合剂的材料或粘合性而形成为各种厚度。在示例性实施例中,粘合剂ADH可具有从约5微米至约50微米范围的厚度,或从约25微米至约50微米范围的厚度。
[0113]图6是示出图5中的液晶调制器MD的制造方法的剖视图。
[0114]参照图1、图5和图6,首先准备透明基板SUB。在单独制造依次堆叠的共电极EL、液晶层LC、反射层RF和第一支撑部件SPl之后,可利用置于上述组件与透明基板SUB之间的粘合剂ADH将上述组件粘合到透明基板SUB。
[0115]可通过以下步骤来制造依次堆叠的共电极EL、液晶层LC、反射层RF和第一支撑部件SPl,即,形成第一支撑部件SPl、在第一支撑部件SPl上形成反射层RF、在反射层RF上形成液晶层LC、在液晶层LC上形成共电极EL。
[0116]可选择地,可通过以下步骤来制造依次堆叠的共电极EL、液晶层LC、反射层RF和第一支撑部件SPl,即,依次在液晶层LC上形成反射层RF和保护层PR、在第一支撑部件SPl上形成第一硬涂层HCl、在保护层PR上层叠第一支撑片SPSl。
[0117]如上所解释的,与前面的实施例不同,根据本实施例的液晶调制器MD的特征在于,增加了粘合剂ADH。然而,与根据前面的实施例的液晶调制器MD类似,由于在没有插入绝缘层的情况下在共电极EL上形成液晶层LC,因此可以省略位于共电极EL与液晶层LC之间的绝缘层。而且,由于将液晶层LC用作粘合剂,因此不需要用于将反射层RF结合到液晶层LC的另外的粘合剂。结果,可以减小显示基板的靶电极EL’与液晶调制器MD的共电极之间的总厚度。
[0118]图7是根据另一实施例的液晶调制器MD的剖视图。
[0119]参照图7,与图5中示出的液晶调制器MD不同,根据本实施例的液晶调制器MD包括其上形成有共电极EL的第二支撑部件SP2。即,根据本实施例的液晶调制器MD包括:第二支撑部件SP2,利用置于第二支撑部件SP2和透明基板SUB之间的粘合剂而设置在透明基板SUB上;共电极EL,设置在第二支撑部件SP2上;液晶层LC,设置在共电极EL上;反射层RF,设置在液晶层LC上;第一支撑部件SPl,设置在反射层RF上。第一支撑部件SPl包括保护层PR、第一支撑片SPSl和第一硬涂层HCl。第二支撑部件SP2包括第二硬涂层HC2、第二支撑层SPS2和第三硬涂层HC3。
[0120]换言之,液晶调制器MD包括按照离显示基板DV的距离的次序而布置的透明基板SUB、粘合剂ADH、第二硬涂层HC2、第二支撑片SPS2、第三硬涂层HC3、共电极EL、液晶层LC、反射层RF、保护层PR、第一支撑片SPSl和第一硬涂层HCl。
[0121]第二支撑部件SP2可设置为具有足以支撑共电极EL的厚度。第二支撑部件SP2和共电极EL的总厚度可以为约25微米至约100微米。在示例性实施例中,共电极EL的电阻可以为约150欧姆或更小,或者为约80欧姆至约150欧姆,并且共电极EL的透射率可以为约90%或更大。当共电极EL的电阻大于所述值时,驱动电压会过度地增加。包括第二支撑部件SP2和共电极EL在内的总膜可具有1.0 %的雾度值,以防止液晶层LC的散射。
[0122]第二支撑片SPS2可由具有高抗拉强度和优异耐热性的材料(例如,有机聚合材料)形成。有机聚合材料可以是聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、环烯烃聚合物、赛璐珞和三乙酰纤维素中的至少一种。第二支撑片SPS2可以包括含所述有机材料的单层,但不限于此。第二支撑片SPS2可以包括含所述有机材料的多层。如果第二支撑片SPS2包括多层,则多层中的任意一层可由光学透明的粘合剂形成。光学透明的粘合剂与透明基板SUB在折射率方面的差别会相对小。在本发明构思中,折射率方面的差异可以为约1.5±0.05。光学透明的粘合剂可被制造为具有约0.5%的雾度值,以使穿过粘合剂的光的散射最小化。
[0123]第二硬涂层HC2设置在第二支撑片SPS2的一个表面上,第三硬涂层HC3设置在第二支撑片SPS2的另一个表面上。与第一硬涂层HCl类似,第二硬涂层HC2和第三硬涂层HC3可包括紫外线(UV)可固化聚合物、溶胶-凝胶材料、热固性聚合物和有机/无机复合材料中的至少一种。第二硬涂层HC2和第三硬涂层HC3涂覆在第二支撑片SPS2上,以保护第二支撑片SPS2免遭刮伤等并且在第二支撑片SPS2的处理期间易于操作。为了实现这些目的,在示例性实施例中,第三硬涂层HC3和第二硬涂层HC2的硬度均可以为2H或更大,并且第三硬涂层HC3和第二硬涂层HC2的厚度均可以为约3微米至约4微米。在这种情况下,第三硬涂层HC3和第二硬涂层HC2的介电常数均可以为约4或更小。
