的体积，在减薄液为HF且待减薄结构的材质为S12时，减小了减薄过程中生成的氟硅酸的浓度，防止了由于氟硅酸浓度较大而析出晶体，对待减薄表面造成污染。
[0051]可选的，图2为本发明实施例提供的另一种减薄装置O的结构示意图，如图2所示，该减薄装置O还可以包括存储组件J，该存储组件J可以包括存储罐J1、连通管J2和供给栗J3，该存储罐Jl可以包括减薄液罐P和水罐Q，该减薄液罐P中存储有减薄液，水罐Q中存储有水，该减薄液罐P和水罐Q均与该连通管J2相连通，该连通管J2与供给栗J3的入口相连通，该供给栗J3的出口与出液组件OI的出液口 B相连通。当减薄液罐P上的阀门(图2中未标出)打开时，该减薄液罐P中的减薄液能够流入该连通管J2，当水罐Q上的阀门(图2中未标出)打开时，该水罐Q中的水能够流入该连通管J2，流入连通管J2的水和减薄液能够混合，工作人员可以通过调整该水罐Q上流出的水的体积，调整该连通管中减薄液的浓度。该连通管J2中的减薄液和水的混合液能够流入供给栗J3，当该供给栗J3工作时，该供给栗J3能够将该混合液从该供给栗013的出口排出至出液组件OI的出液口 B。
[0052]图3为本发明实施例提供的又一种减薄装置O的结构示意图，如图3所示，减薄装置O还可以包括:回收组件04，回收组件04与出液组件01相连通，回收组件04的进液口(图3中未示出)位于承载组件02上承载面较低的一端，回收组件04用于收集流过待减薄表面的减薄液，并将收集到的减薄液传输至出液组件01。由于回收组件04能够收集流过待减薄表面的减薄液，并将收集到的减薄液传输至出液组件01，因此实现了减薄液的重复利用。
[0053]示例的，该减薄装置O还包括排出组件U，出液组件01通过回收组件04与排出组件U相连通，出液组件01还用于检测待输出的减薄液的浓度，在待输出的减薄液的浓度大于预设浓度时，将待输出的减薄液向待减薄表面输出，在待输出的减薄液的浓度小于或等于预设浓度时，可以将待输出的减薄液通过回收组件04传输至排出组件U，进行减薄液的排出，保证了出液组件01输出的减薄液的浓度较高，出液组件输出的减薄液能够对待减薄结构的待减薄表面进行有效的减薄，提高了减薄的效率。
[0054]图4为本发明实施例提供的一种减薄装置O的局部结构示意图，如图4所示，承载组件02可以为棱台，棱台的侧面为承载组件02的承载面。棱台可以由承载支架021和至少一个承载板022构成，承载板022设置在承载支架021上，承载支架021构成棱台的边，至少一个承载板022构成棱台的侧面。示例的，若该棱台为具有6个侧面的棱台，则该承载组件02中承载板的个数也为6。
[0055]图5为本发明实施例提供的一种承载板022的结构示意图，如图5所示，该承载板022可以为矩形板，位于承载板022的第一端M的侧面与位于承载板022的第二端N的侧面平行，承载板022的第一端M和承载板022的第二端N分别向相反的方向卷起，且承载板022的第一端M能够悬挂在承载支架上，回收组件的进液口位于承载板022的第二端N，回收组件用于通过承载板022的第二端N收集流过待减薄表面的减薄液。
[°°56]请继续参考图4，减薄装置O还可以包括:旋转组件05，旋转组件05可以包括:旋转轴051，旋转轴051的轴线穿过承载组件02，且垂直于承载组件02的底面，旋转组件05用于控制承载组件02沿旋转轴051的轴线旋转。具体的，该承载组件02可以为正棱台，此时，旋转轴051的轴线与承载组件02的轴线重合。由于旋转组件05能够控制承载组件02沿旋转轴051的轴线旋转，一方面，在承载组件02旋转的过程中，工作人员可以站在同一个位置，替换不同承载面(即棱台的侧面)上的待减薄结构；另一方面，在承载组件02旋转的过程中，位于待减薄表面的减薄液受到离心力的作用，使得减薄液在待减薄表面的运动轨迹增长，从而提高了减薄液的减薄效率。
[0057]示例的，该待减薄结构可以为衬底基板，该待减薄结构上的待减薄表面可以为衬底基板的一个板面，在使用本发明实施例提供的减薄装置对衬底基板的一个板面进行减薄时，可以首先将该衬底基板置于承载组件的承载面上，并保证与该衬底基板上需要减薄的板面相对的板面与承载板相接触，当衬底基板置于承载面上时，该衬底基板的待减薄表面与水平面存在倾角。示例的，该承载组件可以为由承载支架和承载板组成的正棱台，可以将该衬底基板置于该正棱台的一个侧面(即一个承载板)上。
[0058]然后，可以控制出液组件实时的(或者每隔预设时间段)检测待输出的减薄液的浓度，在待输出的减薄液的浓度大于预设浓度时，控制出液组件将待输出的减薄液向待减薄表面输出；在待输出的减薄液的浓度小于或等于预设浓度时，可以将待输出的减薄液通过回收组件传输至排出组件，进行减薄液的排出，保证了出液组件输出的减薄液的浓度较高，使得出液组件输出的减薄液能够对待减薄结构的待减薄表面进行有效的减薄，提高了减薄的效率。在控制出液组件向待减薄表面输出减薄液时，可以控制出液组件从出液组件的出液口向待减薄表面(即衬底基板的一个板面)输出减薄液，示例的，该衬底基板的材质可以为S12,该减薄液可以为HF，由于当衬底基板置于承载面上时，该衬底基板的待减薄表面与水平面存在倾角，所以该出液组件输出的减薄液能够在重力的作用下进行流动，并在流动的过程中对待减薄表面进行减薄。由于减薄液从出液口输出时的初速度较小，所以，该减薄液对待减薄表面的冲击力较小，实现了在对待减薄结构进行减薄的过程中，提高了该待减薄表面的平整度。
[0059]进一步的，还可以控制静电场组件形成静电场，且静电场的电场源位于承载面未承载有衬底基板的一侧，输出至待减薄表面的减薄液能够位于该静电场内。静电场能够对该待减薄表面的减薄液起到吸附作用，待减薄表面的减薄液在重力和静电场的作用下，能够减小流动的速度，进一步的减小了减薄液对待减薄表面的冲击力，且增加了待减薄表面减薄液的厚度，增大了待减薄表面的减薄液的体积，在减薄液为HF且待减薄结构的材质为S12时，减小了减薄过程中生成的氟硅酸的浓度，防止了由于氟硅酸浓度较大而析出晶体，对待减薄表面造成污染。
[0060]需要说明的是，在从出液组件的出液口输出减薄液后，还可以通过控制旋转组件，控制承载组件沿旋转组件中旋转轴的轴线旋转，一方面，在承载组件旋转的过程中，若工作人员确定承载板上的衬底基板减薄完毕，则工作人员可以站在同一个位置，替换不同承载面(即棱台的侧面)上的衬底基板;另一方面，在承载组件旋转的过程中，位于待减薄表面的减薄液受到离心力的作用，使得减薄液在待减薄表面的运动轨迹增长，从而提高了减薄液的减薄效率。
[0061]在减薄液从出液组件的出液口流出至该待减薄表面，并在重力的作用下，流动至承载组件中承载板的第二端时，由于该承载板的第二端与回收组件的入液口相连通，所以回收组件能够从该承载板的第二端收集流过该待减薄表面的减薄液，实现减薄液的回收。回收组件在收集到减薄液后，可以将收集到的减薄液传输至出液组件，实现减薄液的重复利用。
[0062]相关技术中，一方面，在对衬底基板进行减薄处理时，通常使用减薄装置向衬底基板表面喷淋减薄溶液，使得衬底基板与减薄溶液进行化学反应，实现衬底基板的薄形化。具体的，衬底基板的材质为S12,减薄溶液为HF，当减薄装置向衬底基板表面喷淋减薄溶液时，S12能够和HF发生化学反应，并生成H2SiF6和水H2O，生成的H2SiF6和H2O能够随着减薄溶液的流动脱离衬底基板表面。由于减薄装置喷出的减薄液对衬底基板表面的各个位置的冲击力不同，使得衬底基板表面会形成多个凹点，因此，衬底基板表面的平整度较低。另一方面，如图6所示，容器F中盛有减薄液(图6中未示出)，在对衬底基板E进行减薄时，还可以将衬底基板E置于容器F中，并浸泡在减薄溶液中，使得衬底基板E与容器F内的减薄溶液进行化学反应，实现衬底基板E的减薄，在化学反应的过程中会生成出51?6和H20，H2SiF6能够溶于
的浓度较大时,H2SiF6能够析出固体颗粒，并附着于衬底基板表面，造成衬底基板表面异物不良，污染衬底基板。且采用浸泡的方式对衬底基板进行减薄时，由于衬底基板均位于减薄液中，所以无法仅仅对衬底基板的一个表面进行减薄。
[0063]本发明实施例中，减薄液从出液组件的出液口流出至待减薄结构的待减薄表面上，且减薄液在重力和静电吸引力的作用下，在待减薄表面均匀流过，通过控制减薄液多次在待减薄表面流过，控制对待减薄表面的减薄程度。由于本发明实施例中，减薄液在待减薄表面分布均匀，使得待减薄表面的光滑程度较高，且在对待减薄表面进行减薄后，无需对待减薄结构的待减薄表面进行研磨。进一步的，由于本发明实施例提供的减薄装置，可以仅仅向待减薄结构的一个待减薄表面进行减薄，所以，本发明实施例提供的减薄装置可以对待减薄结构进行非对称式减薄。需要说明的是，本发明实施例中的减薄液还可以为除HF外的其他减薄液本发明实施例对此不作限定。
[0064]综上所述，本发明提供的减薄装置中，承载组件上的承载面与水平面存在倾角，出液组件的出液口位于承载面较高的一端，出液组件能够从出液口沿平行于承载面的方向，向待减薄表面输出减薄液。且静电场组件形成的静电场的电场源位于承载面未承载有待减薄结构的一侧，待减薄表面的减薄液位于静电场内。当待减薄结构置于承载面上时，该待减薄结构的待减薄表面与水平面存在倾角，该出液组件