[0124]图8是示出图7中的液晶调制器MD的制造方法的剖视图。
[0125]参照图1、图7和图8,首先设置透明基板SUB。
[0126]形成第一支撑部件SPl。通过以下步骤来制造第一支撑部件SPl,即,准备第一支撑片SPS1、在第一支撑片SPSl的一个表面上形成第一硬涂层HC1、在第一支撑片SPSl的另一个表面上形成保护层PR。
[0127]准备第二支撑部件并且在第二支撑部件SP2上形成共电极EL。
[0128]通过在第二支撑片SPS2的一个表面上形成第二硬涂层HC2并且在第二支撑片SPS2的另一个表面上形成第三硬涂层HC3,来制造第二支撑部件SP2。可通过与第一硬涂层HCl的方式大体相同的方式,在第二支撑片SPS2上形成第二硬涂层HC2和第三硬涂层HC3。即,可通过由例如旋转涂覆、刮板涂覆和狭缝挤压涂覆的各种方式在第二支撑片SPS2的两个表面上涂覆第二硬涂层HC2和第三硬涂层HC3,来形成第二支撑部件SP2。
[0129]可在第二支撑部件SP2上形成共电极EL。可用置于其间的液晶层LC将在第二支撑部件SP2上具有共电极EL的第二支撑部件SP2与第一支撑部件SPl结合为彼此面对。液晶层LC可用作粘合剂。
[0130]可以利用置于其间的粘合剂ADH结合透明基板SUB和第二支撑部件SP2。在这种情况下,透明基板SUB和第二支撑部件SP2的第二硬涂层HC2被结合为彼此相面对。
[0131]正如上面所解释的,与另一实施例不同,根据本实施例的液晶调制器MD的特征在于增加了粘合剂ADH。然而,与根据前面实施例的液晶调制器MD类似,由于在没有插入粘合剂的情况下在共电极EL上形成液晶层LC,因此可以省略位于共电极EL与液晶层LC之间的绝缘层。而且,由于将液晶层LC用作粘合剂,因此不需要用于将反射层RF结合到液晶层的粘合剂。结果,可以减小显示基板的靶电极EL’与液晶调制器MD的共电极EL之间的总厚度。
[0132]根据一些实施例,可以设置诸如偏振器和相位延迟板的附加的光学片,以使穿过液晶调制器MD的光束最大化。图9至图11是根据一些实施例的液晶调制器的剖视图。
[0133]图9示出了除了设置有偏振器POL以外具有大体上与图5中示出的液晶调制器MD相同的结构的液晶调制器MD的实施例。参照图9,液晶调制器MD包括:共电极EL,设置为面对显示基板DV的靶电极EL’,并且利用置于共电极EL和透明基板SUB之间的粘合剂ADH而设置在透明基板SUB上;液晶层LC,设置在共电极EL上;反射层RF,设置在液晶层LC上;第一支撑部件SP1,设置在反射层RF上。偏振器POL设置在透明基板SUB的与其上形成有共电极EL的表面相对的表面上,第一支撑部件SPl包括保护层PR、第一支撑片SPSl和硬涂层。可以省略粘合剂ADH,共电极EL可以直接形成在透明基板SUB上。
[0134]偏振器POL设置为使穿过液晶调制器MD的光束偏振并且过滤穿过液晶调制器MD的光束的噪声。当液晶层LC包括聚合物网络液晶时,穿过液晶层LC的光束的散射增大。具体来说,当在共电极EL和靶电极EL’处建立电场(见图1)时,液晶分子在电场的作用下取向,但是在固化的聚合物周围设置的液晶分子的排列会受到该聚合物的锚定能的干扰。穿过液晶层LC的光束会因液晶的干扰布置而分散。分散的光束在测量单元MU(见图1)中作为噪声而被测量,并且实际上会妨碍通过液晶调制器MD所折射的光的检测。因此,在本实施例中,设置偏振器POL使得分散的光束被阻挡,以改善测量单元MU的灵敏度。
[0135]如本实施例中所示,偏振器POL设置在透明基板SUB的与其上形成有共电极EL的表面相对的表面上。然而,在另一实施例中,偏振器POL可设置在透明基板SUB与液晶层LC之间。例如,尽管未示出,偏振器POL可设置在透明基板SUB与粘合剂ADH之间。
[0136]在图10中,除了在偏振器POL与透明基板SUB之间额外地设置1/4波长板QWP之夕卜,液晶调制器MD具有与如图9中所示的结构大体上相同的结构。参照图9和图10,1/
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